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公开(公告)号：CN103443326B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201280015136.9
申请日：2012-03-16
申请人： LG电子株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/513 , C23C16/44
CPC分类号： C23C16/513 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/568 , C23C16/4485 , C23C16/45548 , C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/54 , H01J37/3244 , H01J37/32706 , H01J37/32715 , H01J37/32743 , H01J37/32788 , H01J37/32862
摘要： 公开了一种等离子体增强式化学气相沉积设备，其包括：室，其中执行等离子体反应以将功能膜设置到接纳在其中的物体；托台，与物体机械连接和电连接；运送机，将所述托台从所述室外运送到室内；以及电源，向所述托台供电，所述电源包括当运送所述托台时远离所述托台并当所述托台停止时与所述托台接触的移动触点。
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公开(公告)号：CN102538568B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201110416083.9
申请日：2011-12-09
申请人： LG电子株式会社
CPC分类号： C23C16/405 , C23C16/401 , C23C16/50 , F28F19/02 , F28F2245/02 , F28F2265/20
摘要： 本发明涉及具有功能层的产品及其制造方法。制造具有功能层的产品的方法包括用钛和硅前体化合物进行等离子体反应以在诸如热交换器的表面的基材上形成涂层的步骤。
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公开(公告)号：CN103443326A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201280015136.9
申请日：2012-03-16
申请人： LG电子株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/513 , C23C16/44
CPC分类号： C23C16/513 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/568 , C23C16/4485 , C23C16/45548 , C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/54 , H01J37/3244 , H01J37/32706 , H01J37/32715 , H01J37/32743 , H01J37/32788 , H01J37/32862
摘要： 公开了一种等离子体增强式化学气相沉积设备，其包括：室，其中执行等离子体反应以将功能膜设置到接纳在其中的物体；托台，与物体机械连接和电连接；运送机，将所述托台从所述室外运送到室内；以及电源，向所述托台供电，所述电源包括当运送所述托台时远离所述托台并当所述托台停止时与所述托台接触的移动触点。
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公开(公告)号：CN102538568A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110416083.9
申请日：2011-12-09
申请人： LG电子株式会社
CPC分类号： C23C16/405 , C23C16/401 , C23C16/50 , F28F19/02 , F28F2245/02 , F28F2265/20
摘要： 本发明涉及具有功能层的产品及其制造方法。制造具有功能层的产品的方法包括用钛和硅前体化合物进行等离子体反应以在诸如热交换器的表面的基材上形成涂层的步骤。
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