公开(公告)号：CN107036528B

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN201710222191.X

申请日：2012-03-30

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： G·德博尔 ,  T·A·乌姆斯 ,  N·弗奇尔 ,  G·C·A·库维利尔斯

IPC: G01B9/02018 ,  G02B27/28 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种适用于测量参考反射镜和测量反射镜之间的位移的方向的差分干涉仪模块。在实施例中，差分干涉仪模块适用于将三种参考光束向着第一反射镜发射并将三种测量光束向着第二反射镜发射，以便确定所述第一反射镜和所述第二反射镜之间的位移。在优选实施例中，该同一模块也适用于测量绕两个垂直轴的相对旋转。本发明还涉及一种用于测量这样的位移和旋转的方法。

公开(公告)号：CN119404284A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202380048523.0

申请日：2023-07-13

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： T·A·乌姆斯 ,  N·弗奇尔 ,  N·J·M·博世 ,  V·S·凯珀 ,  P·P·亨佩尼乌斯 ,  S·W·H·K·斯蒂恩布林克 ,  E·斯洛特

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/28 ,  H01J37/26 ,  H01J37/21 ,  G03F9/00

Abstract: 公开了用于获得关于样品表面的形貌信息的设备和方法。在一种布置中，感测系统包括用于测量样品表面的相应部分的位置的一组近端传感器、以及比近端传感器更远离多束的子束路径定位的远端传感器。远端传感器测量样品表面的一部分相对于远端传感器的位置。控制系统控制带电粒子设备以使用多束在可多束处理的区域中处理样品表面。一个阶段使得可多束处理的区域沿着样品的参考系中的处理路径移动。在可多束处理的区域到达处理路径的选定部分之前，感测系统至少使用远端传感器来在处理路径的选定部分中的获得关于样品表面的形貌信息。