-
-
公开(公告)号：CN110192262B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201880007432.1
申请日：2018-01-19
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/28
摘要： 提取器及提取器系统最小化与初级电子束相互作用且使所述初级电子束降级的次级电子的产生。这可改进例如扫描电子显微镜的电子束系统的性能。所述提取器可包含随着距所述电子束的源的距离的增加而变宽的截头圆锥形孔隙。到所述截头圆锥形孔隙中的入口还可包含弯曲边缘。
-
公开(公告)号：CN117378029B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202280036973.3
申请日：2022-07-05
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/28
摘要： 一种电子束装置包含用于发射电子的冷场发射源及相对于所述冷场发射源正偏置以从所述冷场发射源中提取所述电子的提取器电极。所述提取器电极具有用于所述电子的第一开口。所述电子束装置还包含具有用于所述电子的第二开口的镜电极。所述镜电极能够配置为在第一操作期间相对于所述提取器电极正偏置且在第二操作模式期间相对于所述提取器电极负偏置。所述提取器电极安置于所述冷场发射源与所述镜电极之间。所述电子束装置进一步包含相对于所述提取器电极及冷场发射源正偏置的阳极。所述镜电极安置于所述提取器电极与所述阳极之间。
-
公开(公告)号：CN112074926B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201980029661.8
申请日：2019-05-27
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/063 , H01J37/073
摘要： 本发明揭示具有特定内部宽度尺寸、扫掠电极或特定内部宽度尺寸与扫掠电极的组合的电子枪系统。所述内部宽度尺寸可小于在束限制孔径下游的通道中的次级电子的拉莫尔半径的值的两倍，且所述次级电子的拉莫尔时间可大于1ns。所述扫掠电极可在漂移区中产生电场，所述电场可增大所述通道中的次级电子的动能。
-
公开(公告)号：CN109075001A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780021327.9
申请日：2017-03-31
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/28
摘要： 本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含样本台，所述样本台经配置以固定具有安置在绝缘衬底上的导电结构的样本。所述系统包含电子光学柱，所述电子光学柱包含：电子源，其经配置以生成初级电子束；及一组电子光学元件，其经配置以将所述初级电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上。所述系统包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面射出的电子。所述系统包含控制器，所述控制器通信地耦合到所述检测器组合件。所述控制器经配置以引导所述电子光学柱及所述台使用所述初级电子束来执行所述样本的所述部分的图像扫描及泛射扫描的交替系列，其中在所述成像扫描中的一或多者之后执行所述泛射扫描中的每一者。
-
公开(公告)号：CN112074925B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201980029660.3
申请日：2019-05-26
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 本发明揭示聚焦及对准多重电子束的系统及方法。相机产生投射在具有多个目标的光纤阵列处的来自电子束的光的图像数据。图像处理模块基于所述图像数据确定对施加到中继透镜、场透镜或多极阵列的电压的调整。所述调整最小化所述电子束中的一者的位移、散焦或像差中的至少一者。使用控制模块，将所述电压施加到所述中继透镜、所述场透镜或所述多极阵列。
-
公开(公告)号：CN112074926A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201980029661.8
申请日：2019-05-27
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/063 , H01J37/073
摘要： 本发明揭示具有特定内部宽度尺寸、扫掠电极或特定内部宽度尺寸与扫掠电极的组合的电子枪系统。所述内部宽度尺寸可小于在束限制孔径下游的通道中的次级电子的拉莫尔半径的值的两倍，且所述次级电子的拉莫尔时间可大于1ns。所述扫掠电极可在漂移区中产生电场，所述电场可增大所述通道中的次级电子的动能。
-
公开(公告)号：CN112074925A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201980029660.3
申请日：2019-05-26
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 本发明揭示聚焦及对准多重电子束的系统及方法。相机产生投射在具有多个目标的光纤阵列处的来自电子束的光的图像数据。图像处理模块基于所述图像数据确定对施加到中继透镜、场透镜或多极阵列的电压的调整。所述调整最小化所述电子束中的一者的位移、散焦或像差中的至少一者。使用控制模块，将所述电压施加到所述中继透镜、所述场透镜或所述多极阵列。
-
公开(公告)号：CN110192262A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201880007432.1
申请日：2018-01-19
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/28
摘要： 提取器及提取器系统最小化与初级电子束相互作用且使所述初级电子束降级的次级电子的产生。这可改进例如扫描电子显微镜的电子束系统的性能。所述提取器可包含随着距所述电子束的源的距离的增加而变宽的截头圆锥形孔隙。到所述截头圆锥形孔隙中的入口还可包含弯曲边缘。
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
12 条记录 (耗时 0.028 秒)
