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公开(公告)号：CN101855700B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200880115934.2
申请日：2008-09-23
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J49/105 , H01J49/145
Abstract: 描述用于产生质谱系统中使用的试剂离子和产品离子的系统和方法。还揭示了用于检测痕量浓度的挥发性有机化合物的系统和方法的应用。微波或高频RF能量源使试剂蒸汽的粒子电离以形成试剂离子。试剂离子进入一个腔室，诸如漂移腔室，以与流体样品交互作用。电场引导试剂离子和促进与流体样品的交互作用而形成产品离子。然后试剂离子和产品离子在电场的影响下退出腔室，以供质谱仪模块检测。系统包括：各种控制模块，用于设置系统参数值；以及分析模块，用于在质谱法和系统故障期间检测离子物质的质量和峰值强度值。
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公开(公告)号：CN101297480B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200680040216.4
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H03H7/40
CPC classification number: H03H7/40
Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。
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公开(公告)号：CN102365705B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN200980158583.8
申请日：2009-04-13
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32009 , H01J37/321
Abstract: 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102365705A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN200980158583.8
申请日：2009-04-13
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32009 , H01J37/321
Abstract: 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。
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公开(公告)号：CN102471914A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200980160926.4
申请日：2009-11-16
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: C25D11/04 , C25D11/026 , C25D11/18 , C25D11/30 , H01J37/32477
Abstract: 本发明揭示一种在半导体处理系统中使用的包括铝和镁的物体的表面上产生保护层的方法，该方法包含使用等离子体电解氧化方法来氧化该物体的该表面。该方法也包含通过激发包含卤素的气体来产生包含卤素的等离子体。该方法也包含将该经氧化的表面暴露于该包含卤素的等离子体或受激发气体。
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公开(公告)号：CN102217028A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980124933.9
申请日：2009-06-17
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32871 , Y10S55/15 , Y10T29/4935
Abstract: 一种用于远程等离子源的颗粒捕集器，包括本体结构，该本体结构具有用于联接到远程等离子源的腔室的入口和用于联接到处理腔室入口的出口。用于远程等离子源的颗粒捕集器还包括形成在本体结构内并与本体结构入口和本体结构出口流体连通的气体通道。气体通道可形成穿过本体结构的路径，使得来自通道的第一部分的气体中的颗粒以相对于壁的表面的一定角度撞击该壁，该壁形成气体通道的第二部分。冷却剂件可与气体通道热连通。
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公开(公告)号：CN101855700A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115934.2
申请日：2008-09-23
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J49/105 , H01J49/145
Abstract: 描述用于产生质谱系统中使用的试剂离子和产品离子的系统和方法。还揭示了用于检测痕量浓度的挥发性有机化合物的系统和方法的应用。微波或高频RF能量源使试剂蒸汽的粒子电离以形成试剂离子。试剂离子进入一个腔室，诸如漂移腔室，以与流体样品交互作用。电场引导试剂离子和促进与流体样品的交互作用而形成产品离子。然后试剂离子和产品离子在电场的影响下退出腔室，以供质谱仪模块检测。系统包括：各种控制模块，用于设置系统参数值；以及分析模块，用于在质谱法和系统故障期间检测离子物质的质量和峰值强度值。
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公开(公告)号：CN101297480A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200680040216.4
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H03H7/40
CPC classification number: H03H7/40
Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。
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