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公开(公告)号：CN118148481A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202311530610.8
申请日：2023-11-16
申请人： 细美事有限公司
摘要： 本公开提供了一种能够改善可制造性、可组装性和可维护性并降低操作成本的卷帘开闭装置、包括该卷帘开闭装置的卷帘开闭系统以及卷帘开闭方法。卷帘开闭装置包括：主体，该主体连接到打开和关闭的主门、以随主门的移动而移动；主引导单元，该主引导单元连接耦合到主体；卷帘推动单元，该卷帘推动单元在主导引单元上为可移动的；链接件单元，该链接件单元可旋转地连接到卷帘推动单元、以随着卷帘推动单元的移动而移动；以及卷帘，该卷帘连接到链接件单元以随着链接件单元的移动而移动、并且使用用于移动主门的驱动力来打开和关闭。
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公开(公告)号：CN118025931A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311444992.2
申请日：2023-11-01
申请人： 细美事有限公司
摘要： 提供了一种塔式升降机，包括：轨道模块，在竖直方向上延伸；托架模块，被设置为能够以磁悬浮的方式轨道模块移动；和制动装置，与所托架模块集成一体，并被配置为沿轨道模块移动，其中制动装置包括：基部实体结构，具有相对于托架模块固定的相对位置并提供倾斜表面；和制动结构，沿基部实体结构的倾斜表面移动，以通过选择性地与轨道模块接触而停止托架模块的下落，轨道模块位于基部实体结构和制动结构之间，使得制动结构与轨道模块的两个侧壁接触，以及制动结构在用于驱动塔式升降机的电力被切断时停止托架模块的下落。
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公开(公告)号：CN115744712A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211045590.0
申请日：2022-08-30
申请人： 细美事有限公司
摘要： 提供了一种塔式升降机，包括：本体；第一托架模块和第二托架模块，所述第一托架模块和所述第二托架模块被配置为可沿着所述本体在竖直方向上移动，并且各自支撑待传送的物体；驱动单元，所述驱动单元包括使所述第一托架模块和所述第二托架模块竖直地移动的驱动皮带，并且所述第一托架模块或所述第二托架模块安装在所述驱动皮带上；以及间隙调节单元，所述间隙调节单元调节所述第一托架模块与所述第二托架模块之间的间隙。
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公开(公告)号：CN101045233A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710003655.4
申请日：2007-01-23
申请人： 细美事有限公司
CPC分类号： B08B3/022 , B08B1/02 , B08B1/04 , B08B2230/01 , H01L21/02052 , H01L21/67028 , H01L21/67051
摘要： 本发明涉及一种处理基材的设备。根据本发明，利用向该基材上喷射高温和高压的蒸汽清洗该基材。设置蒸汽产生器在该基材上连续提供蒸汽。在利用蒸汽清洗之后，可以利用刷子清洗。
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公开(公告)号：CN118479326A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202311705558.5
申请日：2023-12-13
摘要： 本申请提供了一种塔式升降机和包括该塔式升降机的半导体传送设备，塔式升降机包括：框架，在竖直方向上延伸；托架，配置为沿着框架移动；第一线圈，布置在框架的第一表面上，第一表面面向托架；第二线圈，布置在框架的第一表面上，并且与第一线圈分离；第一磁体，连接到托架，并且位于第一线圈和第二线圈之间；以及第二磁体，连接到托架，位于第一磁体和第二线圈之间，并且与第一磁体分离。
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公开(公告)号：CN118220947A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202311662740.7
申请日：2023-12-06
申请人： 细美事有限公司
摘要： 提供了一种塔式升降机，所述塔式升降机包括：轨道模块，在竖直方向上延伸；滑架模块，所述滑架模块能够沿所述轨道模块以磁悬浮方式移动；以及制动装置，配置为与所述滑架模块一体地沿所述轨道模块移动，其中，所述制动装置包括：第一制动体，配置为通过与所述轨道模块的选择性接触防止所述滑架模块下落；弹性构件，提供在所述第一制动体上方并配置为将向上的弹性力施加到所述第一制动体；以及致动器，提供在所述第一制动体下方并配置为通过连接到所述第一制动体的旋转轴连接结构向下拉动所述第一制动体。
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公开(公告)号：CN118056773A
公开(公告)日：2024-05-21
申请号：CN202311507519.4
申请日：2023-11-13
申请人： 细美事有限公司
摘要： 一种塔式升降机，包括：轨道模块，所述轨道模块在竖直方向上延伸；滑架模块，所述滑架模块被构造成能够通过磁悬浮方法沿着所述轨道模块移动；和制动装置，所述制动装置被构造成与所述滑架模块一体地沿着所述轨道模块移动，其中，所述制动装置包括第一制动本体和第二制动本体以及连杆单元，所述第一制动本体和所述第二制动本体被构造成与所述轨道模块选择性地接触以防止所述滑架模块掉落，所述连杆单元被构造成将所述第一制动本体连接到所述第二制动本体，并且所述连杆单元将力从所述第一制动本体和所述第二制动本体中的一个传递到所述第一制动本体和所述第二制动本体中的另一个。
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公开(公告)号：CN115966495A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202210707948.5
申请日：2022-06-21
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明提供包括非接触式驱动部的基板移送装置。所述基板移送装置包括：定子组件，其包括驱动表面和电磁生成模块；第一动子，其包括与所述电磁生成模块相向的第一磁体模块，并在所述驱动表面上悬浮移动，并且包括第一倾斜面；第二动子，其包括与所述电磁生成模块相向的第二磁体模块，并在所述驱动表面上悬浮移动，并且包括第二倾斜面；以及移送构件，其配置在所述第一动子与所述第二动子之间，并根据所述第一动子与所述第二动子之间的距离沿着所述第一倾斜面以及所述第二倾斜面移动。
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公开(公告)号：CN112151412A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010587593.1
申请日：2020-06-24
申请人： 细美事有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 提供了传送机器人和具有传送机器人的基板处理装置。基板处理装置包括传送腔室、预真空锁腔室、工艺单元、轨道和传送机器人，其中：传送腔室具有朝向一侧伸长的形状，并且提供基板的移动空间；预真空锁腔室连接到传送腔室，以提供与传送腔室交换工艺前的基板或工艺后的基板的空间；工艺单元连接到传送腔室，以执行针对从传送腔室传递的基板的工艺；轨道设置在传送腔室内，以提供基板的移动路径；以及传送机器人能够以非接触方式沿着轨道移动，并且进入或退出预真空锁腔室以在预真空锁腔室与传送腔室之间交换基板。
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