一种硅片加工废水的处理方法及装置

    公开(公告)号:CN111410332A

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201911214361.5

    申请日:2019-12-02

    摘要: 本发明涉及一种硅片碱蚀液冲洗废水的回收工艺及方法,更具体地是涉及一种含有氢氧化钾、硅酸钾、有机物的碱液的净化工艺,属于三废处理技术领域。包括固液分离膜过滤系统、纳滤膜过滤系统。所述的固液分离膜过滤系统位于纳滤膜过滤系统的前端。固液分离膜过滤系统包括但不局限于陶瓷固液分离膜、管式固液分离膜、板式固液分离膜以及中空纤维膜等。所述的纳滤膜过滤系统包括但不局限于卷式纳滤膜。其中纳滤膜设置两级。膜过滤系统设置若干个阀门用于调整系统的操作压力、进出水流量以及固液分离膜的反冲洗、化学清洗等。本发明具有过滤效果好、自动化程度高、适应性强、占地面积小等优点,因此本发明特别适用于硅片碱蚀液冲洗废水的回收。

    一种金属加工废水的处理方法及装置

    公开(公告)号:CN110981061A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911292539.8

    申请日:2019-12-16

    IPC分类号: C02F9/10 C02F103/16

    摘要: 本发明涉及一种金属加工洗涤废水零排放的工艺及设备,更具体地是涉及一种含有氯化钠、悬浮物、有机物的金属加工洗涤废水工艺,属于水、废水、污水或污泥的处理技术领域。包括微滤膜过滤系统、压滤系统、反渗透过滤系统、蒸发结晶系统等。所述的微滤膜过滤系统位于反渗透过滤系统的前端。微滤膜过滤系统包括但不局限于陶瓷微滤膜、管式微滤膜、板式微滤膜以及中空纤维膜等。所述的压滤系统包括但不限于板框压滤系统以及箱体式压滤系统。所述的反渗透过滤系统包括但不局限于卷式反渗透。其中反渗透设置两级。膜过滤系统设置若干个阀门用于调整系统的操作压力、进出水流量以及微滤膜的反冲洗、化学清洗等。蒸发结晶系统包含蒸发器和结晶器。