工件定位装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101357460B

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN200810144133.0

    申请日:2008-07-29

    IPC分类号: B25J15/00

    摘要: 本发明提供一种工件定位装置,其能够适用于形成不规则形状的孔和图案的加工装置,以及形成有不规则形状的孔和图案的工件的检查装置。对于工具和加工检查区域上的工件(W),照相机(61)拍摄并求出加工检查区域(R)中的、有关X轴位置X和Y轴位置Y及围绕垂直于X-Y面的轴的旋转角(θ)的信息(X,Y,θ)。工件的位置调整装置驱动控制把持部(1,8)的驱动部而调整工件(W)的位置,以使工具的(X,Y,θ)信息和所述工件的(X,Y,θ)信息一致。把持部的爪部件利用爪驱动部向基部摆动时,在该爪部件与基部之间以点的形式把持工件。

    工件保持定位装置及保持装置

    公开(公告)号:CN101314223B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200810108588.7

    申请日:2008-05-27

    摘要: 一种可小型化及低成本化的工件保持定位装置及保持装置,在工件的加工装置或检查装置中,用两个部位保持所述薄膜状工件,能够实现X方向及Y方向的定位以及旋转方向的定位。驱动部具有:向Y方向延伸的一对平行的Y导杆(5)、(12)、沿Y导杆可移动的Y台座(21)、(31)、Y驱动构件(6)、(13)、设置于Y台座上且向X方向延伸的X导杆(2)、(9)、沿X导杆且可移动的X台座(22)、(32)、X驱动构件(3)、(10)。保持部(1)、(8)具有:与工件的一个面接触且支承此的基部、设置于工件的另一面侧通过水平轴可摆动的爪构件、使该爪构件摆动的爪驱动部,爪构件在通过爪驱动部向基部摆动时,在与基板之间用点保持工件。

    工件定位装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101357460A

    公开(公告)日:2009-02-04

    申请号:CN200810144133.0

    申请日:2008-07-29

    IPC分类号: B25J15/00

    摘要: 本发明提供一种工件定位装置,其能够适用于形成不规则形状的孔和图案的加工装置,以及形成有不规则形状的孔和图案的工件的检查装置。对于工具和加工检查区域上的工件(W),照相机(61)拍摄并求出加工检查区域(R)中的、有关X轴位置X和Y轴位置Y及围绕垂直于X-Y面的轴的旋转角(θ)的信息(X,Y,θ)。工件的位置调整装置驱动控制把持部(1,8)的驱动部而调整工件(W)的位置,以使工具的(X,Y,θ)信息和所述工件的(X,Y,θ)信息一致。把持部的爪部件利用爪驱动部向基部摆动时,在该爪部件与基部之间以点的形式把持工件。

    工件保持定位装置及保持装置

    公开(公告)号:CN101314223A

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:CN200810108588.7

    申请日:2008-05-27

    摘要: 一种可小型化及低成本化的工件保持定位装置及保持装置,在工件的加工装置或检查装置中,用两个部位保持所述薄膜状工件,能够实现X方向及Y方向的定位以及旋转方向的定位。驱动部具有:向Y方向延伸的一对平行的Y导杆(5)、(12)、沿Y导杆可移动的Y台座(21)、(31)、Y驱动构件(6)、(13)、设置于Y台座上且向X方向延伸的X导杆(2)、(9)、沿X导杆且可移动的X台座(22)、(32)、X驱动构件(3)、(10)。保持部(1)、(8)具有:与工件的一个面接触且支承此的基部、设置于工件的另一面侧通过水平轴可摆动的爪构件、使该爪构件摆动的爪驱动部,爪构件在通过爪驱动部向基部摆动时,在与基板之间用点保持工件。