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公开(公告)号：CN103282819A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201180062985.5
申请日：2011-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B7/1821 , G02B26/085 , G02B26/101 , G02B26/105 , G02B26/12
Abstract: 本发明涉及一种可磁驱动的微镜，其具有设置在第一平面中的外框架（205）、线圈体（202）和扭转弹簧（203），其中所述扭转弹簧（203）具有旋转轴线，其中所述线圈体（202）借助所述扭转弹簧（203）可围绕所述旋转轴线旋转运动地与所述外框架（205）连接，所述可磁驱动的微镜具有镜元件（305），其设置在与第一平面平行的第二平面中，其中所述镜元件（305）借助中间层（250）与所述线圈体（202）连接。本发明还涉及一种具有第一可磁驱动的微镜和第二可驱动的镜的二维扫描仪和一种用于制造微镜的方法。
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公开(公告)号：CN102187563A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200980141806.X
申请日：2009-08-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N1/006 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及一种静电驱动器，包括：一个内框架(16)；至少一个包围内框架的中间框架(14)；和一个包围内框架(12)和所述至少一个中间框架(14)的外框架(12)；其中，内、中间和外框架(12，14，16)中每两个相邻的框架(12，14，16)通过至少一个弹簧元件(22，24，26)相互连接，所述弹簧元件(22，24，26)，通过它们将内、中间和外框架(12，14，16)的每两个相邻的框架(12，14，16)相互连接，被这样地设置，使得所述弹簧元件(22，24，26)的纵向方向位于一个共同的弹簧纵向轴线(28)上，以及直接在内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)的平行于弹簧纵向轴线(28)定向的框架梁(12a，14a，16a)上设有电极指。本发明同样涉及一种用于静电驱动器的制造方法。本发明还涉及一种微机械部件(10)和用于微机械部件(10)的制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103282819B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201180062985.5
申请日：2011-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B7/1821 , G02B26/085 , G02B26/101 , G02B26/105 , G02B26/12
Abstract: 本发明涉及一种可磁驱动的微镜，其具有设置在第一平面中的外框架（205）、线圈体（202）和扭转弹簧（203），其中所述扭转弹簧（203）具有旋转轴线，其中所述线圈体（202）借助所述扭转弹簧（203）可围绕所述旋转轴线旋转运动地与所述外框架（205）连接，所述可磁驱动的微镜具有镜元件（305），其设置在与第一平面平行的第二平面中，其中所述镜元件（305）借助中间层（250）与所述线圈体（202）连接。本发明还涉及一种具有第一可磁驱动的微镜和第二可驱动的镜的二维扫描仪和一种用于制造微镜的方法。
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公开(公告)号：CN102217183A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980146261.1
申请日：2009-09-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N2/14 , G02B6/3512 , G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 本发明涉及一种用于运行静电驱动装置的方法，该静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们由多层电极构成，其中该致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于定子电极(50)设置，使得第一致动器电极子单元(52b)比第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至第一定子电极子单元(50b)的距离，具有步骤：通过将第一电位(∏1)施加到第一定子电极子单元(50b)上并且将与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到第一致动器电极子单元(52b)上，并且将不同于第一电位(∏1)和第二电位(∏2)的第三电位(∏3)施加到第二定子电极子单元(50c)和第二致动器电极子单元(52c)上，使致动器电极(52)相对于定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置。
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公开(公告)号：CN102217183B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN200980146261.1
申请日：2009-09-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N2/14 , G02B6/3512 , G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 本发明涉及一种用于运行静电驱动装置的方法，该静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们由多层电极构成，其中该致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于定子电极(50)设置，使得第一致动器电极子单元(52b)比第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至第一定子电极子单元(50b)的距离，具有步骤：通过将第一电位(∏1)施加到第一定子电极子单元(50b)上并且将与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到第一致动器电极子单元(52b)上，并且将不同于第一电位(∏1)和第二电位(∏2)的第三电位(∏3)施加到第二定子电极子单元(50c)和第二致动器电极子单元(52c)上，使致动器电极(52)相对于定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置。
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公开(公告)号：CN102119118B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN200980131329.9
申请日：2009-07-06
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00166 , B81B2201/033 , B81C2201/014
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件(100)的制造方法，包括以下步骤：在基本衬底上形成第一蚀刻停止层，第一蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的第一图案；在第一蚀刻停止层上形成第一电极材料层；在第一电极材料层上形成第二蚀刻停止层，第二蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的与第一图案不同的第二图案；在第二蚀刻停止层上形成第二电极材料层；在第二电极材料层上形成结构化的掩膜；和在第一方向上执行第一蚀刻步骤并且在与第一方向相反指向的第二方向上执行第二蚀刻步骤，以便由第一电极材料层蚀刻出至少一个第一电极单元及由第二电极材料层蚀刻出至少一个第二电极单元。本发明还涉及微机械部件(100)。
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公开(公告)号：CN102119118A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200980131329.9
申请日：2009-07-06
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00166 , B81B2201/033 , B81C2201/014
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件(100)的制造方法，包括以下步骤：在基本衬底上形成第一蚀刻停止层，第一蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的第一图案；在第一蚀刻停止层上形成第一电极材料层；在第一电极材料层上形成第二蚀刻停止层，第二蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的与第一图案不同的第二图案；在第二蚀刻停止层上形成第二电极材料层；在第二电极材料层上形成结构化的掩膜；和在第一方向上执行第一蚀刻步骤并且在与第一方向相反指向的第二方向上执行第二蚀刻步骤，以便由第一电极材料层蚀刻出至少一个第一电极单元及由第二电极材料层蚀刻出至少一个第二电极单元。本发明还涉及微机械部件(100)。
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