公开(公告)号：CN106462084B

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201580033308.9

申请日：2015-05-01

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： J·G·威维伯格 ,  L·V·普兰德索恩 ,  B·范格尔德 ,  G·德博尔 ,  M·P·丹斯伯格

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： B25J11/00 ,  G03F7/7075 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70841 ,  G03F9/7096 ,  H01J37/16 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67775

摘要： 本发明涉及用于封闭目标处理机械的组件(1)。所述组件包括封闭件(2)和传送单元(3)。所述封闭件包括：基板(21)，所述目标处理机械布置在该基板上；侧壁面板(22)，其固定到所述基板；以及顶壁面板(23)，其固定到所述侧壁面板。此外，封闭件包括处于封闭件的侧壁中的进入开口(24)。传送单元包括用于使传送单元相对于基板运动的一个或多个传送元件(31)。传送单元还包括布置成用于关闭进入开口的门面板(32)，其中门面板借助于柔性联接件(33)可动地安装到所述传送单元，该柔性联接件允许门面板相对于传送单元至少沿着朝向和/或远离封闭件的方向运动。

公开(公告)号：CN106462084A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580033308.9

申请日：2015-05-01

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： J·G·威维伯格 ,  L·V·普兰德索恩 ,  B·范格尔德 ,  G·德博尔 ,  M·P·丹斯伯格

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： B25J11/00 ,  G03F7/7075 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70841 ,  G03F9/7096 ,  H01J37/16 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67775

摘要： 本发明涉及用于封闭目标处理机械的组件述封闭件包括：基板(21)，所述目标处理机械布置在该基板上；侧壁面板(22)，其固定到所述基板；以及顶壁面板(23)，其固定到所述侧壁面板。此外，封闭件包括处于封闭件的侧壁中的进入开口(24)。传送单元包括用于使传送单元相对于基板运动的一个或多个传送元件(31)。传送单元还包括布置成用于关闭进入开口的门面板(32)，其中门面板借助于柔性联接件(33)可动地安装到所述传送单元，该柔性联接件允许门面板相对于传送单元至少沿着朝向和/或远离封闭件的方向运动。(1)。所述组件包括封闭件(2)和传送单元(3)。所