具有微机械麦克风结构的器件

    公开(公告)号:CN103731783A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201310472910.5

    申请日:2013-10-11

    CPC classification number: H04R23/00 H04R7/14 H04R19/005 H04R19/04 H04R2410/03

    Abstract: 本发明涉及一种用于实现在相对较小的芯片面积的情况下具有高测量灵敏度的电容式MEMS麦克风的方案。所述器件的微机械麦克风结构以层结构实现并且包括至少一个声压敏感的膜片结构、一个声学穿透的对应元件和一个用于检测膜片结构的偏转的电容器装置,所述膜片结构能够基本上垂直于层结构的层平面偏转,所述对应元件具有通孔并且以层结构构造在膜片结构的上方/下方。根据本发明,膜片结构包括至少一个基本上垂直地从膜片平面伸出的结构元件,所述结构元件根据膜片结构的偏转程度或多或少地伸入对应元件的相应成形和设置的通孔中。结构元件设置在膜片结构的中间区域中。

    用于运行电转向系统的方法和电转向系统

    公开(公告)号:CN118387183A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410095234.2

    申请日:2024-01-23

    Abstract: 本发明涉及一种用于运行车辆的电转向系统的方法,所述方法具有下述步骤:提供所述电转向系统,所述电转向系统具有输入设备和转向设备,所述输入设备能够通过所述车辆的操作者通过改变输入位态操作,所述转向设备通过改变所述车辆的至少一个车轮的车轮调整角度实施所述车辆的转向运动;实施自动化转向运动,在所述自动化转向运动的情况下,进行输入位态改变和车轮调整角度改变,并且为所述自动化转向运动预给定起始时间点、输入位态改变变化曲线和车轮调整角度改变变化曲线,用于实施所述车辆的所计算的车辆轨迹,其中,在实施所述自动化转向运动时对所述操作者进行通知,其方式是,执行一个或者多个通知措施。另外,本发明涉及一种电转向系统。

    减轻对车辆软件的操纵
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116639140A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310150021.0

    申请日:2023-02-21

    Abstract: 本公开的一个方面涉及一种计算机实现的方法。该方法包括在用于减轻软件操纵的中央设备中识别操纵车辆的车载网络的多个组件中第一组件的软件的可能性。用于减轻操纵的所述中央设备是所述车载网络的一部分并且被设计为减轻所述车载网络的多个组件中每个组件中的软件。该方法还包括引入用于减轻对所述第一组件的软件操纵的对策以及执行用于减轻对所述第一组件的软件操纵的对策。所述对策包括改变所述第一组件的功能并且将所述第一组件的功能至少部分转移到所述多个组件中的一个或多个其他组件。所述车载网络被设计成,在违反所述第一组件和/或所述车辆的一个或多个与运行状态相关的标准的情况下也执行所述功能的改变和至少部分转移。

    具有微机械麦克风结构的器件

    公开(公告)号:CN103731783B

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201310472910.5

    申请日:2013-10-11

    Abstract: 本发明涉及一种用于实现在相对较小的芯片面积的情况下具有高测量灵敏度的电容式MEMS麦克风的方案。所述器件的微机械麦克风结构以层结构实现并且包括至少一个声压敏感的膜片结构、一个声学穿透的对应元件和一个用于检测膜片结构的偏转的电容器装置,所述膜片结构能够基本上垂直于层结构的层平面偏转,所述对应元件具有通孔并且以层结构构造在膜片结构的上方/下方。根据本发明,膜片结构包括至少一个基本上垂直地从膜片平面伸出的结构元件,所述结构元件根据膜片结构的偏转程度或多或少地伸入对应元件的相应成形和设置的通孔中。结构元件设置在膜片结构的中间区域中。

    具有微机械传声器结构的构件

    公开(公告)号:CN103546845B

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201310478347.2

    申请日:2013-07-09

    CPC classification number: B81B3/0021 H04R19/005 H04R19/016

    Abstract: 本发明涉及具有微机械传声器结构的构件。提出用于改进传声器构件的传声器灵敏性和传声器信号的线性行为的措施,该措施还有助于提高构件的牢固性。构件(10)的微机械传声器结构以层结构方式实现在半导体衬底(1)上并且包括:声学上起作用的膜片(11),该膜片至少部分地跨越衬底背侧中的声孔(14)并且设有传声器电容器组件的至少一个可运动的电极;以及固定的、可透声的、具有贯通孔(16)的对应元件(15),该对应元件以层结构方式布置在膜片(11)上方并且作为用于传声器电容器组件的至少一个不可运动的电极起作用。根据本发明,膜片(11)在中心区域(121)中连接到半导体衬底(1)上。膜片(11)还至少区域式地具有瓦楞板形的褶皱(13)。

    具有微机械传声器结构的构件

    公开(公告)号:CN103546845A

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201310478347.2

    申请日:2013-07-09

    CPC classification number: B81B3/0021 H04R19/005 H04R19/016

    Abstract: 本发明涉及具有微机械传声器结构的构件。提出用于改进传声器构件的传声器灵敏性和传声器信号的线性行为的措施,该措施还有助于提高构件的牢固性。构件(10)的微机械传声器结构以层结构方式实现在半导体衬底(1)上并且包括:声学上起作用的膜片(11),该膜片至少部分地跨越衬底背侧中的声孔(14)并且设有传声器电容器组件的至少一个可运动的电极;以及固定的、可透声的、具有贯通孔(16)的对应元件(15),该对应元件以层结构方式布置在膜片(11)上方并且作为用于传声器电容器组件的至少一个不可运动的电极起作用。根据本发明,膜片(11)在中心区域(121)中连接到半导体衬底(1)上。膜片(11)还至少区域式地具有瓦楞板形的褶皱(13)。

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