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公开(公告)号:CN105278006B
公开(公告)日:2017-09-29
申请号:CN201510360232.2
申请日:2015-06-26
申请人: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号: C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
摘要: 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件,其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA,在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线,其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大,其特征在于,dCTE最大为至少0.5ppb/K,并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域,其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定,使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号:CN101268022A
公开(公告)日:2008-09-17
申请号:CN200680034060.9
申请日:2006-08-28
申请人: 阿尔卡特朗讯公司
IPC分类号: C03B37/018 , C03B37/014 , C03B37/016 , C03C13/04 , C03B37/027 , H01S3/067 , G02B6/02
CPC分类号: C03B37/02754 , B82Y20/00 , C03B2201/06 , C03B2201/34 , C03B2205/12 , C03C13/04 , C03C14/006 , C03C2214/16 , G02B6/0229 , G02B6/02366 , G02B6/02371 , H01S3/06729 , H01S3/06737 , H01S3/06741 , H01S3/169 , Y10T428/25
摘要: 本发明涉及一种制造光纤(18)的方法,包括以下步骤:形成预制件(10),其包含负载活性元素的纳米颗粒,所述预制件在所述纳米颗粒的至少一部分的附近包括至少一个槽;通过将非氧化气体引入槽(14),从而限制所述预制件中的纳米颗粒(10)氧化的可能,而从预制件(10)拉出纤维。一种用于通过本发明方法制造光纤(18)的预制件(10),包括在掺杂区域(12)中包含的负载有活性元素的纳米颗粒和临近掺杂区域(12)的至少一个槽(14)。
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公开(公告)号:CN1311762A
公开(公告)日:2001-09-05
申请号:CN99809377.7
申请日:1999-07-22
申请人: 康宁股份有限公司
IPC分类号: C03B20/00
CPC分类号: C03B19/1423 , C03B37/0142 , C03B2201/06 , C03B2201/28 , C03B2201/30 , C03B2201/34 , C03B2201/40 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2207/06 , C03B2207/08 , C03B2207/12 , C03B2207/14 , C03B2207/20 , C03B2207/22 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/42 , C03B2207/46 , Y02P40/57
摘要: 本发明涉及一种用于制造玻璃(具体地说是光波导件)的灰粉形成方法和设备。一液态玻璃前体(66)首先被送给至位于一喷雾燃烧器组件中的一喷射器(44)的液体孔插入件(48)的孔(52),随后从喷射器排入一压力腔(56)。一喷雾气体(70)也被送给至压力腔(56)而与液态前体的分裂成液滴的液流(68)相混合。液态前体和喷雾气体在压力作用下被迫从燃烧器组件的燃烧器表面(30)上的喷雾孔(32)排出。燃烧气体(74)、反应气体(84)和保护气体(82)从燃烧器孔(40、38、36和34)喷出而产生火焰。这样喷出的雾化的液态前体被送入产生于燃烧器表面的火焰(72),在那里,雾化的液态前体与火焰反应而生成积聚于一转动心轴(80)的灰粉(78)。
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公开(公告)号:CN105278006A
公开(公告)日:2016-01-27
申请号:CN201510360232.2
申请日:2015-06-26
申请人: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号: C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
摘要: 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件,其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA,在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线,其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大,其特征在于,dCTE最大为至少0.5ppb/K,并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域,其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定,使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号:CN104411645A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201380033440.0
