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公开(公告)号：CN105431388A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201480045062.2
申请日：2014-07-22
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/00 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2204/00 , G03F1/52 , G03F1/60
摘要： 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti-掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti-掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2-SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti-掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率
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公开(公告)号：CN103917831A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201280055858.7
申请日：2012-09-13
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： F24S10/40 , C03B19/09 , C03B19/095 , C03B29/02 , C03B2201/02 , C03B2201/04 , C03C3/06 , C03C4/08 , F24S20/20 , F24S80/52 , F24S2080/503 , Y02E10/41
摘要： 常见的太阳辐射接收器配备了用于传输工作气体的腔室，所述工作气体为了吸收热量而被沿着用于太阳辐射的吸收器来传送。所述吸收器设有拱顶状的、由石英玻璃构成的入射窗，对于所述入射窗来说，朝向所述吸收器的内侧面在按照规范使用时具有至少950℃、优选至少1000℃的、标称的内部温度Ti，而背向所述吸收器的外侧面则暴露在环境下，并且经受析晶的危险。本发明涉及如此改动熟知的太阳辐射接收器，从而更确切地说在没有扩大在所述入射窗的、外侧面的区域中的、析晶的危险的情况下能够设定较高的吸收器温度，并且由此能够实现太阳热的加热的、较高的效率。
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公开(公告)号：CN105439441B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
摘要： 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN105278006B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510360232.2
申请日：2015-06-26
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
摘要： 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大，其特征在于，dCTE最大为至少0.5ppb/K，并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域，其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定，使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号：CN105683102A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480061478.3
申请日：2014-11-06
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B19/1461 , C03B19/066 , C03B19/106 , C03B19/1095 , C03B19/14 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , C03C2204/00 , G03F1/24
摘要： 本发明涉及由具有高硅酸含量及预定氟含量的钛掺杂玻璃制造用于EUV光刻法的坯料的方法，其中热膨胀系数在使用温度下尽可能稳定地保持为零。Ti-掺杂石英玻璃的热膨胀系数分布取决于多个影响因素。除绝对钛含量外，钛的分布以及其它掺杂元素，如氟的含量和分布非常重要。根据本发明提出一种方法，其包括产生氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子并通过固结和玻璃化进一步加工成坯料的合成过程，其特征在于所述合成过程包括借助含硅和钛的起始物质的火焰水解形成TiO2-SiO2烟灰粒子的方法步骤和使所述TiO2-SiO2烟灰粒子在移动粉末床中暴露在含氟试剂中并转化成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰粒子的后续方法步骤。
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公开(公告)号：CN104995557B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201480008162.8
申请日：2014-02-04
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
摘要： 为了提供用于EUV‑光刻中的镜面基材的由TiO2‑SiO2玻璃构成的坯料，其中对于优化热膨胀系数分布和因此过零温度TZC分布的调适需求是小的，在920℃至970℃的假想温度Tf平均值下，所述TiO2‑SiO2玻璃具有其过零温度TZC对于假想温度Tf的依赖性，其以微商dTzc/dTf表示小于0.3。
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公开(公告)号：CN105378464B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201480039150.1
申请日：2014-07-02
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
发明人： K.贝克
IPC分类号： G01N21/958 , B24B13/00 , G01N21/896
CPC分类号： B24B49/12 , B24B7/241 , B24B13/0018 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/8861 , G01N2021/8967 , G01N2201/06113
摘要： 提出一种用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料的方法，其带有以下步骤:·a)平面磨削坯料的表面·b)测定关于在坯料的表面层中的缺陷的数据，其中，b1)光在所述坯料的平的表面的部位处以预先确定的小于90°的射入角α射入所述坯料中，b2)所述光在坯料中的缺陷处散射且b3)散射光相对在所述坯料的表面处的射入部位间隔x地由在其上垂直布置的光检测元件探测；·c)根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中的缺陷的位置·d)在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质‑坯料的情况下部分地或完全地移除表面层。
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公开(公告)号：CN105378464A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480039150.1
申请日：2014-07-02
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
发明人： K.贝克
IPC分类号： G01N21/958 , B24B13/00 , G01N21/896
CPC分类号： B24B49/12 , B24B7/241 , B24B13/0018 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/8861 , G01N2021/8967 , G01N2201/06113
摘要： 提出一种用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外-平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质-坯料的方法，其带有以下步骤:·a)平面磨削坯料的表面·b)测定关于在坯料的表面层中的缺陷的数据，其中，b1)光在所述坯料的平的表面的部位处以预先确定的小于90°的射入角α射入所述坯料中，b2)所述光在坯料中的缺陷处散射且b3)散射光相对在所述坯料的表面处的射入部位间隔x地由在其上垂直布置的光检测元件探测；·c)根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中的缺陷的位置·d)在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质-坯料的情况下部分地或完全地移除表面层。
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公开(公告)号：CN105431388B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201480045062.2
申请日：2014-07-22
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/00 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2204/00 , G03F1/52 , G03F1/60
摘要： 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti‑掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti‑掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2‑SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti‑掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率
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