太阳能电池片测试装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106098581A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610578309.8

    申请日:2016-07-21

    IPC分类号: H01L21/66

    CPC分类号: H01L22/14

    摘要: 本发明公开了太阳能电池片测试装置,涉及太阳能电池技术领域,导体条和导体条弹性压紧机构,所述导体条固定于导体条弹性压紧机构的底部,导体条连接导线。本发明采用导体条代替传统的探针,面接触方式使导体条与电池片电极接触完全,减小了对电池片的压强,降低了电池片隐裂或碎片的风险,提高了测试的准确性;本发明使用寿命长,维护时只需要更换带有导体条的弹性介质或弹簧,操作简便,效率高,成本低。

    一种太阳能电池硼扩散装置

    公开(公告)号:CN106129177B

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201610563642.1

    申请日:2016-07-18

    IPC分类号: H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明公开了一种太阳能电池硼扩散装置,属于太阳能电池制作技术领域。本发明包括以下步骤:将需要进行硼扩散的硅片放入扩散炉内,升温;通入硼源、二氯乙烯、氧气和氮气进行硼扩散;停止通硼源、氧气和二氯乙烯,在氮气氛围下保持温度在900℃‑960℃,持续时间15min‑40min,氮气流量为10‑20L/min;降温,取出硅片,完成扩散过程。本发明是在BBr3液态源高温扩散过程中引入二氯乙烯,能够提高硼扩散的片内均匀性及片间均匀性,减缓B2O3对炉内石英器件的腐蚀,延长石英器件的使用寿命,避免硅片在高温过程中受到金属污染。

    一种太阳能电池硼扩散方法及硼扩散装置

    公开(公告)号:CN106129177A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610563642.1

    申请日:2016-07-18

    IPC分类号: H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521 H01L31/1804

    摘要: 本发明公开了一种太阳能电池硼扩散方法及硼扩散装置,属于太阳能电池制作技术领域。本发明包括以下步骤:将需要进行硼扩散的硅片放入扩散炉内,升温;通入硼源、二氯乙烯、氧气和氮气进行硼扩散;停止通硼源、氧气和二氯乙烯,在氮气氛围下保持温度在900℃‑960℃,持续时间15min‑40min,氮气流量为10‑20L/min;降温,取出硅片,完成扩散过程。本发明是在BBr3液态源高温扩散过程中引入二氯乙烯,能够提高硼扩散的片内均匀性及片间均匀性,减缓B2O3对炉内石英器件的腐蚀,延长石英器件的使用寿命,避免硅片在高温过程中受到金属污染。

    一种晶硅太阳能电池的钝化方法及应用

    公开(公告)号:CN112736162A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202110125812.9

    申请日:2021-01-29

    IPC分类号: H01L31/18 H01L31/068

    摘要: 本申请公开了一种晶硅太阳能电池的钝化方法及应用,属于太阳能电池技术领域。所述晶硅太阳能电池的钝化方法,在氧化铝钝化薄膜工序与氮化硅薄膜工序之间,还包括以下步骤:向设备内通入氨气;当通入氨气达到第一预设时长,开启射频放电,对晶硅太阳能电池的氧化铝钝化薄膜进行处理;当射频放电达到第二预设时长,关闭射频放电,停止通入氨气。所述晶硅太阳能电池的钝化方法主要应用于N型隧穿氧化层钝化接触单晶硅电池和P型双面钝化发射极背面接触单晶硅电池。本发明的晶硅太阳能电池的钝化方法,通过在氧化铝薄膜工序和氮化硅薄膜工序之间增加了氨气和射频放电工艺,提高了太阳能电池的钝化效果,从而进一步提升太阳能电池的转化效率。