申请日:2013-06-25
申请人: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号: C09K11/7706 , C01B33/18 , C03B19/066 , C03B2201/06 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C1/006 , C03C3/06 , C03C3/061 , C03C4/12 , C03C2201/06 , C03C2201/3488 , C03C2201/36 , C09K11/025 , C03B19/12 , C03B2201/03
摘要: 本发明涉及制备掺杂SiO2-浆料的方法,该方法通过使SiO2-悬浮体和至少一种掺杂溶液相互作用,其中所述SiO2-悬浮体或/和所述掺杂溶液以喷雾的形式相互作用,其中喷雾的平均液滴直径是10μm至100μm。此外,本发明涉及借助所述喷雾方法掺杂的SiO2-浆料用于制造掺杂的石英玻璃,特别地用于制造激光活性的石英玻璃的用途。
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公开(公告)号:CN101687682A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200880023359.3
申请日:2008-04-22
申请人: 康宁股份有限公司
IPC分类号: C03B19/14
CPC分类号: C03B19/1492 , C03B19/1453 , C03B2201/02 , C03B2201/06 , C03B2207/52
摘要: 制备玻璃烟炱板和烧结玻璃板的设备和方法。可在转筒的弯曲沉积表面(103)上沉积玻璃烟炱颗粒。然后,从沉积表面上剥离烟炱板。将烟炱板烧结成固结玻璃。烟炱板和烧结玻璃可具有足够的长度和挠性,以便卷成卷材(117)。
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公开(公告)号:CN1429181A
公开(公告)日:2003-07-09
申请号:CN01809295.0
申请日:2001-03-09
申请人: 流体聚焦公司
发明人: A·M·加南-卡尔沃 , D·L·德沃雷
IPC分类号: C03B37/01 , C03B37/025 , C03B37/083
CPC分类号: C03B37/027 , C03B37/023 , C03B2201/06 , C03B2203/42 , Y02P40/57
摘要: 一种预制坯(1)插入到一个炉(3)内。高压热流体使得纤维的端部(2)变形并流出一个喷嘴(5)。排出的玻璃为一纤维(6)的形式。
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公开(公告)号:CN102367196A
公开(公告)日:2012-03-07
申请号:CN201110186454.9
申请日:2011-06-21
申请人: 株式会社藤仓
发明人: 北村隆之
IPC分类号: C03B37/018
CPC分类号: C03B37/01413 , C03B37/01807 , C03B37/01815 , C03B2201/06 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2207/80 , C03B2207/90
摘要: 本发明提供了一种玻璃基料的制造装置及制造方法。玻璃基料的制造装置具备:挡管部,具有导入包含氧的干燥气体的第1端、与所述第1端相反的第2端、装载有利用第一热源而被加热的碱金属化合物或者碱土类金属化合物的贮存部、及冷却部;及玻璃管部,具有内壁,设置在所述挡管部的所述第2端,利用横动的第二热源加热从所述挡管部流入的所述碱金属化合物或者所述碱土类金属化合物的微粒,使所述微粒的氧化物在所述内壁堆积,并且扩散到内部。在所述挡管部的所述冷却部中,在所述贮存部与所述第2端之间,通过所述第一热源的加热而产生的所述碱金属化合物或者所述碱土类金属化合物的蒸气,被所述挡管部中流通的所述干燥气体冷却而凝结,生成所述微粒。
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公开(公告)号:CN1284738C
公开(公告)日:2006-11-15
申请号:CN01821170.4
申请日:2001-11-16
申请人: 康宁股份有限公司
IPC分类号: C03B37/018 , C03B37/07
CPC分类号: C03B37/01446 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/04 , C03B2201/06 , C03B2201/12 , C03C3/06 , Y02P40/57
摘要: 将二氧化硅石英烟炱预制棒(12)置入炉子(30)中,然后进行加热,使用CO气体进行处理,从而将影响终产品质量的杂质还原。
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公开(公告)号:CN1165492C
公开(公告)日:2004-09-08
申请号:CN99811758.7
申请日:1999-10-05
申请人: 利基有限公司
IPC分类号: C03B37/018
CPC分类号: C03B37/0142 , C03B19/106 , C03B19/1423 , C03B2201/06 , C03B2201/31 , C03B2201/36 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/34 , C03B2207/46 , C23C4/12 , C23C4/123 , C23C4/129 , C23C16/453 , C23D5/04
摘要: 本发明涉及喷射物料的方法和装置,其中至少有两种不同的组分被引入到由燃料气体产生的火焰(9)内,使该两组分互相化学反应从而制出均匀的多组分的玻璃颗粒。使用火焰(9)可将多组分的玻璃颗粒喷射到所需的目标上。第一组分作为气体或蒸气被引入到火焰上,而第二组分以液体形态被引入到火焰上,并被基本上在火焰附近的气体雾化。第一和第二组分用与输送燃料气体相同的装置被输送到火焰(9)内。液体组分和气体组分所制成的颗粒的大小属于纳米的数量级。
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