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公开(公告)号：CN105190837A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480025553.0
申请日：2014-05-09
申请人： 马特森技术有限公司
发明人： 弗拉迪米尔·纳戈尔尼 , 史蒂文·帕克斯 , 马丁·朱克
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32513 , H01J37/321 , H01J37/32522 , H01J2237/166
摘要： 提供了用于在等离子体处理系统中保护真空密封件的系统和方法。该等离子体处理系统可以包括限定侧壁的真空室以及围绕侧壁的至少一部分包绕的感应线圈。在真空室的侧壁与散热器之间可以定位有真空密封件。在侧壁与散热器之间可以联接有导热桥。此外，导热桥可以相对于真空密封件定位成使得导热桥将从侧壁或任何热源至散热器的导热路径重新定向成使得热路径绕开真空密封件。
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公开(公告)号：CN105190837B
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201480025553.0
申请日：2014-05-09
申请人： 马特森技术有限公司
发明人： 弗拉迪米尔·纳戈尔尼 , 史蒂文·帕克斯 , 马丁·朱克
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32513 , H01J37/321 , H01J37/32522 , H01J2237/166
摘要： 提供了用于在等离子体处理系统中保护真空密封件的系统和方法。该等离子体处理系统可以包括限定侧壁的真空室以及围绕侧壁的至少一部分包绕的感应线圈。在真空室的侧壁与散热器之间可以定位有真空密封件。在侧壁与散热器之间可以联接有导热桥。此外，导热桥可以相对于真空密封件定位成使得导热桥将从侧壁或任何热源至散热器的导热路径重新定向成使得热路径绕开真空密封件。
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公开(公告)号：CN102308380B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201080006670.4
申请日：2010-01-29
申请人： 马特森技术有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/67248 , H02N1/08
摘要： 公开了一种用于维持衬底的表面上期望的温度轮廓的静电夹具系统。静电夹具系统包括：基座支撑件，其限定基座支撑件表面上基本均匀的温度轮廓；以及静电夹具，其由基座支撑件支撑。静电夹具具有夹持电极和多个独立控制的加热电极。独立控制的加热电极包括由间隙距离隔开的内加热电极和外加热电极，其中，内加热电极限定内加热区，外加热电极限定外加热区。通过改变基座温度区、内加热区、外加热区的热特性，或者通过改变内加热电极与外加热电极之间的间隙距离的大小，可调整衬底的表面上的温度轮廓。
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公开(公告)号：CN102308380A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201080006670.4
申请日：2010-01-29
申请人： 马特森技术有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/67248 , H02N1/08
摘要： 公开了一种用于维持衬底的表面上期望的温度轮廓的静电夹具系统。静电夹具系统包括：基座支撑件，其限定基座支撑件表面上基本均匀的温度轮廓；以及静电夹具，其由基座支撑件支撑。静电夹具具有夹持电极和多个独立控制的加热电极。独立控制的加热电极包括由间隙距离隔开的内加热电极和外加热电极，其中，内加热电极限定内加热区，外加热电极限定外加热区。通过改变基座温度区、内加热区、外加热区的热特性，或者通过改变内加热电极与外加热电极之间的间隙距离的大小，可调整衬底的表面上的温度轮廓。
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