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公开(公告)号：CN116316055B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310547285.X
申请日：2023-05-16
摘要： 本申请公开了半导体激光器接触电极及其制备方法，其中半导体激光器接触电极包括衬底层、接触层、第一扩散阻挡层、第二扩散阻挡层和上盖层；其中，第一扩散阻挡层包括从下至上依次设置的第一粘结金属、难熔金属或难熔合金以及第二粘结金属，第一粘结金属与难熔金属或难熔合金形成有第一互溶异质界面区域，第二粘结金属与难熔金属或难熔合金形成有第二互溶异质界面区域。本申请公开的半导体激光器接触电极及其制备方法，能够提高整个电极的耐高温性能，提升半导体激光器制造的效率和良率；能够使电极电阻仍能保持在较低的量级，提升半导体激光器的性能；有效降低电极厚度，降低应力，进而降低由于电极厚度增加产生的碎裂风险，提高产品质量。
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公开(公告)号：CN116316055A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310547285.X
申请日：2023-05-16
摘要： 本申请公开了半导体激光器接触电极及其制备方法，其中半导体激光器接触电极包括衬底层、接触层、第一扩散阻挡层、第二扩散阻挡层和上盖层；其中，第一扩散阻挡层包括从下至上依次设置的第一粘结金属、难熔金属或难熔合金以及第二粘结金属，第一粘结金属与难熔金属或难熔合金形成有第一互溶异质界面区域，第二粘结金属与难熔金属或难熔合金形成有第二互溶异质界面区域。本申请公开的半导体激光器接触电极及其制备方法，能够提高整个电极的耐高温性能，提升半导体激光器制造的效率和良率；能够使电极电阻仍能保持在较低的量级，提升半导体激光器的性能；有效降低电极厚度，降低应力，进而降低由于电极厚度增加产生的碎裂风险，提高产品质量。
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公开(公告)号：CN109473528A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811652913.6
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
摘要： 本发明提供一种具有共背面电极的面光源VCSEL及其制备方法，其中，面光源包括：发光芯片、半导体外延层、半导体衬底层、外延面电极、衬底电极、第一背电极以及第二背电极；半导体外延层位于半导体衬底层的正面，发光芯片位于半导体外延层上，发光芯片包括自上而下依次层叠设置的：上DBR层、有源层以及下DBR层，第一背电极和第二背电极位于半导体衬底层的背面，外延面电极一端与上DBR层的上表面相连接，另一端与第一背电极相连接，衬底电极位于半导体外延层上，并与第二背电极相连接。本发明的面光源中，正负电极都设置在背面，同时在正面没有金属跳线，如此有利于面光源空间上的垂直集成。
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公开(公告)号：CN109473528B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201811652913.6
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
摘要： 本发明提供一种具有共背面电极的面光源VCSEL及其制备方法，其中，面光源包括：发光芯片、半导体外延层、半导体衬底层、外延面电极、衬底电极、第一背电极以及第二背电极；半导体外延层位于半导体衬底层的正面，发光芯片位于半导体外延层上，发光芯片包括自上而下依次层叠设置的：上DBR层、有源层以及下DBR层，第一背电极和第二背电极位于半导体衬底层的背面，外延面电极一端与上DBR层的上表面相连接，另一端与第一背电极相连接，衬底电极位于半导体外延层上，并与第二背电极相连接。本发明的面光源中，正负电极都设置在背面，同时在正面没有金属跳线，如此有利于面光源空间上的垂直集成。
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公开(公告)号：CN209544385U
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201822268789.5
申请日：2018-12-29
申请人： 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
摘要： 本实用新型提供一种具有共背面电极的面光源VCSEL，其包括：发光芯片、半导体外延层、半导体衬底层、外延面电极、衬底电极、第一背电极以及第二背电极；半导体外延层位于半导体衬底层的正面，发光芯片位于半导体外延层上，发光芯片包括自上而下依次层叠设置的：上DBR层、有源层以及下DBR层，第一背电极和第二背电极位于半导体衬底层的背面，外延面电极一端与上DBR层的上表面相连接，另一端与第一背电极相连接，衬底电极位于半导体外延层上，并与第二背电极相连接。本实用新型的面光源中，正负电极都设置在背面，同时在正面没有金属跳线，如此有利于面光源空间上的垂直集成。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212412427U
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202021330117.3
申请日：2020-07-08
摘要： 本实用新型公开了一种高功率半导体激光器，包括：壳体以及设置在壳体内的水冷板、多个激光模块、合束器、激光输出模块，激光模块、合束器、激光输出模块依次连接并设置在水冷板上，水冷板对应设置激光模块、合束器、激光输出模块的表面设置有散热翅片。本实用新型实施例通过将多个激光模块、合束器、激光输出模块设置在水冷板上，通过水冷板实现激光模块、合束器、激光输出模块等发热元器件的散热，从而不会导致由于管路密封不严，发热元器件散热不充足，激光二极管在不太适合的温度下进行工作的问题；并且在水冷板对应设置激光模块、合束器、激光输出模块的表面设置散热翅片，可以加强对激光模块、合束器、激光输出模块的散热效果。
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