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公开(公告)号：CN107017031B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201710301441.9
申请日：2017-05-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向刚度自调节机构，X向刚度自调节机构包括：X向柔性导向件；第一Y向刚性连接件；Y向冗杂件；Y向刚度自调节机构，第一Y向刚度自调节机构包括：Y向柔性导向件；第一X向刚性连接件；X向冗杂件；X向柔性解耦机构，X向柔性解耦机构包括：第一X向柔性解耦件；第二Y向刚性连接件；第一Y向柔性解耦件；Y向柔性解耦机构，Y向柔性解耦机构包括：第二Y向柔性解耦件；第二X向刚性连接件；第二X向柔性解耦件；X向驱动器和Y向驱动器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。
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公开(公告)号：CN108466425A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810129838.9
申请日：2018-02-08
Applicant: 清华大学
IPC: B29C64/135 , B29C64/236 , B29C64/264 , B33Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性运动系统的蓝光微立体光固化(MSL，Micro Stereo Lithography)系统，所述基于柔性运动系统的蓝光MSL系统包含：计算机系统(三维模型处理模块、运动控制模块)；运动系统(L形基座、X-Y轴并联柔性纳米运动平台、Z轴移动平台、载物吸盘、储液槽)；光学系统(蓝光发生单元、准直透镜、物镜、透镜座、导轨)，所述光学系统与所述运动系统中的X-Y轴并联柔性移动平台固连。本发明所采用的光学系统具有光斑小、能量密度高、低能耗、拆卸方便的特点；本发明所采用的并联式柔性运动系统具有重复运动精度高、XY轴的动态性能对称、免维护、免装配的特点；本发明采用的系统架构是将所述光学系统及所述运动系统直接固定在气浮平台上，而非传统的支架上，因此具有重心稳定，隔振能力强的特点。
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公开(公告)号：CN104934075B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201510293541.2
申请日：2015-06-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种大行程三维纳米柔性运动平台。所述大行程三维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，第一Z向柔性解耦件的一端和第二Z向柔性解耦件的一端与终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与基座相连且上端通过第一上柔性铰链与第一Z向柔性解耦件相连，第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与基座相连且上端通过第二上柔性铰链与第二Z向柔性解耦件相连，X向驱动器与第一放大杆相连，Y向驱动器与第二放大杆相连。所述大行程三维纳米柔性运动平台具有平面尺寸小、运动精度高等优点，兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。
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公开(公告)号：CN105448353A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510823042.X
申请日：2015-11-23
Applicant: 清华大学
IPC: G12B9/10
CPC classification number: G12B9/10
Abstract: 本发明公开了一种紧凑型多层纳米伺服平台，所述紧凑型多层纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；第一Y向柔性解耦件和第一X向柔性导向件，第一Y向柔性解耦件与终端平台和X向驱动器相连，第一X向柔性导向件与X向驱动器相连；以及第一X向柔性解耦件和第一Y向柔性导向件，第一X向柔性解耦件与终端平台和Y向驱动器相连，第一Y向柔性导向件与Y向驱动器相连。第一X向和第一Y向柔性导向件中的至少一个位于第一Y向和第一X向柔性解耦件中的相应的至少一个的下方且在上下方向上相对。根据本发明实施例的紧凑型多层纳米伺服平台具有结构紧凑、运动精度高和厘米级大行程等优点。
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公开(公告)号：CN103400603B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201310272207.X
申请日：2013-07-01
Applicant: 清华大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台，包括：基座；下层和上层直线电机组；解耦组件；支撑组件，连接组件和伺服运动平台。根据本发明实施例的抗扭转并联双驱运动解耦平台，采用抗扭转并联双驱式结构，通过平台正下方两层交错排布的导轨实现平台解耦，各分列于平台外侧的平行支撑导轨抑制了平台的扭转，第一和第二水平方向的运动组件可以互换，便于加工及维护，并且在工作时更容易保证运动平台在运动时的水平度，采用双驱的设计使得驱动力经过运动质量中心有利于实现高速高精度控制。从驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致，有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105500301A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510819064.9
