公开(公告)号：CN101515791A

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200910117912.6

申请日：2009-02-19

申请人： 精工电子有限公司

发明人： 富山光男 ,  小林高志 ,  须釜一义

IPC分类号： H03H3/02 ,  H01L41/22

CPC分类号： H03H3/02 ,  C30B29/18 ,  C30B33/08 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/21 ,  H03H2003/026 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49156

摘要： 本发明涉及压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振子、振荡器、电子设备及电波时钟，能够在制造过程中可靠地防止晶片产生损伤、裂纹或破裂并制造多个压电振动片。其中，压电振动片的制造方法，是从晶片制造多个压电振动片的方法，包括：成膜工序，分别在晶片的两面形成金属膜M；图案形成工序，对金属膜除去在整个周边的从晶片外周边进入内侧一定距离H的区域后，图案化成多个压电振动片的外形形状；外形形成工序，以图案化的金属膜为掩模通过湿蚀刻加工有选择地除去晶片，在尺寸减小一定距离的量的晶片上形成多个压电振动片的外形；以及除去工序，除去金属膜。

公开(公告)号：CN101510764A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200910006745.8

申请日：2009-02-13

申请人： 精工电子有限公司

发明人： 富山光男 ,  小林高志 ,  须釜一义

IPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/02

CPC分类号： H03H3/02 ,  H03H3/04 ,  H03H9/17 ,  H03H9/21 ,  H03H2003/026 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49798 ,  Y10T29/53265

摘要： 本发明涉及压电振动片及其制造方法、包括其的装置、晶圆及其夹具，具体而言，为了有效地制造高质量的压电振动片，而与晶圆的外部形状的精度无关，提供一种利用晶圆(S)一次制造多个压电振动片的方法，该方法包括：形成两个或更多个通孔(40)并同时利用通孔形成多个压电板(10)的外部形状的步骤，其利用光刻技术刻蚀晶圆并且利用通孔的中心构造参考点；准备用于晶圆的夹具的步骤，该夹具具有数量与通孔的数量相等且从平板部上方突出的插入销，其后在将插入销插入通孔的状态下将晶圆安装在平板部上；在多个压电板的外表面上形成电极的步骤；和进行切割以使多个压电板从晶圆分离成片段的步骤。