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公开(公告)号：CN106375919B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201610584852.9
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 提出一些措施，通过这些措施能够符合目的地减小MEMS构件的膜片结构内的机械应力，此外这些措施还使得膜片元件能具有与芯片面积相比较大的膜片面积。该膜片元件构造在MEMS构件的层结构中。该膜片元件覆盖该层结构中的开口并且通过弹簧结构连接到该层结构上。该弹簧结构包括至少一个第一弹簧部件，其基本上平行于该膜片元件取向并且构造在该膜片元件下方的层平面中。该弹簧结构还包括至少一个第二弹簧部件，其基本上垂直于该膜片元件取向。该弹簧结构这样设计，使得该膜片元件的面积大于该膜片元件覆盖的开口的面积。
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公开(公告)号：CN113526451A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110404774.0
申请日：2021-04-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于在微机械晶圆上制造阻尼结构的方法，该方法具有以下步骤：A‑提供至少部分UV透明的主模，用于模制阻尼结构；B‑将微机械晶圆插入并按压到所述主模中，使得晶圆中的微机械结构是关于所述阻尼结构经调整的；C‑以UV硬化的LSR填充所述主模并随后进行UV曝光；D‑脱模并移除由附有阻尼部分的微机械晶圆组成的经复合的结构。本发明还涉及一种用于制造带有经UV硬化的阻尼部分的分离的MEMS芯片的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106375914B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201610584853.3
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: MEMS构件(51)，在其层结构中构造有至少一个声压敏感的膜片元件(531)，其覆盖所述层结构中的开口或空腔，所述膜片元件(531)的偏移借助膜片元件(531)的连接区域中的至少一个压敏电路元件(58)来感测，提出应能够在所述膜片元件偏移时符合目的地影响膜片面上的应力分布的设计措施。尤其提出将所述机械应力符合目的地传导到膜片元件的预先给定区域中的措施，以便增强测量信号。为此，所述膜片元件(531)应包括至少一个预定弯曲区域(55)，其通过所述膜片元件(531)的结构化(571)限定并且在声作用下与邻接的膜片区段(56)相比更强烈地变形。
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公开(公告)号：CN106375919A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610584852.9
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 提出一些措施，通过这些措施能够符合目的地减小MEMS构件的膜片结构内的机械应力，此外这些措施还使得膜片元件能具有与芯片面积相比较大的膜片面积。该膜片元件构造在MEMS构件的层结构中。该膜片元件覆盖该层结构中的开口并且通过弹簧结构连接到该层结构上。该弹簧结构包括至少一个第一弹簧部件，其基本上平行于该膜片元件取向并且构造在该膜片元件下方的层平面中。该弹簧结构还包括至少一个第二弹簧部件，其基本上垂直于该膜片元件取向。该弹簧结构这样设计，使得该膜片元件的面积大于该膜片元件覆盖的开口的面积。
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公开(公告)号：CN106341764B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201510530178.1
申请日：2015-07-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械声转换器装置和一种相应的制造方法。所述微机械声转换器装置包括具有前侧和背侧的衬底，其中衬底具有在背侧和前侧之间延伸的贯通开口，以及具有构造在前侧上的具有线圈轴线的线圈装置，所述线圈轴线基本上平行于前侧延伸，其中线圈装置至少部分跨越贯通开口。此外设置磁体装置，其如此设置，使得通过所述磁体装置可以产生穿过线圈装置的轴向磁通量。所述线圈装置具有绕组装置，所述绕组装置至少具有由低维的导电材料层构成的第一绕组区段，其中线圈装置如此构造，使得其能够感应地检测和/或产生声。
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公开(公告)号：CN106375914A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610584853.3
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: MEMS构件(51)，在其层结构中构造有至少一个声压敏感的膜片元件(531)，其覆盖所述层结构中的开口或空腔，所述膜片元件(531)的偏移借助膜片元件(531)的连接区域中的至少一个压敏电路元件(58)来感测，提出应能够在所述膜片元件偏移时符合目的地影响膜片面上的应力分布的设计措施。尤其提出将所述机械应力符合目的地传导到膜片元件的预先给定区域中的措施，以便增强测量信号。为此，所述膜片元件(531)应包括至少一个预定弯曲区域(55)，其通过所述膜片元件(531)的结构化(571)限定并且在声作用下与邻接的膜片区段(56)相比更强烈地变形。
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公开(公告)号：CN106341764A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201510530178.1
申请日：2015-07-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械声转换器装置和一种相应的制造方法。所述微机械声转换器装置包括具有前侧和背侧的衬底，其中衬底具有在背侧和前侧之间延伸的贯通开口，以及具有构造在前侧上的具有线圈轴线的线圈装置，所述线圈轴线基本上平行于前侧延伸，其中线圈装置至少部分跨越贯通开口。此外设置磁体装置，其如此设置，使得通过所述磁体装置可以产生穿过线圈装置的轴向磁通量。所述线圈装置具有绕组装置，所述绕组装置至少具有由低维的导电材料层构成的第一绕组区段，其中线圈装置如此构造，使得其能够感应地检测和/或产生声。
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