公开(公告)号：CN106059418A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610438862.1

申请日：2016-06-17

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 胡楚雄 ,  朱煜 ,  汪泽 ,  李敏 ,  何苏钦 ,  张鸣 ,  胡金春 ,  杨开明 ,  尹文生 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  成荣

IPC分类号： H02P21/00

CPC分类号： H02P21/0014

摘要： 一种永磁同步直线电机神经网络自适应轨迹跟踪控制方法，属于直线电机运动控制技术领域。该方法利用神经网络控制器的非线性映射能力建立永磁同步直线电机的模型估计与补偿环节，以实现电机良好的轨迹跟踪性能。所述控制方法中包括基于径向基函数(RBF)的神经网络控制器、带有反馈增益的鲁棒控制器两部分，分别用来进行模型估计补偿和抑制建模误差的影响；本发明利用了神经网络的非线性逼近特性，建立了永磁同步直线电机模型非线性补偿环节，有效克服了电机运行过程中死区、推力波动等非线性因素的影响，有较强抗干扰能力和良好的稳定性，可实现良好的轨迹跟踪性能。

公开(公告)号：CN103560780B

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201310556667.5

申请日：2013-11-11

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 朱煜 ,  成荣 ,  李敏 ,  杨开明 ,  刘召 ,  穆海华

IPC分类号： H03K19/0175

摘要： 一种绝对光栅信号处理方法，所述信号处理方法包括以下步骤：首先，在由信号处理板卡提供的时钟信号CLK0I+、CLK0I-的激励下，绝对光栅的数据信号DATA0I+、DATA0I-共模滤波后经差分收发模块I传输给可编程逻辑器件，可编程逻辑器件对输入信号处理后输出两路与输入信号相同的信号，一路信号经差分收发模块II并共模滤波后传输给驱动器，令一路信号经差分收发模块III并共模滤波后传输给上位机。本发明将绝对光栅信号一分为二，实现了驱动器和上位机同时需要位置反馈时反馈给上位机的位置信号是绝对信号，使得上位机控制系统有效地发挥了绝对光栅相比于增量光栅在位置控制中的优势。

公开(公告)号：CN103322927B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201310243132.2

申请日：2013-06-19

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 朱煜 ,  王磊杰 ,  张鸣 ,  刘召 ,  成荣 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  叶伟楠 ,  张利 ,  赵彦坡 ,  秦慧超 ,  田丽 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02027 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/70

摘要： 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出四路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做三自由度线性相对运动时，系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN103307986B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201310243113.X

申请日：2013-06-19

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  杨开明 ,  刘召 ,  成荣 ,  刘昊 ,  徐登峰 ,  叶伟楠 ,  张利 ,  赵彦坡 ,  田丽 ,  张金 ,  胡金春 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  秦慧超

IPC分类号： G01B11/02 ,  G03F7/20

CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02027 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/70

摘要： 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN103560643B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201310508532.1

申请日：2013-10-24

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  支凡 ,  刘峰 ,  刘召 ,  徐登峰 ,  成荣 ,  杨开明 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC分类号： H02K41/02 ,  H02K3/26 ,  H02K3/28 ,  H02K1/17 ,  H02K1/27

摘要： 一种印刷电路板绕组直线电动机，使得上位机控制系统有效地发挥了绝对光栅相比于增量光栅在位置控制中的优势该直线电动机使用印刷电路板制作线圈绕组阵列，准确地布置线圈绕组中的每个线圈的位置，通过多层印刷电路板相邻两层中的线圈沿电动机直线运动方向错位排布及特定的供电规律，提高线圈绕组阵列中电流形成的电场的正弦性，进而降低直线电动机的推力波动，提高直线电动机的控制精度。

公开(公告)号：CN107024170B

公开(公告)日：2018-10-30

申请号：CN201710213735.6

申请日：2017-04-01

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 杨开明 ,  成荣 ,  朱煜 ,  李鑫 ,  黄伟才 ,  穆海华

