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公开(公告)号：CN109763100B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201910075602.6
申请日：2019-01-25
申请人： 西安交通大学苏州研究院
摘要： 本发明公开了一种薄膜压力传感器中的敏感薄膜，该敏感薄膜的材料为(NimCr1‑m)1‑x‑yTaxNy；其中，m为0.1～0.9，x为0.05～0.4，y为0.05～0.4。本发明还公开了一种薄膜压力传感器，其包括传感器芯体，该传感器芯体包括：基底；设置在基底上的绝缘层；设置在绝缘层上的图形化敏感膜层；设置在图形化敏感膜层上的四个电极；以及覆盖图形化敏感膜层未被四个电极遮挡的部分的保护层；其中所述图形化敏感膜层即为上述敏感薄膜。本发明还公开了上述敏感薄膜的制作方法。本发明的敏感薄膜较现有技术中的一般用于薄膜压力传感器中的薄膜具有更低的电阻温度系数、更高的热稳定性、以及更高的电阻率和方块电阻。
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公开(公告)号：CN107093707A
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201710161633.4
申请日：2017-03-17
申请人： 西安交通大学苏州研究院
IPC分类号： H01M4/36 , H01M4/38 , H01M4/62 , H01M10/0525
CPC分类号： H01M4/366 , H01M4/386 , H01M4/628 , H01M10/0525
摘要： 本发明涉及一种复合电极材料的制备方法：将硅颗粒、可溶性盐和水溶性聚合物在水中混合均匀，得到混合溶液，然后使用喷雾干燥机对混合溶液进行喷雾干燥，喷雾干燥机的进口温度为120‑160℃，出口温度为70‑90℃；将上述产物在保护气氛下进行碳化，碳化温度为250‑700℃，然后用水浸泡，除去可溶性盐，得到复合电极材料。本发明还要求保护采用上述方法所制备的复合电极材料，其为碳层包覆的硅颗粒，所述复合电极材料的粒径为1‑10μm。本发明进一步要求保护所制备的复合电极材料在制备锂离子电池或电化学膨胀材料中的应用，电化学膨胀材料为氧化硅或硅合金。本发明以可溶性盐作为牺牲层，采用简单、高效的方法制备出复合电极材料，其形貌可调，且具有良好的循环稳定性。
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公开(公告)号：CN109763100A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910075602.6
申请日：2019-01-25
申请人： 西安交通大学苏州研究院
摘要： 本发明公开了一种薄膜压力传感器中的敏感薄膜，该敏感薄膜的材料为(NimCr1-m)1-x-yTaxNy；其中，m为0.1～0.9，x为0.05～0.4，y为0.05～0.4。本发明还公开了一种薄膜压力传感器，其包括传感器芯体，该传感器芯体包括：基底；设置在基底上的绝缘层；设置在绝缘层上的图形化敏感膜层；设置在图形化敏感膜层上的四个电极；以及覆盖图形化敏感膜层未被四个电极遮挡的部分的保护层；其中所述图形化敏感膜层即为上述敏感薄膜。本发明还公开了上述敏感薄膜的制作方法。本发明的敏感薄膜较现有技术中的一般用于薄膜压力传感器中的薄膜具有更低的电阻温度系数、更高的热稳定性、以及更高的电阻率和方块电阻。
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公开(公告)号：CN116105901A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202111331088.1
申请日：2021-11-11
申请人： 西安交通大学苏州研究院
摘要： 本发明提供了一种薄膜压力传感器及其制备方法，所述薄膜压力传感器的压力敏感层包括叠层设置的第一敏感薄膜层和第二敏感薄膜层；其中，所述第一敏感薄膜层的材料为NixCr1‑x，0＜x≤0.5；所述第二敏感薄膜层的材料为NiyCr1‑y，0.65≤y＜1。其中，所述第一敏感薄膜层和所述第二敏感薄膜层是采用磁控溅射工艺制备形成。本发明的技术方案，压力敏感层为叠层设置的富铬的第一敏感薄膜层和贫铬的第二敏感薄膜层的组合，由此可以改善基于镍铬合金材料作为压力敏感层的薄膜压力传感器的性能，特别是可以有效地降低传感器的电阻温度系数，并且其制备工艺的一致性及稳定性得到提升，非常有利于大规模的工业化生产。
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公开(公告)号：CN107134565A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710160786.7
申请日：2017-03-17
申请人： 西安交通大学苏州研究院
IPC分类号： H01M4/36 , H01M4/38 , H01M4/62 , H01M10/0525
CPC分类号： H01M4/366 , H01M4/386 , H01M4/625 , H01M4/628 , H01M10/0525
摘要： 本发明涉及一种复合电极材料的制备方法：将碳纳米管、硅颗粒和水溶性有机物在水中混合均匀，然后使用喷雾干燥机对进行喷雾干燥；将干燥后的产物在保护气氛下在700‑1000℃进行碳化，与硫粉混匀后，在150‑300℃真空加热；将上述产物置于碳前驱体溶液中，得到碳前驱体包覆的硅‑碳纳米管复合材料，然后将其在保护气氛下加热至700‑1000℃，得到复合电极材料。本发明的方法还提供了一种复合电极材料，复合电极材料的外层为碳层，内层为硅颗粒和碳纳米管，复合电极材料的粒径为1‑20μm。本发明还提供了上述复合电极材料在制备锂离子电池中的应用。本发明以硫作为牺牲层，采用简单、高效的方法制备出复合电极材料，其形貌可调，且具有良好的循环稳定性。
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公开(公告)号：CN113899493A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111290432.7
申请日：2021-11-02
申请人： 西安交通大学苏州研究院
摘要： 本申请涉及一种应用于超低温环境的压力传感器，属于压力检测装置的封装技术领域，包括：基座；检测组件，至少部分检测组件与基座对接安装，以对目标物进行检测；壳体组件，与基座连接，且套设在检测组件的外侧；其中，壳体组件包括隔温件及设置在隔温件外侧的金属外壳，隔温件用以将金属外壳的温度延缓传递至检测组件。通过上述方式，可在低温环境下减缓低温对于检测组件的冲击，从而提升压力传感器的低温可靠性和使用寿命；隔温件的材料具有极低的热导率从而明显增加压力传感器处于低温时温度自外界环境传递至隔温件内部的时间，同时使得隔温件在超低温环境中，仍然能够保持较好的机械性能。
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公开(公告)号：CN108519366A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810316837.5
申请日：2018-04-10
申请人： 西安交通大学苏州研究院
IPC分类号： G01N21/65
摘要： 本发明涉及一种利用基于石墨烯的复合衬底检测肽的方法，基于石墨烯的复合衬底包括基底、位于基底表面的金属纳米阵列结构以及位于金属纳米阵列结构表面的石墨烯，包括以下步骤：将肽的背景溶液与金属纳米阵列结构表面的石墨烯接触，然后挥发掉背景溶液中的水；对上述处理过的复合衬底进行拉曼光谱检测，根据拉曼光谱谱图对所述肽进行定性或半定量检测。本发明方法快速简捷、成本低、特异性和灵敏度高，无需结合标记物。
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