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公开(公告)号：CN105517965B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201480050733.4
申请日：2014-09-11
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
发明人： S.奥赫斯
IPC分类号： C03B37/014
CPC分类号： C03B19/06 , C03B25/02 , C03B37/01413 , C03B37/01446 , C03B2201/075 , C03B2201/40 , C03C3/06 , C03C2203/00
摘要： 本发明涉及由Fe掺杂的石英玻璃制造用作热防护玻璃的坯件的方法。在该方法中，朝倾向于Fe2+的方向影响Fe2+/Fe3+比。此外，可以省略其它掺杂剂。根据本发明，该方法包括下列步骤：(a) 通过含硅和含铁起始物质的火焰水解制造铁掺杂的SiO2烟灰体，(b) 干燥所述烟灰体以获得小于10重量ppm的平均羟基含量，(c) 在适用于将铁至少部分从第一氧化态Fe3+还原成较低的第二氧化态Fe2+的具有还原作用的气氛中，将含有第一氧化态Fe3+的铁的烟灰体玻璃化，以形成由铁掺杂的具有高的硅酸含量的玻璃制成的坯件。获得具有0.1至1重量%的铁含量的坯件，其在红外波长范围内展现最大40%的内透射率和在可见光谱范围内展现至少85%的内透射率。
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公开(公告)号：CN105431388B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201480045062.2
申请日：2014-07-22
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/00 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2204/00 , G03F1/52 , G03F1/60
摘要： 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti‑掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti‑掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2‑SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti‑掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率
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公开(公告)号：CN105431388A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201480045062.2
申请日：2014-07-22
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/00 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2204/00 , G03F1/52 , G03F1/60
摘要： 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti-掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti-掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2-SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti-掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率
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公开(公告)号：CN105439441B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
摘要： 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN105278006B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510360232.2
申请日：2015-06-26
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
摘要： 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大，其特征在于，dCTE最大为至少0.5ppb/K，并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域，其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定，使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号：CN105517965A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480050733.4
申请日：2014-09-11
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
发明人： S.奥赫斯
IPC分类号： C03B37/014
CPC分类号： C03B19/06 , C03B25/02 , C03B37/01413 , C03B37/01446 , C03B2201/075 , C03B2201/40 , C03C3/06 , C03C2203/00
摘要： 本发明涉及由Fe掺杂的石英玻璃制造用作热防护玻璃的坯件的方法。在该方法中，朝倾向于Fe2+的方向影响Fe2+/Fe3+比。此外，可以省略其它掺杂剂。根据本发明，该方法包括下列步骤：(a) 通过含硅和含铁起始物质的火焰水解制造铁掺杂的SiO2烟灰体，(b)干燥所述烟灰体以获得小于10重量ppm的平均羟基含量，(c)在适用于将铁至少部分从第一氧化态Fe3+还原成较低的第二氧化态Fe2+的具有还原作用的气氛中，将含有第一氧化态Fe3+的铁的烟灰体玻璃化，以形成由铁掺杂的具有高的硅酸含量的玻璃制成的坯件。获得具有0.1至1重量%的铁含量的坯件，其在红外波长范围内展现最大40%的内透射率和在可见光谱范围内展现至少85%的内透射率。
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公开(公告)号：CN102099304B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200980128236.0
申请日：2009-07-16
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
摘要： 在一种公知的用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法中，制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃。基于此提出一种方法，借此可在石英玻璃中实现氮掺杂，其中化学键合的氮的含量尽可能高。根据本发明，该目的的实现方式为，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm-3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。
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公开(公告)号：CN105439441A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
摘要： 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm-700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt. ppm-100wt. ppm的平均OH含量和2,500wt. ppm-10,000wt. ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN105278006A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510360232.2
申请日：2015-06-26
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
摘要： 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大，其特征在于，dCTE最大为至少0.5ppb/K，并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域，其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定，使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号：CN102099304A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200980128236.0
申请日：2009-07-16
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
摘要： 在一种公知的用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法中，制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃。基于此提出一种方法，借此可在石英玻璃中实现氮掺杂，其中化学键合的氮的含量尽可能高。根据本发明，该目的的实现方式为，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm-3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。
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