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公开(公告)号:CN101561642A
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200910134805.4
申请日:2009-04-09
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: H·巴特勒 , M·A·W·苏吉皮尔斯 , C·A·胡根达姆 , R·J·M·德琼 , M·J·M·林肯斯 , M·W·M·范德威吉斯特 , M·W·J·E·威吉克曼斯 , R·L·吐圣恩 , R·P·H·法森 , A·H·考沃埃特斯
CPC分类号: G03F7/709 , G03F7/70758 , G03F7/70766
摘要: 本发明公开了一种定位系统、一种光刻设备以及一种器件制造方法。所述定位系统用以在光刻设备的底架内以定位台,所述定位系统包括:用以施加致动力到所述台上的第一致动器,该第一致动器连接到构造并配置成吸收该第一致动器的反作用力的第一平衡质量块,其中该定位系统还包括控制器和第二致动器,所述控制器和第二致动器构造并配置成施加补偿力和/或扭矩以补偿由第一致动器施加到第一平衡质量块上的致动力引起的扭矩。
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公开(公告)号:CN102454733B
公开(公告)日:2014-10-22
申请号:CN201110327827.X
申请日:2011-10-25
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: C·A·胡根达姆 , M·A·W·苏吉皮尔斯 , B·F·瑞得斯脱 , R·C·G·吉森 , M·C·A·布伦
CPC分类号: F16F1/10 , F16F1/027 , G03F7/70716 , G03F7/70758 , G03F7/70833 , G03F7/7095
摘要: 本发明公开了一种板弹簧、平台系统以及光刻设备。一种板弹簧,安装在两个物体之间,板弹簧配置成在两个正交方向上具有高的刚性且在其他自由度上具有相对低的刚性,其中所述板弹簧具有基本上板形主体,所述板弹簧包括第一安装位置,其位于板形主体的中心或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第一个,其中板弹簧包括一个或更多个第二安装位置,位于板形主体的周围或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第二个;和在所述板形主体中的在所述第一安装位置和第二安装位置之间的细长的凹槽和/或狭缝,所述凹槽和/或狭缝在所述两个正交方向的平面内沿至少两个非正交方向延伸。
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公开(公告)号:CN101561642B
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN200910134805.4
申请日:2009-04-09
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: H·巴特勒 , M·A·W·苏吉皮尔斯 , C·A·胡根达姆 , R·J·M·德琼 , M·J·M·林肯斯 , M·W·M·范德威吉斯特 , M·W·J·E·威吉克曼斯 , R·L·吐圣恩 , R·P·H·法森 , A·H·考沃埃特斯
CPC分类号: G03F7/709 , G03F7/70758 , G03F7/70766
摘要: 本发明公开了一种定位系统、一种光刻设备以及一种器件制造方法。所述定位系统用以在光刻设备的底架内以定位台,所述定位系统包括:用以施加致动力到所述台上的第一致动器,该第一致动器连接到构造并配置成吸收该第一致动器的反作用力的第一平衡质量块,其中该定位系统还包括控制器和第二致动器,所述控制器和第二致动器构造并配置成施加补偿力和/或扭矩以补偿由第一致动器施加到第一平衡质量块上的致动力引起的扭矩。
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公开(公告)号:CN102454733A
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN201110327827.X
申请日:2011-10-25
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: C·A·胡根达姆 , M·A·W·苏吉皮尔斯 , B·F·瑞得斯脱 , R·C·G·吉森 , M·C·A·布伦
CPC分类号: F16F1/10 , F16F1/027 , G03F7/70716 , G03F7/70758 , G03F7/70833 , G03F7/7095
摘要: 本发明公开了一种板弹簧、平台系统以及光刻设备。一种板弹簧,安装在两个物体之间,板弹簧配置成在两个正交方向上具有高的刚性且在其他自由度上具有相对低的刚性,其中所述板弹簧具有基本上板形主体,所述板弹簧包括第一安装位置,其位于板形主体的中心或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第一个,其中板弹簧包括一个或更多个第二安装位置,位于板形主体的周围或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第二个;和在所述板形主体中的在所述第一安装位置和第二安装位置之间的细长的凹槽和/或狭缝,所述凹槽和/或狭缝在所述两个正交方向的平面内沿至少两个非正交方向延伸。
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