公开(公告)号：CN102217028A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200980124933.9

申请日：2009-06-17

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： A·沙基 ,  X·陈 ,  A·考韦 ,  D·布特纳 ,  W·R·安特雷 ,  邵守谦

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32357 ,  H01J37/32871 ,  Y10S55/15 ,  Y10T29/4935

Abstract: 一种用于远程等离子源的颗粒捕集器，包括本体结构，该本体结构具有用于联接到远程等离子源的腔室的入口和用于联接到处理腔室入口的出口。用于远程等离子源的颗粒捕集器还包括形成在本体结构内并与本体结构入口和本体结构出口流体连通的气体通道。气体通道可形成穿过本体结构的路径，使得来自通道的第一部分的气体中的颗粒以相对于壁的表面的一定角度撞击该壁，该壁形成气体通道的第二部分。冷却剂件可与气体通道热连通。