申请日：2015-11-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种二维纳米伺服平台，所述二维纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；分别与X向驱动器和Y向驱动器相连的第一X向和第一Y向刚性连接件；第一Y向和第一X向柔性解耦件；第一和第二X向柔性导向件，第一Y向柔性解耦件与第一X向刚性连接件的连接处在X向上位于第一X向柔性导向件与第二X向柔性导向件之间；第一和第二Y向柔性导向件，第一X向柔性解耦件与第一Y向刚性连接件的连接处在Y向上位于第一Y向柔性导向件与第二Y向柔性导向件之间；以及X向光栅和Y向光栅。所述二维纳米伺服平台可以极大地降低双轴耦合度，从而具有运动精度高的优点。
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公开(公告)号：CN105345760A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510819077.6
申请日：2015-11-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种大行程二维纳米伺服平台和采用光栅的测量方法。所述大行程二维纳米伺服平台包括：基座；终端平台；X向和Y向驱动器；与X向驱动器相连的第一X向刚性连接件和与Y向驱动器相连的第一Y向刚性连接件；第一Y向和第一X向柔性解耦件；第一和第二X向柔性导向件，第一和第二X向柔性导向件沿X向间隔开地设置且与基座和第一X向刚性连接件相连；第一和第二Y向柔性导向件，第一和第二Y向柔性导向件沿Y向间隔开地设置且与基座和第一Y向刚性连接件相连；以及X向光栅和Y向光栅。根据本发明实施例的大行程二维纳米伺服平台具有结构简单、制造成本低、便于使用、便于测量终端平台的平面位移等优点。
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公开(公告)号：CN103226342B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310157124.6
申请日：2013-04-28
Applicant: 清华大学
IPC: G05B19/18
Abstract: 本发明公开了一种高刚度并联双驱运动解耦伺服平台，主要包括：基座、第一直线电机组、第二直线电机组、解耦组件和运动平台。根据本发明实施例，采用并联式双驱结构，下层两条平行导轨增加了平台的整体刚度，更有效地抑制了平台在水平方向的俯仰和扭转，上层导轨同时起到了对运动平台的支撑，提高了负载能力。整个系统结构紧凑、对称，两个方向的运动组件可以完全互换，便于加工及维护；采用双驱式设计使得驱动力直接通过运动平台质量中心，有效抑制了平台在水平方向的扭转，从而使得从平台驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致，有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。
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公开(公告)号：CN103078568B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210575659.0
申请日：2012-12-26
Applicant: 清华大学
IPC: H02P5/46
Abstract: 本发明公开了一种并联运动解耦伺服控制平台，包括：基座；第一和第二直线电机；和运动平台，所述运动平台安装在所述第一和第二直线电机之间，所述运动平台的第一和第二侧边分别与所述第一和第二电机动子相连且分别在所述第一和第二电机动子的驱动下沿所述第一和第二水平方向移动。根据本发明实施例的并联运动解耦伺服控制平台，采用并联式结构，结构简单且对称，第一和第二水平方向的运动组件可以互换，便于加工及维护，并且在工作时更容易保证运动平台在运动时的水平度，从驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致，有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。
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公开(公告)号：CN104934075A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510293541.2
申请日：2015-06-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种大行程三维纳米柔性运动平台。所述大行程三维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，第一Z向柔性解耦件的一端和第二Z向柔性解耦件的一端与终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与基座相连且上端通过第一上柔性铰链与第一Z向柔性解耦件相连，第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与基座相连且上端通过第二上柔性铰链与第二Z向柔性解耦件相连，X向驱动器与第一放大杆相连，Y向驱动器与第二放大杆相连。所述大行程三维纳米柔性运动平台具有平面尺寸小、运动精度高等优点，兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。
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