一种针对大口径深矢高的光学自由曲面检测方法及装置

    公开(公告)号:CN106767522B

    公开(公告)日:2023-05-19

    申请号:CN201710211579.X

    申请日:2017-04-01

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 一种大口径深矢高的自由曲面检测方法及装置,属于光学测量技术领域,为了解决现有技术对非对称大尺寸光学自由曲面的非接触无损检测方法存在的问题,该方法是通过设计时被测自由曲面的公式与STL模型结合,将被测自由曲面用一系列三角面片离散地近似构成三维区域曲面;然后根据曲率划分区域,再通过已知的被测自由曲面公式对各个区域进行计算,绘图得到八位灰度图,再对ZYGO干涉仪的光束进行编码,编码方式与绘制八位灰度方式相对应;通过对ZYGO干涉仪的光束编码后可使液晶空间光调制器对其相应的区域进行测量;本发明检测效率高、成本低、并且具有体积小、精度高、便于控制等优点;该方法将在大型的光学系统检测中具有广泛的应用前景。

    一种光学系统的经济公差分析方法、装置、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN114238864A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111572293.7

    申请日:2021-12-21

    IPC分类号: G06F17/18 G06T7/60 G06T7/62

    摘要: 本发明实施例提供的一种光学系统的经济公差分析方法、装置、设备和存储介质,首先确定待分析结构的参数公差,再基于参数公差运用泰勒公式确定畸变函数,以确定在参数公差变化时,畸变的变化情况;然后利用光学系统基于物方确定灵敏度系数,求解出泰勒公式展开中灵敏度系数,以根据灵敏度系数大小判定出对畸变影响大的参数;最后根据预设的加工参数信息确定参数公差各自对应的公差成本函数、灵敏度系数以及畸变函数确定最佳经济公差,以将上述步骤中确定出的畸变表达式和公差成本函数联立求解,求出参数公差的大小,使得公差值可以保证满足畸变要求的同时,又可使加工成本达到最低,达到权衡经济公差的目的。

    一种宽带宽角度抗反射复合微纳结构表面及其制备方法

    公开(公告)号:CN113740940A

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN202111052850.2

    申请日:2021-09-06

    摘要: 一种宽带宽角度复合微纳结构抗反射表面,属于光学技术和微纳加工技术领域,为了克服上述仿生蛾眼微纳结构表面技术中结构高度和深宽比对微纳加工工艺的制约,以及光学减反射薄膜技术中的减反射性能受到入射角度的限制,其为在光学材料基底表面形成单层薄膜,在薄膜层上形成一定深度的蛾眼微纳结构,并留出残余膜层,其由三层基本结构组成,依次包括:微纳结构层、中间残余层和基底层。所述微纳结构层由微纳结构单元阵列组成,微纳结构单元周期满足设计入射角度条件下的亚波长传输要求即:其中λmin表示最小入射波长,nsub表示基底折射率,n0表示空气折射率,θmax表示最大入射角度,p表示微纳结构单元周期。本发明在保证高透过率的同时对成像质量无影响。

    一种激光直写光刻系统
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110187610B

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN201910514619.7

    申请日:2019-06-14

    发明人: 付跃刚 吴锦双

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种激光直写光刻系统,具体涉及微纳光学结构图案的改进技术领域。该激光直写光刻系统包括同轴线依次设置的激光器、扩束准直器、谐振腔和图像传感器,谐振腔类似于万花筒式,谐振腔包括第一凹面镜、第二凹面镜、多边形孔、输出耦合器和三面反射镜体,第一凹面镜和第二凹面镜组成谐振腔的两端,在其共焦平面形成阵列图形,多边形孔位于第一凹面镜的正前方,三面反射镜体围成谐振腔的侧壁,输出耦合器位于第一凹面镜和第二凹面镜的自共轭平面。多边形孔可以为圆形、正多边形或不规则多边形,多边形孔为对称阵列结构的基本单元。

    一种激光直写光刻系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110187610A

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201910514619.7

    申请日:2019-06-14

    发明人: 付跃刚 吴锦双

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种激光直写光刻系统,具体涉及微纳光学结构图案的改进技术领域。该激光直写光刻系统包括同轴线依次设置的激光器、扩束准直器、谐振腔和图像传感器,谐振腔类似于万花筒式,谐振腔包括第一凹面镜、第二凹面镜、多边形孔、输出耦合器和三面反射镜体,第一凹面镜和第二凹面镜组成谐振腔的两端,在其共焦平面形成阵列图形,多边形孔位于第一凹面镜的正前方,三面反射镜体围成谐振腔的侧壁,输出耦合器位于第一凹面镜和第二凹面镜的自共轭平面。多边形孔可以为圆形、正多边形或不规则多边形,多边形孔为对称阵列结构的基本单元。

