一种高均质NiCrPt合金溅射靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN114293157B

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202111501941.X

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: C23C14/34 C22C19/05

    摘要: 本发明公开了一种高均质NiCrPt合金溅射靶材的制备方法,所述溅射靶材之基材原料由纯度≥99.99wt%的Ni、Cr、Pt金属组成,其中Cr10~30at%,Pt1~4.5at%,余量为Ni,外加总质量比0.01~0.08%的除氧剂;基材表面保护镀膜厚度≤5μm;所述溅射靶材致密度≥99.5%,且无肉眼可见的缺陷,氧含量≤30ppm,靶材晶粒均匀,其平均粒径为20~100μm;所述溅射靶材之表层机加工处理的去除深度≤0.5mm。其制备方法由基材铸锭与清洗处理、基材镀膜、坯材轧制、再结晶处理和机加工处理工艺实现。本发明基于“控氧+优先保护”原理,降低基材氧含量,基材表面优先溅射易氧化金属保护镀层,抑制“夹生”脆性氧化物,提高了靶材优材率,降低了表层去除深度,减少靶材浪费,节约成本。

    一种制备化学气相沉积态铼EBSD样品的方法

    公开(公告)号:CN112985956A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110175782.2

    申请日:2021-02-06

    IPC分类号: G01N1/32

    摘要: 本发明提供了一种制备化学气相沉积态铼EBSD样品的方法,从化学气相沉积铼样品上用电火花线切割的方法切得一块长方体,运用导电镶嵌料进行热镶嵌,将镶嵌好的样品用砂纸由粗磨到细磨光,将细磨后的样品用水溶性金刚石抛光膏抛光,抛光膏的稀释液用无水乙醇;再将机械抛光后的样品进行电解腐蚀;最后用清水将样品表面充分洗净,再用洗耳球将其吹干。本发明的有益效果是:采用本发明的机械抛光加腐蚀的方法制备EBSD样品,操作简单、方便、设备费用低廉;电解腐蚀所用的草酸酸性较弱,安全性系数较高;制备的EBSD样品能够很好的去除样品表面机械应力,不给表面带来污染及组织改变,获得高质量的EBSD测试样品。

    一种金属钌的高标定率EBSD制样方法

    公开(公告)号:CN113418946A

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN202110868750.0

    申请日:2021-07-30

    IPC分类号: G01N23/203 G01N23/20008

    摘要: 本发明涉及一种金属钌的高标定率EBSD制样方法,属于EBSD样品制备技术领域。本发明将真空烧结的金属钌切割成金属钌样品;对金属钌样品的待EBSD分析表面或截面进行机械抛光,再采用乙醇对机械抛光面进行清洗;真空条件下,对金属钌样品的机械抛光面进行能量递减的氩离子抛光处理,取出样品即得金属钌的高标定率EBSD样品。本发明方法可以解决金属钌耐蚀性极强不易电解抛光腐蚀的问题,又能有效地去除样品表面因机械抛光所产生的表面应力层,以及消除高能量离子轰击样品表面产生的非晶层,有利于EBSD测试时获得更强的花样和较高的衍射花样标定率,以便对金属钌进行微观组织与织构的研究;金属钌样品,标定率可达99%以上。

    一种金属钌的高标定率EBSD制样方法

    公开(公告)号:CN113418946B

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202110868750.0

    申请日:2021-07-30

    IPC分类号: G01N23/203 G01N23/20008

    摘要: 本发明涉及一种金属钌的高标定率EBSD制样方法,属于EBSD样品制备技术领域。本发明将真空烧结的金属钌切割成金属钌样品;对金属钌样品的待EBSD分析表面或截面进行机械抛光,再采用乙醇对机械抛光面进行清洗;真空条件下,对金属钌样品的机械抛光面进行能量递减的氩离子抛光处理,取出样品即得金属钌的高标定率EBSD样品。本发明方法可以解决金属钌耐蚀性极强不易电解抛光腐蚀的问题,又能有效地去除样品表面因机械抛光所产生的表面应力层,以及消除高能量离子轰击样品表面产生的非晶层,有利于EBSD测试时获得更强的花样和较高的衍射花样标定率,以便对金属钌进行微观组织与织构的研究;金属钌样品,标定率可达99%以上。

    一种由易氧化金属镀膜保护制备的高均质NiCrPt合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN114293157A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111501941.X

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: C23C14/34 C22C19/05

    摘要: 本发明公开了一种由易氧化金属镀膜保护制备的高均质NiCrPt合金溅射靶材及其制备方法,所述溅射靶材之基材原料由纯度≥99.99wt%的Ni、Cr、Pt金属组成,其中Cr10~30at%,Pt1~4.5at%,余量为Ni,外加总质量比0.01~0.08%的除氧剂;基材表面保护镀膜厚度≤5μm;所述溅射靶材致密度≥99.5%,且无肉眼可见的缺陷,氧含量≤30ppm,靶材晶粒均匀,其平均粒径为20~100μm;所述溅射靶材之表层机加工处理的去除深度≤0.5mm。其制备方法由基材铸锭与清洗处理、基材镀膜、坯材轧制、再结晶处理和机加工处理工艺实现。本发明基于“控氧+优先保护”原理,降低基材氧含量,基材表面优先溅射易氧化金属保护镀层,抑制“夹生”脆性氧化物,提高了靶材优材率,降低了表层去除深度,减少靶材浪费,节约成本。