公开(公告)号：CN104718610B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201380051516.2

申请日：2013-10-03

申请人： 应用材料公司

发明人： 赛拉朱·泰拉瓦尔尤拉 ,  凯文·约瑟夫·鲍蒂斯塔 ,  杰弗里·托宾

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/324

CPC分类号： B23Q3/18 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/6875 ,  H05B3/0038 ,  H05B3/0047

摘要： 本文提供用于半导体基板处理腔室的基板支撑件的边缘环的实施方式。在一些实施方式中，用于半导体处理腔室的边缘环可包括：具有中央开口、内缘、外缘、上表面和下表面的环形主体；设置于内缘附近且从上表面向下延伸的内唇；和从内唇向上延伸且沿环形主体的内缘设置的多个突出部，其中多个突出部被布置成在内唇上方和中央开口之上支撑基板，其中内唇被配置成当在多个突出部上设置基板时实质上防止光辐射在设置于边缘环上方的第一容积与设置于边缘环下方的第二容积之间行进。

公开(公告)号：CN105793196B

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：CN201480061488.7

申请日：2014-11-03

申请人： 化学制造布敦海姆两合公司

发明人： R·维森博斯基 ,  E·索尔 ,  R·施内 ,  M·费驰穆勒 ,  R·沃格特 ,  D·屈梅特

IPC分类号： C01G3/00 ,  C01B25/37 ,  C08J5/18 ,  C08K3/32

CPC分类号： C01B25/37 ,  C01B25/375 ,  C01G3/006 ,  C01P2002/52 ,  C01P2002/82 ,  C01P2002/84 ,  C01P2006/60 ,  C08K3/32 ,  C08K2003/328 ,  C09K5/14 ,  H05B1/0247 ,  H05B3/0038

摘要： 本发明涉及混合金属磷酸盐化合物，所述化合物含有以二价氧化态存在比例至少为70原子％的作为主要金属的铜，以及一种或多种掺杂金属，所述掺杂金属的总比例从至少0.01原子％至最多30.0原子％，其中所述掺杂金属选自下组：元素周期表第一和第二主族元素和第八副族元素、Al、Sn、Si、Bi、Cr、Mo、Mn、镧系元素和锕系元素，其中所述金属比例与混合金属磷酸盐化合物中金属的总量有关，并且所述混合金属化合物具有的磷酸盐含量以P2O5表示，含量为10‑60重量％。本发明还涉及所述混合金属磷酸盐化合物的制备方法及其用途。

公开(公告)号：CN107210186A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201580075607.9

申请日：2015-12-23

申请人： 贺利氏诺莱特有限公司

发明人： S·格罗布 ,  M·克兰茨基 ,  T·皮耶拉 ,  S·利诺 ,  T·迈耶

IPC分类号： H01K1/18 ,  H01K1/40 ,  H05B3/00 ,  H05B3/44

CPC分类号： H05B3/0038 ,  H01K1/18 ,  H01K1/20 ,  H01K1/40 ,  H01K7/00 ,  H05B3/44

摘要： 本发明涉及一种用于将红外辐射注入到真空处理室中的辐照装置，其具有单端红外发射体(1)，所述单端红外发射体(1)包括呈圆玻璃管形式的发射体壳体管(2)，所述单端红外发射体(1)的一个封闭端突出到所述真空处理室中，且所述单端红外发射体(1)具有真空馈通体(3)以用于固持所述发射体壳体管并以气密方式引导所述发射体壳体管穿过所述真空处理室中的开口，其中所述发射体壳体管中布置有呈加热细丝(6)的形式的加热导体及呈电流回路的形式的回路导体(7)，其中所述加热导体在所述发射体壳体管的环绕所述真空馈通体的部分中具有从所述发射体壳体管引出的连接元件(12)。为尤其确保甚至在高加热输出的情况下且在无额外组件或冷却情况下的长IR发射体的安全操作，根据本发明提出将所述加热导体的所述连接元件(12)引导穿过一个管(11)且所述回路导体在所述发射体壳体管(2)的环绕所述真空馈通体(3)的所述部分中具有用于补偿热膨胀的装置(例如弹簧元件(14)或滑动轴承(15))。

公开(公告)号：CN104995991A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201480008037.7

申请日：2014-03-04

申请人： 应用材料公司

发明人： 约瑟夫·M·拉内什

IPC分类号： H05B3/00 ,  C23C14/26

CPC分类号： H01K1/16 ,  H01K1/40 ,  H01K1/66 ,  H01L21/67115 ,  H05B3/0038 ,  H05B3/0047

摘要： 本发明的实施例一般涉及简化的、高电压钨卤素灯具，用于使用作为快速热处理(RTP)腔室或其它灯具加热热处理腔室中的热辐射源。实施例包括灯具设计，灯具设计包括外部的保险丝，同时减少现有技术灯具的费用与部件数量。另外，本文所述的灯具的实施例提供足够的刚性来处理将灯具插入加热组件基部的压缩力，同时维持简化的保险丝设计。

公开(公告)号：CN103476170B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201310385462.5

