公开(公告)号：CN109509699A

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201811075544.9

申请日：2018-09-14

申请人： 细美事有限公司

发明人： 崔海圆 ,  姜基文 ,  崔基勋 ,  A·科里阿金 ,  许瓒宁 ,  李在晟 ,  林权泽 ,  金勇勲 ,  李相昊

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种无水基板清洁组合物，基板处理方法和基板处理设备。所述无水基板清洁组合物包括含氟刻蚀复合物、溶解所述刻蚀复合物的溶剂、以及作为含磷复合物的粘结剂。

公开(公告)号：CN109509699B

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN201811075544.9

申请日：2018-09-14

申请人： 细美事有限公司

发明人： 崔海圆 ,  姜基文 ,  崔基勋 ,  A·科里阿金 ,  许瓒宁 ,  李在晟 ,  林权泽 ,  金勇勲 ,  李相昊

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种无水基板清洁组合物，基板处理方法和基板处理设备。所述无水基板清洁组合物包括含氟刻蚀化合物、溶解所述刻蚀化合物的溶剂、以及作为含磷化合物的粘结剂。