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公开(公告)号：CN112151412B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010587593.1
申请日：2020-06-24
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 提供了传送机器人和具有传送机器人的基板处理装置。基板处理装置包括传送腔室、预真空锁腔室、工艺单元、轨道和传送机器人，其中：传送腔室具有朝向一侧伸长的形状，并且提供基板的移动空间；预真空锁腔室连接到传送腔室，以提供与传送腔室交换工艺前的基板或工艺后的基板的空间；工艺单元连接到传送腔室，以执行针对从传送腔室传递的基板的工艺；轨道设置在传送腔室内，以提供基板的移动路径；以及传送机器人能够以非接触方式沿着轨道移动，并且进入或退出预真空锁腔室以在预真空锁腔室与传送腔室之间交换基板。
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公开(公告)号：CN116365325A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211699135.2
申请日：2022-12-28
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： H01R43/048 , H01L21/67 , H05B3/20 , H05B3/54
摘要： 本发明涉及一种用于加热板的电源端子的结合设备，所述结合设备用于结合向基板的电热丝供电的电源端子。所述用于加热板的电源端子的结合设备包括：腔室；平台，所述平台设置在所述腔室的内部空间中，并且所述基板放置在所述平台上；上压制部分，所述上压制部分设置在所述腔室的所述内部空间中以朝向所述平台，被设置为可垂直移动，并且具有被配置为固定所述电源端子的端子固定部分；以及升降驱动器，所述升降驱动器被配置为上下移动所述上压制部分，其中所述端子固定部分还包括被配置为通过磁力保持所述电源端子的磁性保持器。
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公开(公告)号：CN116417374A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202211537807.X
申请日：2022-12-01
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 提供了一种用于处理基板的装置，该装置包括：腔室，其具有处理空间；支撑单元，其用于在处理空间中支撑和旋转基板；喷嘴，其用于向由支撑单元支撑的基板供应高温处理液；和液体供应单元，其用于向喷嘴供应高温处理液，其中该液体供应单元包括：储罐，其用于储存处理液；主循环管线，其用于从储罐的内部空间向喷嘴供应处理液或将处理液回收至储罐的内部空间；和连接管线，其连接至主循环管线以向喷嘴供应处理液，并且在主循环管线中安装用于将处理液加热至预定温度的加热器模块，并且该加热器模块包括：供处理液在其中流动的管，并且管由石英材料制成；和加热元件，其设置在管的表面上。
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公开(公告)号：CN116202216A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202210802010.1
申请日：2022-07-07
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： F24H1/14 , F24H9/1818 , F24H9/20 , F24H15/25
摘要： 本申请提供一种能够稳定且有效地加热处理液的加热装置。加热装置包括：第一单元加热器，包括第一流路；第二单元加热器，包括第二流路；以及第一管状件，连接第一单元加热器和第二单元加热器，其中，处理液流经第一流路、第一管状件和第二流路，并且通过第一单元加热器和第二单元加热器被加热，第一单元加热器包括：第一管道，沿第一方向延伸并且其内部包括沿第一方向形成的第一流路；第一输入端子，形成在第一管道的表面上且沿第一方向延伸；第一输出端子，形成在第一管道的表面上，沿第一方向延伸，并且与第一输入端子隔开；以及彼此隔开的多个第一加热线，形成在第一管道的表面上，并且连接第一输入端子和第一输出端子。
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公开(公告)号：CN112151412A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010587593.1
申请日：2020-06-24
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 提供了传送机器人和具有传送机器人的基板处理装置。基板处理装置包括传送腔室、预真空锁腔室、工艺单元、轨道和传送机器人，其中：传送腔室具有朝向一侧伸长的形状，并且提供基板的移动空间；预真空锁腔室连接到传送腔室，以提供与传送腔室交换工艺前的基板或工艺后的基板的空间；工艺单元连接到传送腔室，以执行针对从传送腔室传递的基板的工艺；轨道设置在传送腔室内，以提供基板的移动路径；以及传送机器人能够以非接触方式沿着轨道移动，并且进入或退出预真空锁腔室以在预真空锁腔室与传送腔室之间交换基板。
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