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公开(公告)号：CN102207472B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201110078266.4
申请日：2011-03-30
申请人： FEI公司
发明人： R.坦纳
IPC分类号： G01N23/22
CPC分类号： H01J37/3005 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/2611 , H01J2237/28 , H01J2237/2803 , H01J2237/2814 , H01J2237/30472 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。
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公开(公告)号：CN102207472A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110078266.4
申请日：2011-03-30
申请人： FEI公司
发明人： R.坦纳
IPC分类号： G01N23/22
CPC分类号： H01J37/3005 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/2611 , H01J2237/28 , H01J2237/2803 , H01J2237/2814 , H01J2237/30472 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。
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公开(公告)号：CN103578901B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201310325911.7
申请日：2013-07-30
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/305 , H01L21/67
CPC分类号： H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/31749
摘要： 一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置。该装置包括：用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；以及工序调度器，该工序调度器接收来自该调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序。此外还包括一个工序定序器，当该人工操作员就绪输入端在第二状态时，对于正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器对所有全自动化工序进行定序直到该人工操作员就绪输入端被置于第一状态下，此时，该定序器开始对人工辅助工序进行定序。
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公开(公告)号：CN104990773A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510298187.2
申请日：2011-03-30
申请人： FEI公司
发明人： R.坦纳
CPC分类号： H01J37/3005 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/2611 , H01J2237/28 , H01J2237/2803 , H01J2237/2814 , H01J2237/30472 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。
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公开(公告)号：CN103578901A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310325911.7
申请日：2013-07-30
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/305 , H01L21/67
CPC分类号： H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/31749
摘要： 一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置。该装置包括：用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；以及工序调度器，该工序调度器接收来自该调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序。此外还包括一个工序定序器，当该人工操作员就绪输入端在第二状态时，对于正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器对所有全自动化工序进行定序直到该人工操作员就绪输入端被置于第一状态下，此时，该定序器开始对人工辅助工序进行定序。
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