公开(公告)号：CN1625921A

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN03802961.8

申请日：2003-01-29

申请人： 贝克特股份有限公司

发明人： 威莫尔特·德保斯掣尔 ,  朱尔金·德弩尔 ,  盖伊·国彬 ,  巴特·普尔松 ,  卓奇姆·多赫尔

IPC分类号： H05B3/00 ,  H05B7/00 ,  H01L21/00 ,  C23C16/48

CPC分类号： H01J37/026 ,  C23C14/541 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67115 ,  H05B3/0038 ,  H05B7/00

摘要： 一种在存在等离子体情形时的真空环境中进行加热的方法，包括以下步骤：a)在真空室(10)中设置红外辐射装置(16)；b)对红外辐射装置(16)提供第一电导体(18)；c)从红外辐射装置(16)引出第二电导体(20)；d)在所述红外辐射装置(16)上施加电压；e)防止第一导体(18)和第二导体(20)具有高于+55伏的电压。其优点在于避免电弧放电。