公开(公告)号：CN103759656B

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201410031251.6

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  吴亚风 ,  刘召 ,  杨开明 ,  成荣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  胡金春 ,  尹文生 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、信号处理单元；光栅干涉仪包括侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至干涉仪、测量光栅后输出光信号至接收器，后至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分，能够实现亚纳米甚至更高分辨率，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN103759657B

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201410031283.6

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 朱煜 ,  王磊杰 ,  张鸣 ,  吴亚风 ,  刘召 ,  徐登峰 ,  成荣 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  杨开明 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、光电转换单元；光栅干涉仪包括偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至光电转换单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程,提高了分辨率，能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN103759655B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201410031125.0

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  刘召 ,  吴亚风 ,  成荣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  杨开明 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统，包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和电子信号处理单元；光栅干涉仪包括激光管、偏振片、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件及四通道零差结构。该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元，转换为电信号至电子信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程，能够实现亚纳米甚至更高分辨率。采用零差信号处理，可消除直流分量和幅值变化带来的影响，具有对环境不敏感、测量精度高等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台性能。

公开(公告)号：CN103759654B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201410031123.1

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 刘召 ,  朱煜 ,  张鸣 ,  吴亚风 ,  王磊杰 ,  成荣 ,  穆海华 ,  胡金春 ,  徐登峰 ,  尹文生 ,  胡楚雄 ,  杨开明 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统，包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和信号处理单元；光栅干涉仪包括激光管、侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、参考光栅、折光元件及四通道零差结构；该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元，转换为电信号至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分，能够实现亚纳米甚至更高分辨率，可测两个线性位移。采用零差信号处理，可消除直流分量和幅值变化带来的影响，具有对环境不敏感、测量精度高等优点。

公开(公告)号：CN103759657A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410031283.6

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 朱煜 ,  王磊杰 ,  张鸣 ,  吴亚风 ,  刘召 ,  徐登峰 ,  成荣 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  杨开明 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、光电转换单元；光栅干涉仪包括偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至光电转换单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程,提高了分辨率，能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN103759656A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410031251.6

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  吴亚风 ,  刘召 ,  杨开明 ,  成荣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  胡金春 ,  尹文生 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、信号处理单元；光栅干涉仪包括侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至干涉仪、测量光栅后输出光信号至接收器，后至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分，能够实现亚纳米甚至更高分辨率，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN103759655A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410031125.0

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  刘召 ,  吴亚风 ,  成荣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  杨开明 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统，包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和电子信号处理单元；光栅干涉仪包括激光管、偏振片、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件及四通道零差结构。该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元，转换为电信号至电子信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程，能够实现亚纳米甚至更高分辨率。采用零差信号处理，可消除直流分量和幅值变化带来的影响，具有对环境不敏感、测量精度高等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台性能。

公开(公告)号：CN103759654A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410031123.1

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 刘召 ,  朱煜 ,  张鸣 ,  吴亚风 ,  王磊杰 ,  成荣 ,  穆海华 ,  胡金春 ,  徐登峰 ,  尹文生 ,  胡楚雄 ,  杨开明 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统，包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和信号处理单元；光栅干涉仪包括激光管、侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、参考光栅、折光元件及四通道零差结构；该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元，转换为电信号至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分，能够实现亚纳米甚至更高分辨率，可测两个线性位移。采用零差信号处理，可消除直流分量和幅值变化带来的影响，具有对环境不敏感、测量精度高等优点。