IPC分类号： G01B7/02

摘要： 一种磁悬浮平面电机动子悬浮高度测量系统及方法，该系统包括八个Z向电涡流传感器、两个Y向电涡流传感器、一个Y向光栅尺和一个X向容栅尺。八个Z向电涡流传感器平均分为四组，每组测一个位置上的动子悬浮高度。所述方法首先确定各Z向电涡流传感器在固定坐标系中的位置；将各Z向电涡流传感器坐标平移到一个重复单元内；在每组中选出当前伺服周期中靶区与散热孔不重合的一个Z向电涡流传感器的读数；对四个组在不同伺服周期中选出的读数组成的信号分别进行低通滤波，得到四组Z向电涡流传感器所在位置上的悬浮高度信号；将四组信号取平均得到动子的悬浮高度信号。本发明所提供的方法能够排除散热孔对悬浮高度测量的干扰，实现动子悬浮高度的准确测量。

公开(公告)号：CN106059418B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201610438862.1

申请日：2016-06-17

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 胡楚雄 ,  朱煜 ,  汪泽 ,  李敏 ,  何苏钦 ,  张鸣 ,  胡金春 ,  杨开明 ,  尹文生 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  成荣

IPC分类号： H02P21/00 ,  H02P25/064

摘要： 一种永磁同步直线电机神经网络自适应轨迹跟踪控制方法，属于直线电机运动控制技术领域。该方法利用神经网络控制器的非线性映射能力建立永磁同步直线电机的模型估计与补偿环节，以实现电机良好的轨迹跟踪性能。所述控制方法中包括基于径向基函数(RBF)的神经网络控制器、带有反馈增益的鲁棒控制器两部分，分别用来进行模型估计补偿和抑制建模误差的影响；本发明利用了神经网络的非线性逼近特性，建立了永磁同步直线电机模型非线性补偿环节，有效克服了电机运行过程中死区、推力波动等非线性因素的影响，有较强抗干扰能力和良好的稳定性，可实现良好的轨迹跟踪性能。

公开(公告)号：CN103759657B

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201410031283.6

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 朱煜 ,  王磊杰 ,  张鸣 ,  吴亚风 ,  刘召 ,  徐登峰 ,  成荣 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  杨开明 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、光电转换单元；光栅干涉仪包括偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至光电转换单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程,提高了分辨率，能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN105867072A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201610230805.4

申请日：2016-04-14

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 朱煜 ,  成荣 ,  黄涛 ,  杨开明 ,  李鑫 ,  廖晨翔 ,  王希远 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  梁志敏 ,  黄伟才

IPC分类号： G03F7/20 ,  G05B19/042

CPC分类号： G03F7/70725 ,  G05B19/0423

摘要： 一种基于VME?S总线的工件台运动控制系统，属于半导体等精密机械设备运动控制系统技术领域。该运动控制系统包括人机交互单元、VME总线机箱、CPU主控单元、运动控制单元、光纤接口单元和同步交换控制单元。本系统通过同步交换控制卡完成RapidIO网络、以太网络、同步定时网络的调度；通过多核DSP运动控制卡实时、快速完成信号处理，数据处理等算法，并实现数据通信；通过光纤接口卡实现各路光纤信号收发、预处理和数据的通信。本发明基于VME?S总线的工件台运动控制系统，改造后的运动控制卡实现多DSP处理功能，并配合独立的光接口卡及同步交换控制卡完成系统的灵活应用配置，同时本发明系统具有与其他系统产品较好的兼容性。

公开(公告)号：CN103441708B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201310406596.0

申请日：2013-09-09

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  刘召 ,  成荣 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC分类号： H02N15/00 ,  G03F7/20

摘要： 一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，主要应用于半导体光刻设备中。该运动平台包括基座、至少一个磁浮平面电机模块和一个体感控制器；每个磁浮平面电机模块由一个磁浮平面电机动子和一个磁浮平面电机定子组成，可实现微动工作台在水平面内沿X方向、沿Y方向和绕Z轴旋转。本发明与现有技术相比，由于线圈经过优化，不同规格的线圈能够适应一定的推力区间，因此可根据不同的承载力要求进行组合，具有结构简单，高效集成，节约生产成本等特点。