利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

8 条记录 (耗时 0.029 秒)

    平衡式MEMS类型惯性角传感器及用于使此类传感器平衡的方法
    1.
    发明公开
    平衡式MEMS类型惯性角传感器及用于使此类传感器平衡的方法 有权

    公开(公告)号：CN103998894A

    公开(公告)日：2014-08-20

    申请号：CN201280059912.5

    申请日：2012-12-03

    申请人： 萨甘安全防护公司

    发明人： A·金洛伊

    IPC分类号： G01C19/574

    CPC分类号： G01C19/574 ,  B81B3/0021 ,  B81B7/02 ,  B81C99/0025 ,  B81C99/003 ,  B81C99/0045

    摘要： MEMS类型的惯性角传感器，包括：至少两个质块(2)的支承件(1)，这些质块被安装成能相对于支承件移动；至少一个静电致动器(3)；以及至少一个静电检测器(4)。这些质块(2)被悬挂在框架(6)中，该框架(6)本身通过悬挂装置连接到支承件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测这些质块的振动。用于使此类传感器平衡的方法，该传感器提供有至少一个负载检测器以及至少一个静电弹簧(8)，至少一个负载检测器被安装在框架和支承件之间，并且至少一个静电弹簧被放置在框架和质块之一之间并根据负载传感器的测量信号被役使以便确保该传感器的动态平衡。

    平衡式MEMS类型惯性角传感器及用于使此类传感器平衡的方法
    2.
    发明授权
    平衡式MEMS类型惯性角传感器及用于使此类传感器平衡的方法 有权

    公开(公告)号：CN103998894B

    公开(公告)日：2017-12-05

    申请号：CN201280059912.5

    申请日：2012-12-03

    申请人： 萨甘安全防护公司

    发明人： A·金洛伊

    IPC分类号： G01C19/574

    CPC分类号： G01C19/574 ,  B81B3/0021 ,  B81B7/02 ,  B81C99/0025 ,  B81C99/003 ,  B81C99/0045

    摘要： MEMS类型的惯性角传感器，包括：至少两个质块(2)的支承件(1)，这些质块被安装成能相对于支承件移动；至少一个静电致动器(3)；以及至少一个静电检测器(4)。这些质块(2)被悬挂在框架(6)中，该框架(6)本身通过悬挂装置连接到支承件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测这些质块的振动。用于使此类传感器平衡的方法，该传感器提供有至少一个负载检测器以及至少一个静电弹簧(8)，至少一个负载检测器被安装在框架和支承件之间，并且至少一个静电弹簧被放置在框架和质块之一之间并根据负载传感器的测量信号被役使以便确保该传感器的动态平衡。

    包括移动质量块的传感器以及用于检测所述质量块的相对移动的装置
    3.
    发明授权
    包括移动质量块的传感器以及用于检测所述质量块的相对移动的装置 有权

    公开(公告)号：CN105917192B

    公开(公告)日：2019-04-02

    申请号：CN201480073568.4

    申请日：2014-11-20

    申请人： 萨甘安全防护公司

    发明人： A·金洛伊 ,  P·恩夫罗伊

    IPC分类号： G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  G01P15/097

    摘要： 本发明涉及一种MEMS惯性传感器，包括：通过弹性装置被连接到其以便在悬挂平面中可移动的至少第一激振体和第二激振体的框架、将激振体保持振动并确定激振体在悬挂平面内的移动的换能器以及通过导电体装置被连接到换能器的控制单元。换能器包括刚性连接到第一激振体的至少一个电极和连接到第二激振体的至少一个电极，这两个电极被如此安置以允许激振体相对于彼此在悬挂平面中的相对移动的直接测量。