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公开(公告)号：CN100367364C
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200510103656.7
申请日：2005-09-01
申请人： TDK股份有限公司
摘要： 本发明的信息记录媒体，通过具有多个凸部(21、21…)的凹凸图形(20)，在玻璃基材(11)的一面侧沿基材的旋转方向交替地排列形成有数据磁道图形和伺服图形，且在凹凸图形(20)的各凹部(22、22…)中埋入有非磁性材料(15)，构成伺服图形的凹凸图形(20)的单位凸部长度和单位凹部长度被规定成，使沿玻璃基材(11)的旋转方向(箭头R的方向)的单位凸部长度与沿该旋转方向的单位凹部长度之比成为越从内周侧向外周侧越小的状态。本发明可提供一种在从内周侧至外周侧的整个区域中平坦性良好的信息记录媒体。
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公开(公告)号：CN1328712C
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200480000193.5
申请日：2004-03-02
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： G11B5/855
摘要： 一种磁记录介质的制造方法和制造设备，能够有效地制造离散型磁记录介质，同时确实防止分隔的记录元件的退化等。磁记录介质的制造设备(40)包括：记录层处理装置(42)，用于通过在形成有连续记录层的磁记录介质的中间物(10)中以平面方向的微细间隔形成多个沟槽，将连续记录层分成多个分隔的记录元件；非磁性元件填充装置(48)，用于将非磁性元件填充到分隔的记录元件之间的沟槽中；平坦化装置(50)，用于使分隔的记录元件和非磁性元件的表面平坦化；保护层形成装置(56)，用于在分隔的记录元件和非磁性元件上形成保护层；和真空保持装置(56)，用于容纳记录层处理装置(42)、非磁性元件填充装置(48)、平坦化装置(50)和保护层形成装置(52)，以使中间物(10)的周围保持于真空条件下。
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公开(公告)号：CN1290086C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410064475.3
申请日：2004-08-27
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/855
摘要： 本发明提供一种磁记录媒体的制造方法，其能够有效可靠地制造具有形成了规定的凹凸图案的记录层且表面充分平坦的磁记录媒体，该制造方法，在非磁性材料填充步骤中，将作为每单位时间的成膜厚度的成膜率V、上述偏置功率为0的情况下的上述成膜率Vo、非磁性材料的成膜厚度t、记录元件的宽度L、记录元件之间的凹部的深度d，以满足下述关系式(I)的方式，调节成膜加工条件，并向被加工体(10)成膜·填充非磁性材料，其中该关系式为，0.1≤V/Vo≤-0.003×(L·d/t)+1.2……(I)。
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公开(公告)号：CN1612225A
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN200410089611.4
申请日：2004-10-28
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： G11B5/84
CPC分类号： G11B5/855 , Y10T29/49021 , Y10T29/49032 , Y10T29/49043 , Y10T29/49046 , Y10T29/49048 , Y10T29/49052
摘要： 本发明提供一种磁记录媒体的制造方法，能够确实高效率地制造具有表面充分平坦且记录·再现精度高的凹凸图案的记录层的磁记录媒体。包括在凹凸图案的记录层(32)上形成封顶膜(42)的封顶膜形成工序；在封顶膜(42)上形成下侧非磁性膜(36A)的下侧非磁性膜形成工序；在下侧非磁性膜(36A)上形成上侧非磁性膜(36B)的上侧非磁性膜形成工序，至少在上侧非磁性膜形成工序中对被加工体施加偏置功率，而且，在下侧非磁性膜形成工序中不施加偏置功率，或者相比于上侧非磁性膜形成工序将偏置功率抑制得小，将非磁性材料(36)填充到凹凸图案的凹部(34)内。
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公开(公告)号：CN100442359C
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200610009217.4
申请日：2006-02-14
