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公开(公告)号:CN103688333B
公开(公告)日:2016-10-19
申请号:CN201280019242.4
申请日:2012-02-17
申请人: 应用材料以色列公司 , 卡尔蔡司SMT有限公司
CPC分类号: H01J37/21 , H01J37/06 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0453 , H01J2237/049 , H01J2237/063 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/2817
摘要: 带电粒子束聚焦设备(200)包括带电粒子束发生器(202),所述带电粒子束发生器(202)被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置(217)上,从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器(31),所述成像检测器(31)被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器(32)分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像,且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。
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公开(公告)号:CN103688333A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201280019242.4
申请日:2012-02-17
申请人: 应用材料以色列公司 , 卡尔蔡司SMT有限公司
CPC分类号: H01J37/21 , H01J37/06 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0453 , H01J2237/049 , H01J2237/063 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/2817
摘要: 带电粒子束聚焦设备(200)包括带电粒子束发生器(202),所述带电粒子束发生器(202)被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置(217)上,从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器(31),所述成像检测器(31)被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器(32)分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像,且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。
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公开(公告)号:CN103733298B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201280039452.X
申请日:2012-05-28
申请人: 株式会社日立高新技术
CPC分类号: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
摘要: 近年来,扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术,但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此,对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置,其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题,设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于,根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件,按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组,从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像,显示在画面上。
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公开(公告)号:CN105531793A
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201480047309.4
申请日:2014-05-16
申请人: 株式会社日立高新技术
IPC分类号: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC分类号: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
摘要: 本发明提供一种电子显微镜,其特征在于,在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5),使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致,并使第一成像透镜(61)的焦距变化,来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中,在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81),在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此,在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中,也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号:CN103733298A
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201280039452.X
申请日:2012-05-28
申请人: 株式会社日立高新技术
CPC分类号: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
摘要: 近年来,扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术,但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此,对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置,其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题,设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于,根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件,按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组,从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像,显示在画面上。
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公开(公告)号:CN103854941B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201310624541.7
申请日:2013-11-29
CPC分类号: H01J37/22 , G01N23/046 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/419 , H01J37/21 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J2237/21 , H01J2237/226 , H01J2237/2802
摘要: 一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法,其包括以下步骤:提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束;将样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上;在成像步骤中,引导射束穿过样本,以便在图像探测器处形成和捕获样本的图像;在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序,以便获得对应的一组图像;在重建步骤中,数学地处理来自所述组的图像,以便构造样本的合成图像,由此:在所述成像步骤中,对于给定的样本倾斜,一系列构件图像在对应的一系列焦点设定值下被捕获;在所述重建步骤中,对于所述列的样本倾斜的至少一个组成部分,所述一系列构件图像的多个组成部分在所述数学图像处理中使用。这给出了给定样本倾斜下的3D成像立方体而非2D成像片。
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公开(公告)号:CN103703537B
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201280035812.9
申请日:2012-07-19
申请人: 株式会社日立高新技术
IPC分类号: H01J37/28 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244
CPC分类号: H01J37/263 , G01N23/2206 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/226 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
摘要: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有,本发明的扫描透过电子显微镜具有:能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
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公开(公告)号:CN103854941A
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201310624541.7
申请日:2013-11-29
申请人: FEI公司
CPC分类号: H01J37/22 , G01N23/046 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/419 , H01J37/21 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J2237/21 , H01J2237/226 , H01J2237/2802
摘要: 一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法,其包括以下步骤:提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束;将样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上;在成像步骤中,引导射束穿过样本,以便在图像探测器处形成和捕获样本的图像;在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序,以便获得对应的一组图像;在重建步骤中,数学地处理来自所述组的图像,以便构造样本的合成图像,由此:在所述成像步骤中,对于给定的样本倾斜,一系列构件图像在对应的一系列焦点设定值下被捕获;在所述重建步骤中,对于所述列的样本倾斜的至少一个组成部分,所述一系列构件图像的多个组成部分在所述数学图像处理中使用。这给出了给定样本倾斜下的3D成像立方体而非2D成像片。
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公开(公告)号:CN102067268A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200980123998.1
申请日:2009-06-23
申请人: 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号: H01J37/05 , H01J37/317
CPC分类号: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
摘要: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法,其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析,其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析,离子束接着通过减速器(242)被减速,且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供,其中形成磁场,用于截取离开减速器的离子束中的离子,以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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公开(公告)号:CN108604562A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201780009352.5
申请日:2017-02-01
申请人: 科磊股份有限公司
CPC分类号: H01J37/12 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J2237/1207 , H01J2237/21 , H01J2237/2801 , H01J2237/2817
摘要: 揭示多光束电子束柱及使用此些多光束电子束柱的检验系统。根据本发明配置的多光束电子束柱可包含电子源及多透镜阵列,所述多透镜阵列经配置以利用由所述电子源提供的电子产生多个细光束。所述多透镜阵列可进一步经配置以移位所述多个细光束中的至少一个特定细光束的焦点,使得所述至少一个特定细光束的所述焦点与所述多个细光束中的至少一个其它细光束的焦点不同。
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