公开(公告)号：CN111316397B

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN201880053183.X

申请日：2018-07-16

申请人： 零件喷涂公司

发明人： P.L.摩斯 ,  D.T.克罗利

IPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/35

摘要： 一种用于旋转靶阴极的磁棒组件包括支撑结构、可移动地附接到所述支撑结构并且包含多个磁体的磁棒结构以及可操作地耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构的定位机构。所述定位机构被配置为当在磁性靶材筒内时，在缩回位置和展开位置之间移动所述磁棒结构。当所述磁棒组件插入靶筒或从所述靶筒移除时，所述缩回位置显著减小所述磁体和所述靶筒的磁性靶材之间的磁力。当所述磁棒组件处于所述靶筒中时，所述展开位置显著增加所述磁体和所述磁性靶材之间的磁力，并且允许来自所述磁棒结构的磁场穿透所述磁性靶材。

公开(公告)号：CN111316397A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201880053183.X

申请日：2018-07-16

申请人： 零件喷涂公司

发明人： P.L.摩斯 ,  D.T.克罗利

IPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/35

摘要： 一种用于旋转靶阴极的磁棒组件包括支撑结构、可移动地附接到所述支撑结构并且包含多个磁体的磁棒结构以及可操作地耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构的定位机构。所述定位机构被配置为当在磁性靶材筒内时，在缩回位置和展开位置之间移动所述磁棒结构。当所述磁棒组件插入靶筒或从所述靶筒移除时，所述缩回位置显著减小所述磁体和所述靶筒的磁性靶材之间的磁力。当所述磁棒组件处于所述靶筒中时，所述展开位置显著增加所述磁体和所述磁性靶材之间的磁力，并且允许来自所述磁棒结构的磁场穿透所述磁性靶材。

公开(公告)号：CN105463394B

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201510922598.4

申请日：2012-01-06

申请人： 零件喷涂公司

发明人： D.T.克罗利 ,  W.A.梅雷迪思

IPC分类号： C23C14/35 ,  H01J37/34

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/354 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/342 ,  H01J37/345 ,  H01J37/3452 ,  H01J37/347 ,  H01J37/3482

摘要： 本发明涉及溅射装置。在一个实施方案中，磁控组件包括多个磁体和被配置来将所述多个磁体固定在至少四个独立的线性阵列中的磁轭。将所述多个磁体布置在所述磁轭中，以便形成包括外部和内部的模式。所述外部基本上包围所述内部的周界。用于形成所述外部的所述磁体具有第一极性，且用于形成所述内部的所述磁体具有第二极性。所述模式的所述外部包括基本上彼此平行的一对细长断面。所述模式的所述外部包括一对回车道断面，其中每个回车道断面基本上跨越所述一对细长断面的相应端，且其中每个回车道断面包括具有所述第一极性的多个磁体。在另一个实施方案中，磁控组件包括磁轭和多个磁体，所述多个磁体可配置地放置在所述磁轭上，以便形成具有至少一个梯级回车道断面的跑道模式。

公开(公告)号：CN105463394A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510922598.4

申请日：2012-01-06

申请人： 零件喷涂公司

发明人： D.T.克罗利 ,  W.A.梅雷迪思

IPC分类号： C23C14/35 ,  H01J37/34

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/354 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/342 ,  H01J37/345 ,  H01J37/3452 ,  H01J37/347 ,  H01J37/3482 ,  C23C14/3471

摘要： 在一个实施方案中，磁控组件包括多个磁体和被配置来将所述多个磁体固定在至少四个独立的线性阵列中的磁轭。将所述多个磁体布置在所述磁轭中，以便形成包括外部和内部的模式。所述外部基本上包围所述内部的周界。用于形成所述外部的所述磁体具有第一极性，且用于形成所述内部的所述磁体具有第二极性。所述模式的所述外部包括基本上彼此平行的一对细长断面。所述模式的所述外部包括一对回车道断面，其中每个回车道断面基本上跨越所述一对细长断面的相应端，且其中每个回车道断面包括具有所述第一极性的多个磁体。在另一个实施方案中，磁控组件包括磁轭和多个磁体，所述多个磁体可配置地放置在所述磁轭上，以便形成具有至少一个梯级回车道断面的跑道模式。

公开(公告)号：CN103354844B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201280004692.6

申请日：2012-01-06

申请人： 零件喷涂公司

发明人： D.T.克罗利 ,  W.A.梅雷迪思

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/354 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/342 ,  H01J37/345 ,  H01J37/3452 ,  H01J37/347 ,  H01J37/3482

摘要： 在一个实施方案中，磁控组件包括多个磁体和被配置来将所述多个磁体固定在至少四个独立的线性阵列中的磁轭。将所述多个磁体布置在所述磁轭中，以便形成包括外部和内部的模式。所述外部基本上包围所述内部的周界。用于形成所述外部的所述磁体具有第一极性，且用于形成所述内部的所述磁体具有第二极性。所述模式的所述外部包括基本上彼此平行的一对细长断面。所述模式的所述外部包括一对回车道断面，其中每个回车道断面基本上跨越所述一对细长断面的相应端，且其中每个回车道断面包括具有所述第一极性的多个磁体。在另一个实施方案中，磁控组件包括磁轭和多个磁体，所述多个磁体可配置地放置在所述磁轭上，以便形成具有至少一个梯级回车道断面的跑道模式。

公开(公告)号：CN105008585A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201380068267.8

申请日：2013-12-23

申请人： 零件喷涂公司

发明人： D.T.克罗利 ,  P.L.摩斯 ,  W.A.小梅雷迪思 ,  J.R.格尔曼 ,  M.L.尼亚尔

IPC分类号： C23C16/50 ,  C23C16/513

CPC分类号： H01J37/3405 ,  H01J37/3417 ,  H01J37/3438 ,  H01J37/3444 ,  H01J37/345

摘要： 一个实施方案是关于一种等离子体源，所述等离子体源包括其中形成空腔的主体和设置于所述空腔内的至少两个自含式磁控管组件。所述磁控管组件彼此并且与所述主体互相电绝缘。在此类实施方案的一种实现方式中，所述自含式磁控管组件包括闭合漂移磁控管组件。公开了其它实施方案。

公开(公告)号：CN103354844A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：CN201280004692.6

申请日：2012-01-06

申请人： 零件喷涂公司

发明人： D.T.克罗利 ,  W.A.梅雷迪思

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/354 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/342 ,  H01J37/345 ,  H01J37/3452 ,  H01J37/347 ,  H01J37/3482

摘要： 在一个实施方案中，磁控组件包括多个磁体和被配置来将所述多个磁体固定在至少四个独立的线性阵列中的磁轭。将所述多个磁体布置在所述磁轭中，以便形成包括外部和内部的模式。所述外部基本上包围所述内部的周界。用于形成所述外部的所述磁体具有第一极性，且用于形成所述内部的所述磁体具有第二极性。所述模式的所述外部包括基本上彼此平行的一对细长断面。所述模式的所述外部包括一对回车道断面，其中每个回车道断面基本上跨越所述一对细长断面的相应端，且其中每个回车道断面包括具有所述第一极性的多个磁体。在另一个实施方案中，磁控组件包括磁轭和多个磁体，所述多个磁体可配置地放置在所述磁轭上，以便形成具有至少一个梯级回车道断面的跑道模式。