公开(公告)号：CN111512235B

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN201880082787.7

申请日：2018-11-20

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·里泽斯特拉 ,  C·J·H·兰姆布列支 ,  W·T·特尔 ,  S·罗伊 ,  C·D·格乌斯塔 ,  粘惎非 ,  寇伟田 ,  陈彰伟 ,  P·G·J·斯莫恩伯格

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本文中描述了一种用于确定对图案化过程的校正的方法。该方法包括：获得图案化过程的多个品质(例如多个参数映射，或者一个或更多个校正)，所述多个品质是从量测数据以及在图案化过程中使用的设备的数据导出的；由硬件计算机系统从所述多个品质中选择代表性品质；以及由硬件计算机系统基于代表性品质确定对图案化过程的校正。

公开(公告)号：CN111512235A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201880082787.7

申请日：2018-11-20

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·里泽斯特拉 ,  C·J·H·兰姆布列支 ,  W·T·特尔 ,  S·罗伊 ,  C·D·格乌斯塔 ,  粘惎非 ,  寇伟田 ,  陈彰伟 ,  P·G·J·斯莫恩伯格

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本文中描述了一种用于确定对图案化过程的校正的方法。该方法包括：获得图案化过程的多个品质(例如多个参数映射，或者一个或更多个校正)，所述多个品质是从量测数据以及在图案化过程中使用的设备的数据导出的；由硬件计算机系统从所述多个品质中选择代表性品质；以及由硬件计算机系统基于代表性品质确定对图案化过程的校正。

公开(公告)号：CN115294068A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202210951655.1

申请日：2018-11-20

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·里泽斯特拉 ,  C·J·H·兰姆布列支 ,  W·T·特尔 ,  S·罗伊 ,  C·D·格乌斯塔 ,  粘惎非 ,  寇伟田 ,  陈彰伟 ,  P·G·J·斯莫恩伯格

IPC分类号： G06T7/00 ,  G06T5/00 ,  G06T7/60

摘要： 本文中描述了一种用于确定对图案化过程的校正的方法。该方法包括：获得图案化过程的多个品质(例如多个参数映射，或者一个或更多个校正)，所述多个品质是从量测数据以及在图案化过程中使用的设备的数据导出的；由硬件计算机系统从所述多个品质中选择代表性品质；以及由硬件计算机系统基于代表性品质确定对图案化过程的校正。