公开(公告)号：CN110082370B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN201910067119.3

申请日：2019-01-24

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.J.詹森 ,  L.余 ,  E.M.弗兰肯

IPC: G01N23/04 ,  H01J37/26

Abstract: 一种使用透射带电粒子显微镜的方法，其包括：‑在样品固定器上提供样品；‑使用照明系统将来自来源的带电粒子束引导到所述样品上；‑使用成像系统将传输通过样品的带电粒子导向检测器，还包括以下动作：‑在采集步骤中，持续时间间隔T，使用粒子计数模式中的所述检测器来记录与各个粒子检测事件有关的时空数据，并以原始形式输出所述时空数据，而不组装成图像帧；‑在随后的渲染步骤中，在执行数学校正操作的同时，从所述时空数据组装最终图像。

公开(公告)号：CN111223734B

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN201911165127.8

申请日：2019-11-25

Applicant: FEI 公司

Inventor： E.M.弗兰肯 ,  R.肖恩马克思 ,  B.J.詹森 ,  M.弗海延 ,  H.科尔 ,  Y.邓 ,  A.福格特

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/046

Abstract: 本发明涉及一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件。所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品。所述方法包括以下步骤：通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，且在获取所述图像期间同时改变所述样品的位置，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的独特位置获取每个图像。

公开(公告)号：CN110186943B

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN201910129418.5

申请日：2019-02-21

Applicant: FEI 公司

Inventor： E.M.弗兰肯 ,  I.拉吉克 ,  B.J.詹森

IPC: G01N23/22 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2254

Abstract: 在扫描透射带电粒子显微镜中成像样品的方法，包括以下步骤：‑在样品固定器上提供样品；‑提供从源通过照明器引导的带电粒子束，以照射样品；‑提供分段式检测器，用于检测穿过样品的带电粒子通量；‑使所述束扫描样品的表面，并组合来自检测器的不同区段的信号，以便在每个扫描位置处产生来自检测器的矢量输出，所述矢量输出具有沿相应X、Y坐标轴的分量Dx、Dy，具体包括：‑沿预扫描轨迹对样品进行相对粗略的预扫描；‑在所述预扫描轨迹上的选定位置pi处，分析所述分量Dx、Dy以及标量强度传感器值Ds；‑使用所述Dx、Dy和Ds分析将每个位置pi处的样品组成分类为一组组成类别中的一个；‑对于选定的组成类别，在分配给该类别的位置pi处执行相对精细的扫描。

公开(公告)号：CN103854941A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310624541.7

申请日：2013-11-29

Applicant: FEI公司

Inventor： R.肖恩马克斯 ,  U.鲁伊肯 ,  E.M.弗兰肯

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N23/046 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/419 ,  H01J37/21 ,  H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法，其包括以下步骤：提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束；将样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上；在成像步骤中，引导射束穿过样本，以便在图像探测器处形成和捕获样本的图像；在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序，以便获得对应的一组图像；在重建步骤中，数学地处理来自所述组的图像，以便构造样本的合成图像，由此：在所述成像步骤中，对于给定的样本倾斜，一系列构件图像在对应的一系列焦点设定值下被捕获；在所述重建步骤中，对于所述列的样本倾斜的至少一个组成部分，所述一系列构件图像的多个组成部分在所述数学图像处理中使用。这给出了给定样本倾斜下的3D成像立方体而非2D成像片。