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公开(公告)号：CN101426744A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780013293.5
申请日：2007-09-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C4/20 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2203/10 , C03C2203/54
Abstract: 本发明始于用于半导体制造的已知石英玻璃元件，该元件至少在近表面区具有第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂，所述第二掺杂剂含一种或多种浓度各为0.1～3wt％的稀土金属(以SiO2和掺杂剂的总质量为基准计算)。由此开始，为了提供用于在腐蚀作用环境中半导体制造的以高纯度和高耐干腐蚀著称并避免了由用氧化铝共掺杂所造成的已知缺点的石英玻璃元件，按照本发明建议：第一掺杂剂应是氮以及石英玻璃内亚稳定羟基的平均含量应小于30wtppm。
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公开(公告)号：CN101426744B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200780013293.5
申请日：2007-09-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C4/20 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2203/10 , C03C2203/54
Abstract: 本发明始于用于半导体制造的已知石英玻璃元件，该元件至少在近表面区具有第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂，所述第二掺杂剂含一种或多种浓度各为0.1～3wt％的稀土金属(以SiO2和掺杂剂的总质量为基准计算)。由此开始，为了提供用于在腐蚀作用环境中半导体制造的以高纯度和高耐干腐蚀著称并避免了由用氧化铝共掺杂所造成的已知缺点的石英玻璃元件，按照本发明建议：第一掺杂剂应是氮以及石英玻璃内亚稳定羟基的平均含量应小于30wtppm。
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公开(公告)号：CN104169218A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201380013380.6
申请日：2013-03-07
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C01B33/12 , C01B33/157 , C01B33/187
CPC classification number: C01B33/1417 , B05D5/005 , B05D2203/35 , B05D2601/22 , B82Y30/00 , C01B33/158 , C01P2004/64 , C03B19/066 , C03C3/076 , C03C8/02 , C03C17/25 , C03C2205/00 , C03C2217/213 , C03C2218/11 , C03C2218/30
Abstract: 本发明涉及使用二氧化硅淤浆生产糊状二氧化硅物料的方法，该方法可以简化中间存储条件和运输条件，而没有因此损害由淤浆生成糊状二氧化硅物料的可加工性。根据本发明提供了，使均质化二氧化硅基础淤浆经受干燥步骤以形成二氧化硅干燥物料，并随后通过再湿步骤进一步加工成糊状二氧化硅物料，其中所述再湿步骤包括向二氧化硅干燥物料加入液体，以形成具有大于85重量％的固体含量的糊状可捏合的二氧化硅物料。本发明还涉及糊状二氧化硅物料作为修补物料的用途。
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公开(公告)号：CN101568497B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200780047889.7
申请日：2007-12-13
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C17/25 , C03C2217/213 , C03C2217/24 , C03C2218/112 , G02B5/02 , H01J9/20 , H01J61/025 , H01J61/35 , H01K1/325 , H01K3/005 , Y10T428/26 , Y10T428/261 , Y10T428/265
Abstract: 本发明涉及一种用于制备具有反射层的石英玻璃构件的方法，其中在石英玻璃基体的至少部分表面上产生起漫反射体作用的石英玻璃反射层。为由此得出一种使得可在石英玻璃构件上以廉价和可再现性地制备均匀的SiO2反射层，本发明提出通过热喷雾制备反射层，其中将SiO2微粒加到能量载体中，通过能量载体初熔或熔化并淀积在基体上。在按本方法制得的石英玻璃构件中，该SiO2反射层是经热喷雾产生并配置成不透明的层，该层的特征是无裂纹和均匀性。
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公开(公告)号：CN101023041B
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN200580028216.8
申请日：2005-08-23
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Abstract: 在包括反射体层的先前已知组件中，至少部分由反射体层涂覆基底二氧化硅玻璃组件的表面。为产生基于该组件，特别用于产生灯和反射体，和具有有效，耐化学品和耐热的组件，和便宜的反射体层，提供由至少部分不透明二氧化硅玻璃组成和用作漫射反射体的SiO2涂层。生产这样组件的本发明方法的特征在于制备含有无定形SiO2微粒的浆料和将其施加到基底组件的表面以形成浆料层，因此将浆料层干燥和然后上釉以形成SiO2涂层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101061075A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200680001203.6
申请日：2006-03-30
