具有机械塌陷保持的预塌陷CMUT

    公开(公告)号:CN102333485B

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201080009239.5

    申请日:2010-02-10

    Inventor: P·迪克森

    CPC classification number: A61B8/00 A61B8/4483 B06B1/0292

    Abstract: 一种适用于超声CMUT换能器阵列中的CMUT换能器单元包括具有第一电极的膜、具有第二电极的衬底、以及位于所述膜和所述衬底之间的腔室。通过将所述膜偏置到与所述腔室的底面的塌陷状况而在预塌陷状态下操作所述CMUT,并且透镜模铸在塌陷的膜上方。在所述透镜材料聚合或者具有足够刚度时,去除所述偏置电压而所述透镜材料将所述膜保持在塌陷状态。

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