公开(公告)号：CN116646696A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310701026.8

申请日：2023-06-13

申请人： 清华大学

发明人： 赵嘉昊 ,  赵晓光 ,  孙振词

IPC分类号： H01P1/10

摘要： 本发明公开了一种硅基太赫兹开关，包括硅结构、第一电极、超材料结构、绝缘层、衬底和第二电极；所述硅结构包括由外向内依次相连的固支结构、支撑梁和硅板；所述第一电极设置在所述固支结构的上表面上；所述超材料结构设置在所述硅板的下表面上；所述绝缘层覆盖在所述超材料结构上；所述衬底的上表面上设有凹槽，所述固支结构设置在所述衬底的上表面上，所述支撑梁、所述硅板、所述超材料结构及所述绝缘层悬空地位于所述凹槽的凹口处；所述第二电极设置在所述凹槽的凹底面上，所述第二电极与所述绝缘层之间具有空气间隙。本发明硅基太赫兹开关的器件吸收率、调制对比度均高，半高全宽值小，且驱动功耗低，切换速度快、控制简单。

公开(公告)号：CN115189486A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210900519.X

申请日：2022-07-28

申请人： 清华大学

发明人： 尤政 ,  赵晓光 ,  孙振词 ,  张凌云 ,  尤睿 ,  鲁文帅 ,  赵嘉昊 ,  仲晗

IPC分类号： H02J50/12 ,  H02J50/20 ,  H02J50/80 ,  H02J50/90 ,  H02J7/02

摘要： 本申请涉及一种基于谐振式磁偶极子的能量采集天线。该能量采集天线包括谐振单元、耦合单元和能量整合电路，谐振单元和耦合单元之间存在耦合关系且谐振单元和耦合单元共同构成双开口谐振结构，耦合单元与能量整合电路连接，谐振单元，用于在射频信号作用下产生谐振电流，且耦合单元与谐振单元发生耦合产生感应电流，能量整合电路，用于根据感应电流产生电能。该能量采集天线，通过谐振单元和耦合单元共同构成了双开口谐振结构，减小了能量采集天线所占的总体面积，从而保证了该能量采集天线适用于小体积的微型电子系统或网络节点。

公开(公告)号：CN115295362B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202210796876.6

申请日：2022-07-05

申请人： 清华大学

发明人： 赵嘉昊 ,  贺如松 ,  孙振词

IPC分类号： H01H59/00 ,  H01H3/32 ,  H01H11/00 ,  H01H11/04

摘要： 本公开提供了一种静电式双稳态RF MEMS开关，包括：自下而上的衬底、硅锚区层、硅结构层及金属层；硅锚区层包括多个锚点，硅结构层与金属层上形成共面波导传输线、开关触点、第一驱动结构及第二驱动结构；第一驱动结构为沿y方向运动的驱动梁结构，其与部分锚点构成第一可动结构，其在静电力驱动下产生y方向的位移，从而推动开关触点与共面波导传输线接触实现开关导通；第二驱动结构为沿x方向运动的驱动梁结构，其与另一部分锚点构成第二可动结构；第二驱动结构在静电力驱动下产生x方向的位移，从而推动第二驱动结构的自锁触点与第一驱动结构的自锁触点接触或断开，实现开关双稳态状态。本公开还提供了一种静电式双稳态RF MEMS开关的制备方法。

公开(公告)号：CN115295362A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202210796876.6

申请日：2022-07-05

申请人： 清华大学

发明人： 赵嘉昊 ,  贺如松 ,  孙振词

IPC分类号： H01H59/00 ,  H01H3/32 ,  H01H11/00 ,  H01H11/04

摘要： 本公开提供了一种静电式双稳态RF MEMS开关，包括：自下而上的衬底、硅锚区层、硅结构层及金属层；硅锚区层包括多个锚点，硅结构层与金属层上形成共面波导传输线、开关触点、第一驱动结构及第二驱动结构；第一驱动结构为沿y方向运动的驱动梁结构，其与部分锚点构成第一可动结构，其在静电力驱动下产生y方向的位移，从而推动开关触点与共面波导传输线接触实现开关导通；第二驱动结构为沿x方向运动的驱动梁结构，其与另一部分锚点构成第二可动结构；第二驱动结构在静电力驱动下产生x方向的位移，从而推动第二驱动结构的自锁触点与第一驱动结构的自锁触点接触或断开，实现开关双稳态状态。本公开还提供了一种静电式双稳态RF MEMS开关的制备方法。

公开(公告)号：CN116706556A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310535475.X

申请日：2023-05-12

申请人： 清华大学

发明人： 赵嘉昊 ,  赵晓光 ,  孙振词

IPC分类号： H01Q15/00 ,  H01Q15/14

摘要： 本申请涉及一种动态太赫兹波束偏转器和动态太赫兹波束偏转器控制方法。动态太赫兹波束偏转器包括：功能层、中间层、衬底层；功能层包括可动结构、超材料结构、边缘区，可动结构上设置有超材料结构；衬底层的表面为金属反射层，金属反射层的面积大于等于超材料结构的面积；超材料结构通过中间层与金属反射层之间形成间隙；其中，间隙的尺寸可变，间隙的尺寸与外部电压相关；在不同的外部电压作用的情况下，超材料结构与金属反射层之间的间隙尺寸不同，入射到功能层的太赫兹波束的反射角度不同。采用该动态太赫兹波束偏转器能够降低太赫兹波束能量的损耗。

公开(公告)号：CN115327472A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202210900517.0

申请日：2022-07-28

申请人： 清华大学

发明人： 尤政 ,  赵晓光 ,  孙振词 ,  张凌云 ,  尤睿 ,  鲁文帅 ,  赵嘉昊 ,  梅子麒

IPC分类号： G01S3/14

摘要： 本申请涉及一种基于双磁偶极子天线谐振耦合的无线定向方法，应用于磁偶极子天线对，磁偶极子天线对中各磁偶极子天线之间的相位关系为基于预设配置方式配置的，且各磁偶极子天线在入射电磁波作用下产生耦合作用，首先获取各磁偶极子天线在耦合作用下的直流输出电压，然后根据各磁偶极子天线的直流输出电压，确定入射电磁波的入射方向。该方法降低了传统技术中计算电磁波的入射方向时的复杂度，以此减小了无线电测向过程中的功耗。