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公开(公告)号：CN108346610A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201710058405.4
申请日：2017-01-23
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本揭示提供一种伯努利末端执行器，用于传送一基板，包含：一本体，具有一气体传送通道、一进气孔和至少一第一出气孔，其中所述气体传送通道连通所述进气孔和所述至少一第一出气孔；以及一间隔盖板，覆盖在所述气体传送通道上，其中所述本体在所述气体传送通道内具有相对所述本体的表面不同深度的第一阶梯面和第二阶梯面。
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公开(公告)号：CN110349878A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201810283893.3
申请日：2018-04-02
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明披露一种薄型晶圆前端处理设备与应用其的薄型晶圆前端处理方法，薄型晶圆前端处理设备包含：真空腔体；传输装置，用以传送晶圆载体与晶圆；定位装置，用于将所述晶圆载体或所述晶圆进行定位；以及导电装置，设置于所述真空腔体内；其中所述传输装置在将所述晶圆载体或所述晶圆传输至所述真空腔体前，先将所述晶圆载体或所述晶圆传输至所述定位装置进行定位，且所述晶圆载体及所述晶圆于所述真空腔体中通过所述导电装置结合或分开。由此，通过本发明实施例的薄型晶圆前端处理设备，可使薄型晶圆与晶圆载体结合，结合的所述晶圆载体及所述晶圆的整体厚度增加，即便在后续工艺中以现有的设备进行传送，也不会造成所述晶圆破片或损伤。
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公开(公告)号：CN108022854A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201610970474.8
申请日：2016-11-03
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67023 , H01L21/67075
摘要： 本发明揭露一种单晶圆旋转蚀刻清洗机台的流体收集装置，用于收集蚀刻单晶圆的流体，包含：转盘，固定及旋转单晶圆；至少一个回收盘，固设于该转盘的外缘，用以收集该单晶圆旋转时甩出的该流体；至少一个盖盘，对应并盖设于该回收盘上，用以导引该流体流至该回收盘中；至少一个升降组，该升降组包括对称的两个升降单元，该升降组连设于该盖盘，用以相对于该转盘及该回收盘而上下作动该盖盘。
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公开(公告)号：CN109427611A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710749449.1
申请日：2017-08-28
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
摘要： 本发明公开一种自动化加工机台组，包含：多个加工机台；执行部件，包括支架及取用器，支架相邻加工机台，且取用器可移动地设置于支架上；视觉定位传感器，用以感测并定位至少一化学药品原料桶的开口的位置；至少一连接盖，借由取用器可拆卸地连接于至少一化学药品原料桶的开口；以及至少一连接管体，连接至少一连接盖与各加工机台中的供应槽。借此，本发明的自动化加工机台组与应用其的晶圆化学药品自动传输系统不需要借由人力，便可将已经使用完毕的化学药品原料桶与装满化学药品原料的化学药品原料桶进行替换，因而能有效节省人力。
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公开(公告)号：CN107946221A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201610889325.9
申请日：2016-10-12
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67259 , H01L21/67739 , H01L21/67778
摘要： 本发明涉及一种晶圆传送系统及其操作方法，该晶圆传送系统用于将至少一晶圆传送至一晶圆清洗装置之一承载座上并包括：一晶圆盒，用于该容纳该至少一晶圆；一夹具，用于将该至少一晶圆夹持至一定位站；一影像感测单元，用于撷取该至少一晶圆之一影像；以及一控制单元，根据该影像计算该至少一晶圆之一偏移量，并根据该偏移量控制该夹具将该至少一晶圆放置于该承载座上。该晶圆传送系统及其操作方法能增进该至少一晶圆的清洗效果。
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公开(公告)号：CN106960810A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201610015332.6
申请日：2016-01-11
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68742 , H01L21/68728
摘要： 本发明涉及一种晶圆承载装置，用于承载一晶圆，该晶圆承载装置包括一基座以及一承载盘。该承载盘固定于该基座上并包括一底盘、一出气盘、以及若干个限位单元。该底盘包括若干个连接部，各连接部包括若干个气孔。该出气盘设置于该底盘上且包括若干个多孔性薄膜。这些限位单元固定在该底盘之周围。本发明能解决现有技术中晶圆在清洗或蚀刻制程中容易破裂以及晶圆不需要清洗或蚀刻的表面受到破坏的问题。
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公开(公告)号：CN208045460U
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201820453376.1
申请日：2018-04-02
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本实用新型披露一种薄型晶圆前端处理设备，薄型晶圆前端处理设备包含：真空腔体；传输装置，用以传送晶圆载体与晶圆；定位装置，用于将所述晶圆载体或所述晶圆进行定位；以及导电装置，设置于所述真空腔体内；其中所述传输装置在将所述晶圆载体或所述晶圆传输至所述真空腔体前，先将所述晶圆载体或所述晶圆传输至所述定位装置进行定位，且所述晶圆载体及所述晶圆于所述真空腔体中通过所述导电装置结合或分开。由此，通过本实用新型实施例的薄型晶圆前端处理设备，可使薄型晶圆与晶圆载体结合，结合的所述晶圆载体及所述晶圆的整体厚度增加，即便在后续工艺中以现有的设备进行传送，也不会造成所述晶圆破片或损伤。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207338318U
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201721082607.4
申请日：2017-08-28
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
摘要： 本实用新型公开一种自动化加工机台组与应用其的晶圆化学药品自动传输系统，自动化加工机台组包含：多个加工机台；执行部件，包括支架及取用器，支架相邻加工机台，且取用器可移动地设置于支架上；视觉定位传感器，用以感测并定位至少一化学药品原料桶的开口的位置；至少一连接盖，借由取用器可拆卸地连接于至少一化学药品原料桶的开口；以及至少一连接管体，连接至少一连接盖与各加工机台中的供应槽。借此，本实用新型的自动化加工机台组与应用其的晶圆化学药品自动传输系统不需要借由人力，便可将已经使用完毕的化学药品原料桶与装满化学药品原料的化学药品原料桶进行替换，因而能有效节省人力。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206441715U
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201720099776.2
申请日：2017-01-23
申请人： 锡宬国际有限公司
发明人： 颜锡铭
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本揭示提供一种伯努利末端执行器，用于传送一基板，包含：一本体，具有一气体传送通道、一进气孔和至少一第一出气孔，其中所述气体传送通道连通所述进气孔和所述至少一第一出气孔；以及一间隔盖板，覆盖在所述气体传送通道上，其中所述本体在所述气体传送通道内具有相对所述本体的表面不同深度的第一阶梯面和第二阶梯面。
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