用于垂直磁性隧道结(MTJ)的混合合成反铁磁层

    公开(公告)号:CN105830155B

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201480069456.1

    申请日:2014-11-19

    IPC分类号: G11B5/66 H01L43/08 H01L43/12

    摘要: 一种磁性隧道结(MTJ)器件包括自由层。该MTJ还包括耦合至自由层的阻挡层。该MTJ还具有耦合至阻挡层的固定层。固定层包括第一合成反铁磁(SAF)多层,其具有第一垂直磁各向异性(PMA)和第一阻尼常数。固定层还包括第二SAF多层,其具有第二垂直磁各向异性(PMA)以及低于第一阻尼常数的第二阻尼常数。第一SAF多层比第二SAF多层更靠近阻挡层。固定层还包括第一和第二SAF多层之间的SAF耦合层。