公开(公告)号：CN115745574B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202211445828.9

申请日：2022-11-18

申请人： 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

发明人： 陈杰 ,  熊富迪 ,  孙本双 ,  齐超 ,  刘洋 ,  何季麟

IPC分类号： C23C14/34 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/64 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35

摘要： 本发明属于无机材料制备技术领域，涉及高致密无开裂细晶铟锡氧化物管状靶材的制备方法，包括如下步骤：以氧化铟、氧化锡为原料，加入纯水和分散剂，在球磨机中进行混合球磨后加入消泡剂，搅拌均匀，转入砂磨机中并加入粘结剂进行砂磨，得浆料；浆料用喷雾法制备造粒粉；将造粒粉填充入管状靶材模具中；采用冷等静压成型技术获得素坯；使用两步细晶烧结法对素坯进行烧结。本发明采用两步细晶烧结法得到的管状靶材致密度可以达到99.8%以上，晶粒尺寸小于5μm，有效解决了管状靶材高致密的同时晶粒不易控制的问题。

公开(公告)号：CN115745574A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211445828.9

申请日：2022-11-18

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  熊富迪 ,  孙本双 ,  齐超 ,  刘洋 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/64 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35

摘要： 本发明属于无机材料制备技术领域，涉及高致密无开裂细晶铟锡氧化物管状靶材的制备方法，包括如下步骤：以氧化铟、氧化锡为原料，加入纯水和分散剂，在球磨机中进行混合球磨后加入消泡剂，搅拌均匀，转入砂磨机中并加入粘结剂进行砂磨，得浆料；浆料用喷雾法制备造粒粉；将造粒粉填充入管状靶材模具中；采用冷等静压成型技术获得素坯；使用两步细晶烧结法对素坯进行烧结。本发明采用两步细晶烧结法得到的管状靶材致密度可以达到99.8%以上，晶粒尺寸小于5μm，有效解决了管状靶材高致密的同时晶粒不易控制的问题。

公开(公告)号：CN109665834B

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN201910156692.1

申请日：2019-03-01

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  舒永春 ,  曾学云 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/457 ,  C04B35/622

摘要： 本发明公开了一种相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法。制备方法包括：氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末按照设定的摩尔比例混合，得到混合粉末；混合粉末与设定量的分散剂、粘结剂、球磨介质混合，利用球磨装置，控制球磨参数，进行球磨混合，得到混合物料；混合物料在造粒机上进行喷雾造粒；喷雾造粒得到的产物模压成型，得到靶材素坯；靶材素坯进行烧结，得到相组成可控的IGZO靶材。通过对制备过程中工艺参数的有效控制，根据原料摩尔比获得了物相单一且物相可控的高品质IGZO靶材，靶材中不含有其它杂相成分，晶粒间及内部不存在二次相组织，晶粒间结合致密，靶材致密度高，具有较高的产业利用价值。

公开(公告)号：CN109369172A

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201811505302.9

申请日：2018-12-10

申请人： 郑州大学

发明人： 孙本双 ,  何季麟 ,  舒永春 ,  曾学云 ,  陈杰 ,  李庆奎 ,  杨淑敏 ,  刘洋 ,  梁鹏 ,  赵旭 ,  齐超 ,  张雨 ,  仇晨

IPC分类号： C04B35/453 ,  C04B35/622

摘要： 本发明公开了低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法，该方法包括，氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，真空除气，得到料浆；料浆在压力下注入成型模具，冷等静压强化，得到靶材素坯；靶材素坯在恒温恒湿环境中干燥，在空气气氛下程序升温至脱脂温度，保持设定的时间，在氧气气氛下程序升温至烧结温度，保持设定时间；停止通入氧气，程序降温至室温，得到氧化铟锡靶材。本方法的烧结温度低，烧结时间大大缩短，有效抑制了晶粒长大，保证了氧化铟锡靶材晶粒细小、分布均匀，平均晶粒度为4～6μm；相对密度大于99.6％；电阻率低至1.24×10-4Ω.cm，具有长时间溅射结瘤低、不中毒的优异性能。

公开(公告)号：CN112723875B

公开(公告)日：2023-01-20

申请号：CN202110146360.2

申请日：2021-02-03

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  淮志远 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/63

摘要： 本发明提供了一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法，其原料按照质量百分比，由氧化锡及氧化镓高纯纳米粉末组成，其组分比例为氧化镓2~10%，氧化锡90~98%。粉末称量混合后加入聚丙烯酸铵，聚乙烯醇及纯水，混合浆料经球磨后造粒干燥，得到混合粉末依次使用油压机、等静压机压制成型，之后使用脱脂‑多步烧结一体化烧结技术在不同烧结温度下制备了氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材。本发明掺杂的氧化镓有效提高了氧化锡陶瓷的烧结性能，显著提升了氧化锡陶瓷靶材的致密度，同时通过制备工艺的有效控制，获得了组织均匀且晶粒细小的氧化镓掺杂氧化锡靶材。

公开(公告)号：CN109665834A

公开(公告)日：2019-04-23

申请号：CN201910156692.1

申请日：2019-03-01

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  舒永春 ,  曾学云 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/457 ,  C04B35/622

摘要： 本发明公开了一种相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法。制备方法包括：氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末按照设定的摩尔比例混合，得到混合粉末；混合粉末与设定量的分散剂、粘结剂、球磨介质混合，利用球磨装置，控制球磨参数，进行球磨混合，得到混合物料；混合物料在造粒机上进行喷雾造粒；喷雾造粒得到的产物模压成型，得到靶材素坯；靶材素坯进行烧结，得到相组成可控的IGZO靶材。通过对制备过程中工艺参数的有效控制，根据原料摩尔比获得了物相单一且物相可控的高品质IGZO靶材，靶材中不含有其它杂相成分，晶粒间及内部不存在二次相组织，晶粒间结合致密，靶材致密度高，具有较高的产业利用价值。

公开(公告)号：CN115894010A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211502274.1

申请日：2022-11-28

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/453 ,  C04B35/622

摘要： 本发明属于金属氧化物靶材制备技术领域，具体涉及一种管状氧化铟镓锌（In2Ga2ZnO7）细晶高致密无开裂靶材的制备方法。该方法包括物料球磨、造粒、冷等静压制备管状靶材素坯、三阶段烧结。本发明使用了三阶段烧结工艺，通过对靶材粉末处理、坯体成型及烧结过程的调控，制备了高致密度、细晶粒，无开裂的氧化铟镓锌管状靶材。管状靶材在旋转阴极内溅射时，靶材利用率较平面靶材由原本的30～40%提升至70%以上，大大提升了溅射效率及靶材利用率，具有较高的产业利用价值。

公开(公告)号：CN112723875A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN202110146360.2

申请日：2021-02-03

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  淮志远 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/63

摘要： 本发明提供了一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法，其原料按照质量百分比，由氧化锡及氧化镓高纯纳米粉末组成，其组分比例为氧化镓2~10%，氧化锡90~98%。粉末称量混合后加入聚丙烯酸铵，聚乙烯醇及纯水，混合浆料经球磨后造粒干燥，得到混合粉末依次使用油压机、等静压机压制成型，之后使用脱脂‑多步烧结一体化烧结技术在不同烧结温度下制备了氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材。本发明掺杂的氧化镓有效提高了氧化锡陶瓷的烧结性能，显著提升了氧化锡陶瓷靶材的致密度，同时通过制备工艺的有效控制，获得了组织均匀且晶粒细小的氧化镓掺杂氧化锡靶材。