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/855 , Y10T29/49021 , Y10T29/49032 , Y10T29/49155
摘要： 本发明提供一种具有以凹凸图案形成，将记录要素作为该凹凸图案的凸部形成的记录层，且得到磁头的良好的悬浮特性的可靠性高的磁记录介质，具有该磁记录介质的磁记录再生装置以及这样的磁记录介质的制造方法。磁记录介质(12)，具有：在基板上以规定的凹凸图案形成，将记录要素(24A)作为该凹凸图案的凸部形成的记录层(24)；在记录要素(24A)之间的凹部(26)填充的填充要素(28)；电阻率低于填充要素(28)且在填充要素(28)上形成的导电膜(30)；覆盖记录要素(24A)以及填充要素(28)，且与导电膜(30)的上面接触地形成的保护膜(32)。
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公开(公告)号：CN100395823C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200510099494.4
申请日：2005-09-06
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/855
摘要： 提供记录层以规定的凹凸图形形成，记录要素作为凹凸图形的凸部形成且使面记录密度高和磁头的碰撞不容易发生而可靠性高的磁记录介质、和装备这样的磁记录介质的磁记录再生装置。磁记录介质(12)包括：作为在基板(22)上以规定的凹凸图形形成的记录层(24)的凸部形成的记录要素(24A)的记录层(24)、和充填在记录要素(24)之间的凹部(26)上的充填要素(28)；在上述记录要素(24A)的上表面(32)上形成有与其下方的记录要素(24)的宽度方向的中央部相当的部分在基板(22)侧凹下得最深，且使宽度在离开基板(22)的方向上单调增加的剖面形状的表面凹部(30)。
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公开(公告)号：CN1815570A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510131432.7
申请日：2005-12-12
申请人： TDK股份有限公司
摘要： 一种磁记录介质的制造方法，能够制造具有凹凸图案的记录层且表面充分平坦的磁记录介质。制作具有在基板(12)上以规定的凹凸图案形成的记录层(32)及在该记录层(32)的至少记录要素(32A)(凸部)上形成的第一掩模层(暂定基底材料)(22)的被加工体(10)，并在被加工体(10)上成膜与第一掩模层(22)不同的填充物(36)而填充凹部(34)，而且，通过干式蚀刻法除去填充物(36)多余部分中的至少一部分，以使第一掩模层(22)的至少一侧面露出，并通过对第一掩模层(22)的蚀刻速率高于对填充物(36)的蚀刻速率的蚀刻法，除去第一掩模层(22)而使表面平坦化。
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公开(公告)号：CN1767010A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510103654.8
申请日：2005-09-01
申请人： TDK股份有限公司
摘要： 本发明的信息记录媒体，利用具有多个凸部(21、21…)的凹凸图形(20)，在玻璃基材(11)的至少一面侧形成数据磁道图形和伺服图形，并将非磁性材料(15)埋入凹凸图形(20)的各凹部(22、22…)中，构成数据磁道图形的凹凸图形(20)，将各凸部(21、21…)形成为同心圆状或螺旋状，构成伺服图形的凹凸图形(20)，按照用数据磁道图形的离中心的距离除以玻璃基材(11)的沿旋转方向(箭头R的方向)的单位凸部长度后的值成为从内周侧越向外周侧越小的状态，对单位凸部长度进行规定。提供在从内周侧至外周侧的整个区域中平坦性良好的信息记录媒体。
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公开(公告)号：CN1734573A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200510084930.0
申请日：2005-07-25
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/855
摘要： 一种磁记录再生装置，包括：具有以规定的凹凸图形形成记录层，把记录要素作为凹凸图形的凸部形成，使面记录密度高且磁头的撞坏不容易发生而可靠性高的磁记录介质，上述磁记录介质(12)包括：在基板上以规定的凹凸图形形成，以该凹凸图形的凸部形成记录要素(24A)的记录层(24)、和充填在记录要素(24)之间的凹部上的非磁性的充填要素(28)，充填要素(28)的上面在基板(22)侧形成为部分地凹下的形状，在表面(32)上形成宽度比凹部(26)的宽度窄的沟部(30)。
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