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公开(公告)号：CN114323395B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202111595510.4
申请日：2021-12-23
Abstract: 一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法，芯片由SOI器件层和玻璃器件层键合组成；SOI器件层包括顶层硅结构、埋氧层结构和衬底层硅结构；顶层硅结构包括第一中心质量块，第一中心质量块通过蟹腿型梁和顶层边框连接，顶层边框和中心质量块之间设有梳齿电容；埋氧层结构包括释放区和非释放区；衬底层硅结构包括第二中心质量块，第二中心质量块通过T型梁和衬底层边框连接，第二中心质量块中部设有安装腔体，外部的载荷传递立柱安装于安装腔体当中，将力/力矩传递到第二中心质量块；本发明实现六轴力的解耦检测，易于电路集成；以SOI晶圆和玻璃圆片为基础，结合光刻、浅刻蚀等工艺实现芯片的制备，工艺简单，易于批量制造。
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公开(公告)号：CN114323395A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111595510.4
申请日：2021-12-23
Abstract: 一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法，芯片由SOI器件层和玻璃器件层键合组成；SOI器件层包括顶层硅结构、埋氧层结构和衬底层硅结构；顶层硅结构包括第一中心质量块，第一中心质量块通过蟹腿型梁和顶层边框连接，顶层边框和中心质量块之间设有梳齿电容；埋氧层结构包括释放区和非释放区；衬底层硅结构包括第二中心质量块，第二中心质量块通过T型梁和衬底层边框连接，第二中心质量块中部设有安装腔体，外部的载荷传递立柱安装于安装腔体当中，将力/力矩传递到第二中心质量块；本发明实现六轴力的解耦检测，易于电路集成；以SOI晶圆和玻璃圆片为基础，结合光刻、浅刻蚀等工艺实现芯片的制备，工艺简单，易于批量制造。
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公开(公告)号：CN116387679A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310319820.6
申请日：2023-03-29
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01M10/613 , H01M10/6569 , H01M10/6551 , H01M10/6563
Abstract: 本发明公开了一种便携式动力电池包散热装置。本发明中的电池包外壳内均匀等距排布有动力电池，动力电池间均匀等距排布有蒸发管，电池与蒸发管之间的间隙部分填充满（固‑液）相变材料，蒸发管内填充有适量（液‑气）相变材料，电池包外壳上布置有冷凝板，冷凝板的外壁面上布置有密密麻麻的散热鳍片，散热鳍片外部布置有透明罩板，罩板的上端和左右两侧各布置有百叶窗。本发明中的“V”型冷凝面有助于中间区域最先液化放热，两侧次之，且可以对液化后的液相进行二次分配，使得更多液化后的液相相变工质进入中间部分的蒸发管，从而进入下一个循环，倒“V”型回流壁面有助于加速液相相变工质再次进入蒸发管。
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公开(公告)号：CN111933004B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202010836417.7
申请日：2020-08-19
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G09B23/22
Abstract: 本发明公开了一种分立式分光计及其实验调节方法，它包括导轨、载物平台、平行光凸透镜、成像透镜和观察屏。载物平台一侧的导轨上设有平行光凸透镜，平行光凸透镜的前焦面上设有狭缝，平行光透镜和狭缝用于产生平行光。载物平台另一侧的导轨上设有成像凸透镜，成像透镜后焦面处设有观察屏，观察屏中心设有一通光小孔，通光孔上方和下方各刻有一个十字叉丝，以便于分光计的调节。成像透镜与观察屏用于平行光会聚，成清晰像。本发明采用观察屏成像，使实验结果清晰成像在观察屏中心，扩大了观察的视场，利于观察结果，减轻了用眼疲劳。分立式分光计利用导轨和可移动滑块代替了原有分光计的镜筒，利于更换原件。
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公开(公告)号：CN116379422A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310319756.1
申请日：2023-03-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多孔介质燃烧耦合热电子发电燃烧器。本发明中的空气预热通道布置在热电子发电结构的外壁上，空气经过预热通道后和燃料分别通入预混室，经过预混进入所述多孔介质燃烧器中进行点火燃烧，在多孔介质中形成稳定燃气燃烧火焰，燃烧热量以耦合多孔介质表面辐射传热和高温烟气对流的传热方式传递出去。在燃烧器的壁面上设置热电子发电结构，外接电路和负载用于燃烧余热的利用。本发明通过设置空气预热通道，降低阳极绝对温度，以防阳极工作温度较高，抑制热电的有效转换，提高热电子发电效率。同时用于预热空气，大幅度提高燃烧效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111933004A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010836417.7