申请日：2013-08-29

申请人： 合肥京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 井杨坤

IPC分类号： H05B37/02 ,  F21V19/04

CPC分类号： F21V19/04 ,  H05B3/0038 ,  H05B41/02

摘要： 本发明涉及显示器制备技术领域，公开了一种自动换灯装置和紫外固化设备，其中，自动换灯装置包括：采集光强度信息的采集单元；与采集单元信号连接的处理单元，当处理单元接收到的光强度信息中有小于设定值的点时，处理单元产生控制信号；与处理单元信号连接的控制单元，控制单元根据接收到的控制信号控制搬送装置工作，搬送装置在控制单元的控制下，实现旧灯箱的移除和新灯箱的更换。本发明提供的自动换灯装置，可以检测紫外灯的光照强度，减少紫外灯浪费和紫外灯光照强度不足的现象的发生，同时可以控制搬送装置换灯，减少过多的人为操作。所以，本发明提供的自动换灯装置，可以提高紫外固化设备的自动化控制精度。

公开(公告)号：CN102257598A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN200980151902.2

申请日：2009-11-13

申请人： 赫罗伊斯诺布尔莱特股份有限公司

发明人： S·利诺

IPC分类号： H01K1/24 ,  H01K1/44 ,  H01L21/00 ,  H05B3/48 ,  H05B3/00

CPC分类号： H01L21/67115 ,  H01K1/24 ,  H01K1/58 ,  H05B3/0038 ,  H05B3/44 ,  H05B3/48

摘要： 本发明涉及一种红外辐射器，其包括至少一个辐射管(11)，它在其各端部上具有挤压部位，其中至少一个不透明的管段(12)与至少一个辐射管对齐地焊接在一起。本发明还涉及红外辐射器的应用，用来安装在工艺室(21)中。

公开(公告)号：CN101937910A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201010205257.2

申请日：2010-06-13

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 石田进 ,  秦昌平

IPC分类号： H01L25/13 ,  H01L33/64 ,  H01L21/50 ,  G03F7/20

CPC分类号： H01L33/64 ,  G03F7/7005 ,  G03F7/70858 ,  H01L25/13 ,  H01L33/641 ,  H01L2224/48091 ,  H05B3/0038 ,  H05K1/0204 ,  H05K1/0206 ,  H05K3/0061 ,  H05K2201/0209 ,  H05K2201/09063 ,  H05K2201/10106 ,  H05K2201/10977 ,  H01L2924/00014

摘要： 本发明提供一种LED光源、其制造方法、使用LED光源的曝光装置及曝光方法，能够通过简单的结构，抑制多个发光元件安装基板之间的温度偏差，同时能够提高发光原家安装基板的散热特性。在LED光源中具备：将发光二极管(LED)芯片连接到形成于陶瓷基体上的电极而构成的LED元件体；安装有多个LED元件体的LED元件安装基板；以及对LED元件安装基板中产生的热进行散热的散热元件，在该LED光源中，使热传导树脂介于LED元件安装基板和散热元件之间，该热传导树脂的一部分经设置于LED元件安装基板的贯通孔而鼓出到LED元件安装基板的安装有LED元件体的面这一侧，从而与多个LED元件体接合。

公开(公告)号：CN101031801A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200580033092.2

申请日：2005-09-28

申请人： 爱科来株式会社

发明人： 松本大辅

IPC分类号： G01N35/02 ,  G01N37/00

CPC分类号： B01L7/00 ,  B01L3/5027 ,  B01L2300/0803 ,  B01L2300/0864 ,  B01L2300/1827 ,  B01L2400/0406 ,  G01N2035/00356 ,  H05B3/0038 ,  H05B3/28 ,  H05B2203/013 ,  H05B2203/017

摘要： 本发明涉及薄膜加热器(2)，其具备：薄膜发热电阻体；和用于向薄膜发热电阻体施加电压，并与薄膜发热电阻体导通连接的第一和第二薄膜电极(22、24)。在该薄膜加热器(2)上，薄膜发热电阻体的至少一部分具有透光性。优选将第一薄膜电极(22)、薄膜发热电阻体和第二薄膜电极(24)按照该顺序在膜厚方向上叠层。本发明还提供具备薄膜加热器(2)的分析用具(X)。

公开(公告)号：CN101023297A

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：CN200580031202.1

申请日：2005-09-12

申请人： 皇家飞利浦电子股份有限公司

发明人： S·蒙蒂西

IPC分类号： F21V17/06 ,  F21V7/22 ,  H05B3/00

CPC分类号： H05B3/0057 ,  H05B3/0038 ,  H05B3/0066 ,  H05B2203/032

摘要： 本发明涉及一种灯组件，所述灯组件包括灯(10)，灯(10)具有带有纵轴线(CC)的灯容器(101)。灯组件包括支撑构件(11)，支撑构件(11)包括基本上沿着纵轴线延伸的底面(111)。反射构件(12)在底面和灯容器之间、由支撑构件支撑并且具有表面，该表面包括熔点高于600℃的材料。

公开(公告)号：CN107690203A

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201710703942.X

申请日：2017-08-16

申请人： 嘉兴市思尔德薄膜开关有限公司

发明人： 董国庆

IPC分类号： H05B3/00 ,  H05B3/02

CPC分类号： H05B3/0038 ,  H05B3/02

摘要： 本发明公开了一种高效UV固化灯箱，旨在解决传统的UV固化灯箱固化效率低的问题，其技术方案要点是一种高效UV固化灯箱，包括箱体，所述箱体内开设有空腔，所述箱体一侧开设有开口并且开口一侧转动连接有用于控制开口开闭的箱门，所述箱体底面通过设置滑动机构滑动设置有用于放置固化物的托板，所述托板与箱门之间设置有用于防止箱门过度打开的联动机构，所述箱体内设置有促进内部空气循环的循环机构。本发明的一种高效UV固化灯箱，可以提高固化物的固化效率。