    DMD空间维编码对称Offner色散中波红外光谱成像装置

    公开(公告)号:CN108896179A

    公开(公告)日:2018-11-27

    申请号:CN201810698129.2

    申请日:2018-06-29

    IPC分类号: G01J3/28 G01J3/02

    摘要: DMD空间维编码对称Offner色散中波红外光谱成像装置属于红外光谱成像技术领域。现有技术不能满足全天候光谱成像需求;空间分辨率及光谱分辨率低;所采用的微透镜阵列工艺复杂、不易加工;所采用的平面光栅会产生光谱谱线弯曲和色畸变问题。本发明其特征在于,中波红外DMD的工作面位于中波红外消色差变焦物镜组的像面处,对称Offner色散系统的物面与中波红外消色差变焦物镜组的像面重合,在对称Offner色散系统的出射光路上设置制冷型中波红外探测器,且制冷型中波红外探测器的感光面位于对称Offner色散系统的像面处;在对称Offner色散系统中,球面反射镜和球面反射光栅曲率中心相同;制冷型中波红外探测器与图像采集卡连接,图像采集卡、计算机、中波红外DMD依次连接。

    DMD空间维编码对称Offner色散双色红外光谱成像装置

    公开(公告)号:CN108827469A

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201810700316.X

    申请日:2018-06-29

    IPC分类号: G01J3/28 G01J3/427 G01J3/02

    摘要: DMD空间维编码对称Offner色散双色红外光谱成像装置属于红外光谱成像技术领域。现有技术不能满足全天候光谱成像需求。本发明其特征在于,双色红外DMD的工作面位于双色红外消色差变焦物镜组的像面处,对称Offner色散系统的物面与双色红外消色差变焦物镜组的像面重合;在对称Offner色散系统中,球面反射镜和球面反射光栅曲率中心相同;在对称Offner色散系统的出射光路上与光路光轴呈45°角设置双色红外分光镜,在双色红外分光镜的两条分光光路上分别设置制冷型中波红外探测器、长波红外探测器,且制冷型中波红外探测器、长波红外探测器的感光面均位于对称Offner色散系统的像面处;所述两个探测器分别与图像采集卡连接,图像采集卡、计算机、双色红外DMD依次连接;所述双色红外是指3~5μm和8~14μm。

    一种海浪高度自适应的激光致声水下通信系统

    公开(公告)号:CN108521307A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810370202.3

    申请日:2018-04-24

    摘要: 一种海浪高度自适应的激光致声水下通信系统,激光致声水下通信领域,为了解决现有技术存在无法对海浪高度进行自适应调节,天气恶劣,搭载平台扰动大的情况下,光声转化效率低,水下通信质量差的问题,其包括激光器、扩束镜组、变焦光学系统、激光测距系统、控制器和电机,激光器出射的光束经过扩束镜组扩束,进入变焦光学系统,光束经过变焦光学系统后聚焦于水面下,激发产生声波进行通信,激发激光测距系统对海浪高度进行实时测量,将实时测量的海平面高度数据传入总控系统,经过数据处理传送电信号给电机,电机控制变焦光学系统进行相应调节,补偿海浪引起的海平面高度变化,以保持最佳水下激光聚焦位置,实现对水下通信系统击穿位置实时调节。

    基于同心球聚焦元件的多光谱成像光学系统

    公开(公告)号:CN106989820B

    公开(公告)日:2018-05-15

    申请号:CN201710196448.9

    申请日:2017-03-29

    IPC分类号: G01J3/02 G01J3/28

    摘要: 基于同心球聚焦元件的新型多光谱成像光学系统,属于多光谱成像技术领域,为了解决现有多光谱成像装置中所存在的问题,以满足现代多光谱成像对实时、快速、精确成像的使用需求,入射光线经过前置物镜将光线会聚成像到狭缝,再入射到准直透镜上,光线经准直透镜准直入射到分光光栅,分光光栅将光分成不同谱段的光,不同谱段的光通过同心球聚焦元件,将光谱采样转换成不同入射角的空间采样,然后光经中继成像镜组聚焦成像在CMOS探测器上,获得光谱信息;该系统的中继系统为同心球聚焦元件提供虚拟光阑,提高了同心球聚焦元件的光阑自由度,使不同角度的入射光具有相同的近轴特性,具有共光路多光轴特性,实现多光谱的凝视成像。