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公开(公告)号:CN104942702A
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201510144091.0
申请日:2015-03-30
申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限公司
IPC分类号: B24B37/24 , B24B37/22 , B24B37/013
CPC分类号: B24B37/205 , B24B37/013 , B24B49/12 , G02B1/12 , H01F41/00 , H01L21/30625
摘要: 本发明提供了一种化学机械抛光垫,其包括:抛光层;以及结合至所述化学机械抛光垫中的终点检测窗口,其中所述终点检测窗口是塞入性窗口;其中所述终点检测窗口包含以下成分的反应产物,所述成分包含窗口预聚物以及窗口固化剂体系,所述窗口固化剂体系包含至少5重量%的窗口双官能的固化剂、至少5重量%的窗口胺引发的多元醇固化剂以及25-90重量%窗口高分子量多元醇固化剂。
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公开(公告)号:CN104942702B
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201510144091.0
申请日:2015-03-30
申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限公司
IPC分类号: B24B37/24 , B24B37/22 , B24B37/013
CPC分类号: B24B37/205 , B24B37/013 , B24B49/12 , G02B1/12 , H01F41/00 , H01L21/30625
摘要: 本发明提供了一种化学机械抛光垫,其包括:抛光层;以及结合至所述化学机械抛光垫中的终点检测窗口,其中所述终点检测窗口是塞入性窗口;其中所述终点检测窗口包含以下成分的反应产物,所述成分包含窗口预聚物以及窗口固化剂体系,所述窗口固化剂体系包含至少5重量%的窗口双官能的固化剂、至少5重量%的窗口胺引发的多元醇固化剂以及25‑90重量%窗口高分子量多元醇固化剂。
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公开(公告)号:CN101628395A
公开(公告)日:2010-01-20
申请号:CN200910160798.5
申请日:2009-07-17
申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
IPC分类号: B24B37/04 , B24B29/02 , H01L21/304 , B24D18/00
CPC分类号: B24B37/22 , Y10T156/1092 , Y10T428/2848
摘要: 提供一种化学机械抛光垫制造组合件,该组合件具有:子垫层,其具有顶表面和底表面;背板,具有顶侧和底侧;牺牲层,具有至少两个凹区,凹区设计用来便于子垫层与背板的贴附;其中,子垫层设置在背板的顶侧,牺牲层设置在背板的底侧,至少两个环绕包裹垂片延伸至背板的底侧。还提供使用所述化学机械抛光垫制造组合件制造化学机械抛光垫的方法。
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公开(公告)号:CN101628398B
公开(公告)日:2012-02-15
申请号:CN200910160797.0
申请日:2009-07-17
申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
IPC分类号: B24D18/00 , B24B37/04 , H01L21/304
CPC分类号: B24B37/22 , B24D18/0045 , B24D18/0072 , Y10T156/1092
摘要: 一种制造多层化学机械抛光垫的方法,其包括:提供抛光层,提供子垫层,任选提供附加层,提供未固化的反应性热熔粘合剂,以一定图案将未固化的反应性热熔粘合剂施用于至少一个层的表面,在未固化的反应性热熔粘合剂图案上施加其他层中的一个层,将这两个层压制在一起,使未固化的反应性热熔粘合剂介于其间,使未固化的反应性热熔粘合剂固化,形成在这两个层之间的反应性热熔粘合剂粘结。
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公开(公告)号:CN101628395B
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN200910160798.5
申请日:2009-07-17
申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
IPC分类号: B24B37/04 , B24B29/02 , H01L21/304 , B24D18/00
CPC分类号: B24B37/22 , Y10T156/1092 , Y10T428/2848
摘要: 提供一种化学机械抛光垫制造组合件,该组合件具有:子垫层,其具有顶表面和底表面;背板,具有顶侧和底侧;牺牲层,具有至少两个凹区,凹区设计用来便于子垫层与背板的贴附;其中,子垫层设置在背板的顶侧,牺牲层设置在背板的底侧,至少两个环绕包裹垂片延伸至背板的底侧。还提供使用所述化学机械抛光垫制造组合件制造化学机械抛光垫的方法。
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公开(公告)号:CN101628398A
公开(公告)日:2010-01-20
申请号:CN200910160797.0
申请日:2009-07-17
申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
IPC分类号: B24D18/00 , B24B37/04 , H01L21/304
CPC分类号: B24B37/22 , B24D18/0045 , B24D18/0072 , Y10T156/1092
摘要: 一种制造多层化学机械抛光垫的方法,其包括:提供抛光层,提供子垫层,任选提供附加层,提供未固化的反应性热熔粘合剂,以一定图案将未固化的反应性热熔粘合剂施用于至少一个层的表面,在未固化的反应性热熔粘合剂图案上施加其他层中的一个层,将这两个层压制在一起,使未固化的反应性热熔粘合剂介于其间,使未固化的反应性热熔粘合剂固化,形成在这两个层之间的反应性热熔粘合剂粘结。
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