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/09 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03C15/00 , C03C19/00 , C03C23/0025 , C03C23/006 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , C30B25/12 , C30B31/14 , C30B35/00 , Y02P40/57
Abstract: 用于蚀刻作用环境中的晶片夹具用理想石英玻璃的特征在于高纯度和高抗干蚀刻性。为给出一种完全符合这些要求的石英玻璃，本发明提出该石英玻璃应至少在其近表面区域掺杂氮，且亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm，以及其假定温度低于1250℃和在1200℃的温度下粘度为至少1013dPas。一种制造这种石英玻璃的经济性方法包括以下步骤：熔融SiO2原料以获得石英玻璃坯，其中使所述SiO2原料或石英玻璃坯经受脱水处理，在含氨气氛中将所述SiO2原料或石英玻璃坯加热至1050℃至1850℃范围的氮化温度，进行温度处理藉此将石英玻璃坯的石英玻璃设定到1250℃或更低的假定温度，对石英玻璃坯进行表面处理，形成石英玻璃夹具。
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公开(公告)号：CN104169218B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201380013380.6
申请日：2013-03-07
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C01B33/12 , C01B33/157 , C01B33/187
CPC classification number: C01B33/1417 , B05D5/005 , B05D2203/35 , B05D2601/22 , B82Y30/00 , C01B33/158 , C01P2004/64 , C03B19/066 , C03C3/076 , C03C8/02 , C03C17/25 , C03C2205/00 , C03C2217/213 , C03C2218/11 , C03C2218/30
Abstract: 本发明涉及使用二氧化硅淤浆生产糊状二氧化硅物料的方法，该方法可以简化中间存储条件和运输条件，而没有因此损害由淤浆生成糊状二氧化硅物料的可加工性。根据本发明提供了，使均质化二氧化硅基础淤浆经受干燥步骤以形成二氧化硅干燥物料，并随后通过再湿步骤进一步加工成糊状二氧化硅物料，其中所述再湿步骤包括向二氧化硅干燥物料加入液体，以形成具有大于85重量％的固体含量的糊状可捏合的二氧化硅物料。本发明还涉及糊状二氧化硅物料作为修补物料的用途。
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公开(公告)号：CN101883742B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN200880119005.9
申请日：2008-11-18
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C17/001 , B41M1/12 , B41M1/34 , B41M3/003 , C03C17/04 , C03C2218/11
Abstract: 用于在玻璃物体上产生凸起标记的已知方法中，将含SiO2颗粒的悬浮液以图案形式施加到玻璃物体表面上，并致密化该图案以形成标记。由此方法出发，为了能够在石英玻璃物体上成本有利地产生光学上有吸引力和一致的标记，该方法还适合在高温或对杂质敏感的环境中(例如在太阳能电池和半导体制造中)应用，根据本发明提出，为了在石英玻璃物体上产生标记，使用不含粘合剂的悬浮液，该悬浮液含有分散液体和粒度至多为500μm的非晶态SiO2颗粒，其中0.2重量％至15重量％是具有低于100nm的粒度的SiO2纳米颗粒，且固含量(由该SiO2颗粒和该SiO2纳米颗粒的重量份额一起构成)为60％至90％。
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公开(公告)号：CN101023040B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200580028210.0
申请日：2005-08-23
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Abstract: 本发明涉及制造由石英玻璃构成的涂覆部件的方法，根据所述方法部件表面至少部分地配备有与基体的石英玻璃不同的SiO2玻璃组合物。本发明的目标是提供一种用SiO2玻璃组合物以任意厚度涂覆石英玻璃组件的新方法，其可以以低成本可再现方式制造并根据本发明的具体实施方案可以实现各种功能。为此目的，制造含有SiO2微粒的无定形浆体并施加到基体表面，形成浆体层并干燥和玻璃化，形成SiO2玻璃组合物。以这种方式涂覆的石英玻璃组件特别是可以有利地用于制造半导体。
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公开(公告)号：CN101600663A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200780036216.1
申请日：2007-09-12
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C17/02 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C2218/11
Abstract: 一种已知用于制造石英玻璃的二氧化硅浆体，含有分散液体及粒度最大为500微米的非晶态二氧化硅颗粒，其中粒度范围为1微米至60微米的二氧化硅颗粒占最大体积含量，且此外粒度小于100纳米的二氧化硅纳米颗粒的含量为0.2重量％至15重量％的范围(基于总固体含量计)。为了据此制备一浆体，其流动特性尤其针对刮涂或浇注浆体物料的加工方面及针对不产生裂纹的干燥及烧结方面最优化，本发明建议，该二氧化硅颗粒具有多峰的粒度分布，粒度分布的第一最大值的范围为1微米至3微米且粒度分布的第二最大值的范围为5微米至50微米，且固体含量(二氧化硅颗粒及二氧化硅纳米颗粒的总重量含量)的范围为83％至90％。
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