光图像测量装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101322025B

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN200680045701.0

    申请日:2006-11-07

    IPC分类号: G01N21/17 G01B11/24 A61B10/00

    摘要: 本发明提供一种能够实现测量时间的缩短的光图像测量装置。从氙气灯2输出闪光,并利用光学滤光器2A转换成宽频带光。利用偏光板3将闪光转换成直线偏光,并利用半透明反射镜6而分割成信号光S与参照光R。利用波长板7将该参照光R转换成圆偏光,并利用半透明反射镜6来将信号光S与参照光R重叠以生成相干光L。CCD23对特性与相干光L相同的相干光进行检测。相干光L通过偏光分束器11而分成S偏光成分L1与P偏光成分L2后,分别由CCD21及CCD22来检测。计算机30根据来自CCD21、CCD22、CCD23的检测信号,而形成被测定物体0的图像。根据这样的光图像测量装置1,可以同时获取相干光L的两个偏光成分L1和L2,因此可以实现测量时间的缩短。