公开(公告)号：CN104903245B

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201380058623.8

申请日：2013-11-04

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： J·H·塞沃特 ,  U·A·布拉默 ,  M·布拉查 ,  G·J·施奈特

IPC: B01D19/00 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  C02F1/78 ,  C02F103/34

Abstract: 本发明在一个方面提供一种再循环臭氧化液体的系统。该系统包括：接触器，接触器包括至少两个入口和至少两个出口。接触器与第一接触器入口处的第一流体源和第二接触器入口处的第二液体源流体地连通，且第二接触器入口接收气体，该气体清除至少一部分来自第一接触器入口处接收的液体的气体。该清除的气体在第一接触器出口处流出接触器。接触器与第二接触器出口处的第二液体源流体地连通，该接触器排放接触器内至少一部分的液体，排放的液体在第二接触器出口处流出接触器。接触器包括与第一液体源流体地连通的第三入口，该第三入口允许第一液体源释放环境压力下的液体。

公开(公告)号：CN104903245A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201380058623.8

申请日：2013-11-04

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： J·H·塞沃特 ,  U·A·布拉默 ,  M·布拉查 ,  G·J·施奈特

IPC: C02F1/20 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  C02F1/78 ,  C02F103/34

CPC classification number: C02F1/20 ,  B01D19/00 ,  B01D19/0063 ,  B01D19/0068 ,  B01D19/0073 ,  C02F1/78 ,  C02F2103/346 ,  C02F2209/02 ,  C02F2209/235 ,  C02F2209/38 ,  C02F2301/046 ,  G03F7/423 ,  H01L21/02052 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T137/87249

Abstract: 本发明在一个方面提供一种再循环臭氧化液体的系统。该系统包括：接触器，接触器包括至少两个入口和至少两个出口。接触器与第一接触器入口处的第一流体源和第二接触器入口处的第二液体源流体地连通，且第二接触器入口接收气体，该气体清除至少一部分来自第一接触器入口处接收的液体的气体。该清除的气体在第一接触器出口处流出接触器。接触器与第二接触器出口处的第二液体源流体地连通，该接触器排放接触器内至少一部分的液体，排放的液体在第二接触器出口处流出接触器。接触器包括与第一液体源流体地连通的第三入口，该第三入口允许第一液体源释放环境压力下的液体。

公开(公告)号：CN106395954B

公开(公告)日：2019-09-03

申请号：CN201610982023.6

申请日：2013-11-04

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： J·H·塞沃特 ,  U·A·布拉默 ,  M·布拉查 ,  G·J·施奈特

IPC: C02F1/20 ,  B01D19/00 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  C02F1/78 ,  C02F103/34

Abstract: 本发明在一个方面提供一种再循环臭氧化液体的系统。该系统包括：接触器，接触器包括至少两个入口和至少两个出口。接触器与第一接触器入口处的第一流体源和第二接触器入口处的第二液体源流体地连通，且第二接触器入口接收气体，该气体清除至少一部分来自第一接触器入口处接收的液体的气体。该清除的气体在第一接触器出口处流出接触器。接触器与第二接触器出口处的第二液体源流体地连通，该接触器排放接触器内至少一部分的液体，排放的液体在第二接触器出口处流出接触器。接触器包括与第一液体源流体地连通的第三入口，该第三入口允许第一液体源释放环境压力下的液体。

公开(公告)号：CN105992643A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201580008455.0

申请日：2015-02-13

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： J·塞沃特 ,  C·戈茨查克 ,  J·洛尔 ,  M·布拉查

IPC: B01J19/24 ,  B01D53/66

CPC classification number: C01B13/02 ,  A62D3/40 ,  B01D53/66 ,  B01D2257/106 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2258/0216 ,  B01J19/2415 ,  B01J19/243 ,  B01J2219/00132 ,  B01J2219/00135 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/0277 ,  B01J2219/0286 ,  F23G5/10

Abstract: 本发明提供用于促进化学反应的系统和方法。所述系统可具有导电性组件。所述导电性组件能够保持化学混合物。所述导电性组件直接与电源连接并在电源开启时被加热。当化学混合物处于导电性组件内部且电源开启时，所述化学混合物被加热，从而产生化学反应。

公开(公告)号：CN106395954A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610982023.6

申请日：2013-11-04

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： J·H·塞沃特 ,  U·A·布拉默 ,  M·布拉查 ,  G·J·施奈特

IPC: C02F1/20 ,  B01D19/00 ,  G03F7/42 ,  H01L21/02 ,  C02F1/78 ,  C02F103/34

Abstract: 本发明在一个方面提供一种再循环臭氧化液体的系统。该系统包括：接触器，接触器包括至少两个入口和至少两个出口。接触器与第一接触器入口处的第一流体源和第二接触器入口处的第二液体源流体地连通，且第二接触器入口接收气体，该气体清除至少一部分来自第一接触器入口处接收的液体的气体。该清除的气体在第一接触器出口处流出接触器。接触器与第二接触器出口处的第二液体源流体地连通，该接触器排放接触器内至少一部分的液体，排放的液体在第二接触器出口处流出接触器。接触器包括与第一液体源流体地连通的第三入口，该第三入口允许第一液体源释放环境压力下的液体。摘要附图：图1A。