碳酰氟的制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101272983A

    公开(公告)日:2008-09-24

    申请号:CN200680035477.7

    申请日:2006-09-26

    CPC classification number: C01B32/80

    Abstract: 提供了不使用光气等毒性强的原料和难以得到的原料,可以更低廉、有效,且没有爆炸等危险、安全连续地制造COF2的方法。向反应容器内导入四氟乙烯气体和氧气,在不存在氮气的情况下,使其在气相加热反应制造碳酰氟。反应容器优选管状的反应管。四氟乙烯气体可以使用加热HCFC-22气体热分解而得的未精制或经精制的四氟乙烯气体。通过本发明可以低廉、有效且安全地制造用作CVD装置(化学气相蒸镀法)的清洗气。

    碳酰氟的制造方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101272983B

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN200680035477.7

    申请日:2006-09-26

    CPC classification number: C01B32/80

    Abstract: 提供了不使用光气等毒性强的原料和难以得到的原料,可以更低廉、有效,且没有爆炸等危险、安全连续地制造COF2的方法。向反应容器内导入四氟乙烯气体和氧气,在不存在氮气的情况下,使其在气相加热反应制造碳酰氟。反应容器优选管状的反应管。四氟乙烯气体可以使用加热HCFC-22气体热分解而得的未精制或经精制的四氟乙烯气体。通过本发明可以低廉、有效且安全地制造用作CVD装置(化学气相蒸镀法)的清洗气。

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