过滤单元及包含其的镀覆装置

    公开(公告)号:CN110088354A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201780078292.2

    申请日:2017-05-23

    Applicant: POSCO公司

    Abstract: 根据本发明的一个实施例的过滤单元可以包括:旋风主体部件,流体从一侧方向流入,且内部截面设置成圆形形状,以形成所述流体的旋转流动;以及排出部件,所述排出部件设置于旋风主体部件的中央的上端部,并且至少一部分截面形成为非圆形,以降低旋转流动并排出所述流体。

    沉积装置及沉积方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111542644A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN201880084151.6

    申请日:2018-10-19

    Applicant: POSCO公司

    Abstract: 本发明提供能够以规定的涂覆组成和速度连续涂覆的装置及方法,作为一个实施例,本发明提供一种沉积装置,其为在基板上涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置,包括:供应单元,将所述2种以上的化合物或元素以多个固体形式供应;加热单元,使从所述供应单元供应的固体熔融并蒸发,以形成蒸气;缓冲单元,与所述加热单元连接,并且所述蒸气停留在其中并,与之前生成的蒸气混合;以及喷嘴,与所述缓冲单元连接,并朝向基板形成开口。

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