申请日：2020-08-19
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G09B23/22
Abstract: 本发明公开了一种分立式分光计及其实验调节方法，它包括导轨、载物平台、平行光凸透镜、成像透镜和观察屏。载物平台一侧的导轨上设有平行光凸透镜，平行光凸透镜的前焦面上设有狭缝，平行光透镜和狭缝用于产生平行光。载物平台另一侧的导轨上设有成像凸透镜，成像透镜后焦面处设有观察屏，观察屏中心设有一通光小孔，通光孔上方和下方各刻有一个十字叉丝，以便于分光计的调节。成像透镜与观察屏用于平行光会聚，成清晰像。本发明采用观察屏成像，使实验结果清晰成像在观察屏中心，扩大了观察的视场，利于观察结果，减轻了用眼疲劳。分立式分光计利用导轨和可移动滑块代替了原有分光计的镜筒，利于更换原件。
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公开(公告)号：CN114499270B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202111434166.0
申请日：2021-11-29
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明公开一种可批量化加工的振动能量收集摩擦纳米发电机结构，包括PCB底板以及设置在PCB底板上的若干发电单元，每个发电单元中，下框架设置于PCB底板上，底电极层设置于PCB底板上并位于下框架内侧；介电层设置于底电极层上并填充于下框架内；可动金属层的固定部和可动部连接，固定部的下侧面与下框架的上侧面连接，上框架的下侧面与固定部的上侧面连接，质量块设置于可动部上且位于上框架内，上盖板封装于上框架的上侧面；电源管理PCB设置于PCB底板上并位于下框架的外侧，底电极层和可动金属层均具有引出电极，底电极层和可动金属层的引出电极与电源管理PCB连接。本发明将大力推进振动能量收集摩擦纳米发电机器件的标准化、工业化和实用化。
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公开(公告)号：CN119361335A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411532823.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于三维微纳制造及储能技术领域，公开了一种三维自卷曲微型超级电容器及其可控制备方法，方法包括：制备双层薄膜衬底，双层薄膜衬底包括顶层具有负热膨胀系数的导电功能层和底层具有正热膨胀系数的磁性薄膜衬底，磁性薄膜衬底中均匀分布高剩磁材料和磁热材料；在导电功能层表面制备出图案化的叉指电极；在导电功能层表面，在叉指电极的一侧制备正极、另一侧制备负极，得到复合型平面微型超级电容器；将复合型平面微型超级电容器于磁场中进行弯曲变形，得到自卷曲结构；向自卷曲结构中加入液晶态电解质，得到三维自卷曲微型超级电容器。本发明通过进一步缩小器件的投影面积，提高器件的空间利用率，进而提升器件单位面积内的能量密度。
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公开(公告)号：CN119246335A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411543368.2
申请日：2024-10-31
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N11/16
Abstract: 本发明属于MEMS传感器技术领域，公开了一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片及其工作方法，硅基固支体上连接有第一、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构，第一阶、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构均包括矩形且同轴设置的支撑板和宽板悬臂，支撑板的两端分别与硅基固支体和宽板悬臂连接，支撑板的宽度小于宽板悬臂的宽度；宽板悬臂表面布置有金属层线圈；支撑板上对称设有压电电极对，每个电极连接有金属引线；两支撑板之间连接有刚度衔接梁，两支撑板的大小相同，第一宽板悬臂的长度和宽度分别小于、等于第二宽板悬臂的长度和宽度。本发明提升了黏度传感器浸于黏性流体中的振动特性，从而提升其黏度测量精度与稳定性。
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公开(公告)号：CN119023500A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411145838.X
申请日：2024-08-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N9/00
Abstract: 本发明属于MEMS传感器领域，具体涉及一种刚性耦合微悬臂梁MEMS密度传感器芯片及其工作方法，芯片包括固支体，固支体上连接有若干微悬臂梁阵列悬空结构，微悬臂梁阵列悬空结构包括一端与固支体连接的压电悬臂梁和悬臂板，压电悬臂梁包括固支板和敏感梁对，固支板上设有驱动电极，敏感梁对的两个敏感梁上设有拾振电极，敏感梁与固支板之间、相邻的敏感梁之间连接有刚性耦合梁；若干微悬臂梁阵列悬空结构包含第一微悬臂梁阵列悬空结构和至少两个第二微悬臂梁阵列悬空结构，其中，第一微悬臂梁阵列悬空结构的悬臂板的长度小于第二微悬臂梁阵列悬空结构的悬臂板的长度。该密度传感器芯片能够显著提升流体测量精度与灵敏度等测量性能。
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