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公开(公告)号：CN116830010A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202180078816.4
申请日：2021-11-03
申请人： 相干激光系统有限公司
发明人： R·冯·埃尔姆
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 用于热致动可变形镜(170)的装置包括整体块(100)，该整体块包括：具有形成或配置成支撑镜(170)的前面(122F)的镜板(120)、底座(140)、以及可热膨胀致动器(130)的一维阵列。可热膨胀致动器(130)将镜板(120)的后面与底座(140)机械地连接，使得前面(122F)的形状、倾斜和/或位置取决于可热膨胀致动器(130)的温度。镜板(120)、底座(140)和可热膨胀致动器(130)由横跨在整体块(100)的相对朝向的顶表面(202T)和底表面(202B)之间的狭缝(110)限定。整体块(100)可以由金属制成并且可以通过使用在金属块的顶表面(202T)和底表面(202B)之间穿过金属块的线对金属块中的狭缝(110)进行线腐蚀来以相对较低的成本制造。
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公开(公告)号：CN113924522B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202080020712.3
申请日：2020-03-11
申请人： 相干激光系统有限公司
IPC分类号： G02B27/09
摘要： 用于将激光辐射束转换成具有较亮或较暗边缘的平顶强度分布的光束均化器(30)，包括第一透镜阵列(32)、第二透镜阵列(14)和正透镜(16)。第一透镜阵列(32)包括由没有光焦度的间隙(34)隔开的多个透镜元件(20)。通过选择小于或大于第二透镜阵列中透镜元件的焦距的第一透镜阵列和第二透镜阵列之间的距离来产生较亮边缘或较暗边缘。
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公开(公告)号：CN117730397A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202280033284.7
申请日：2022-04-22
申请人： 相干激光系统有限公司
发明人： P·范·德·维尔特
摘要： 通过形成均匀线光束(20)的多个激光束(14A‑14D)中的脉冲对衬底(24)上的层(22)进行激光退火。激光束(14A‑14D)被分成第一组光束(14A、14D)和第二组光束(14B、14C)。第二组光束(14B、14C)从比所有光束(14A‑14D)组合更小的角度范围入射到层(22)上。光束(14A‑14D)中的脉冲被同步，使得第一组光束(14A、14D)中的脉冲在第二组光束(14B、14C)中的脉冲之前入射到层(22)上。第一组光束(14A、14D)中的脉冲熔化该层并且第二组光束(14B、14C)中的脉冲维持熔化。
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公开(公告)号：CN115427878A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180016612.8
申请日：2021-02-26
申请人： 相干激光系统有限公司
摘要： 光学器件(10)从可见激光辐射束产生紫外激光辐射束，并在空间上将紫外激光束与可见激光束分开。光学器件(10)包括沿着平面界面(16)接触结合的两个由相同的光学非线性材料制成的晶体(12,14)。一个晶体(12)具有主晶体轴，其取向用于I型二次谐波产生。紫外激光束通过另一个晶体(14)的未涂覆表面(26)离开光学器件(10)。两种晶体(12,14)的主晶体轴具有不同的取向，并且围绕平面界面(16)具有反射对称性。
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公开(公告)号：CN113950781A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202080022831.2
申请日：2020-03-17
申请人： 相干激光系统有限公司
摘要： 通过在线性准分子激光器(30)的每一端定位有多个谐振腔镜(32，34)，准分子激光束横向模式中的精细结构被最小化。在一端，高反射端镜(32)和部分反射端镜(34)相对于彼此以小角度倾斜。在另一端，两个输出耦合镜(36，38)相对于彼此以小角度倾斜。谐振腔镜(32，34)的这种布置会产生复合激光束，复合激光束模糊任何精细结构。
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公开(公告)号：CN110998794A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880037164.8
申请日：2018-06-04
申请人： 相干激光系统有限公司
发明人： I·布拉金
摘要： 准分子激光退火设备(40)包括准分子激光器(42)，该准分子激光器将激光辐射脉冲传送到支撑在基板上的硅层(58)，该基板相对于激光脉冲平移，使得连续的脉冲在基板上重叠。监控每个激光辐射脉冲的能量，并将其发送到控制电子设备(48)，然后通过高通数字滤波器(62)调整下一个激光脉冲的能量。
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公开(公告)号：CN107005024B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201580044751.6
申请日：2015-07-24
申请人： 相干激光系统有限公司
发明人： C·凯恩吉赛尔
CPC分类号： H01S3/109 , H01S3/08036 , H01S3/08054 , H01S3/091 , H01S3/10061 , H01S3/1028 , H01S3/1305 , H01S3/136 , H01S3/1628 , H01S5/02446 , H01S5/041 , H01S5/141 , H01S5/18383
摘要： 腔内加倍OPS激光器具有用于粗略波长选择的包括双折射滤波器(BRF)的激光器‑谐振器，以及布置成用于II型倍频和精细波长选择的光学非线性(ONL)晶体。激光器辐射以取决于谐振器长度的一系列基本波长中的一个在所述激光器‑谐振器中循环。ONL晶体具有取决于晶体温度的透射率峰值波长。监测来自BRF的循环辐射的反射。当ONL晶体透射率峰值波长处于循环辐射波长时，该反射处于最小值。ONL晶体的温度选择性地变化以将所监测的反射保持在大约最小值。
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公开(公告)号：CN104641460A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380032696.X
申请日：2013-06-20
申请人： 相干激光系统有限公司
发明人： P·范德威尔特
CPC分类号： C30B13/24 , B23K26/0622 , B23K26/083 , B23K26/355 , C30B13/28 , C30B29/06 , G01N21/4788 , G01N21/8422 , G01N2021/8461 , G01N2021/8477 , H01L21/02532 , H01L21/02587 , H01L21/02686 , H01L21/268 , H01L22/12
摘要： 公开了一种方法，用于评估利用形成受激准分子激光的脉冲的辐射而结晶的硅层。结晶在结晶层上根据该层所暴露的脉冲中的数量和能量密度产生周期性特征。光对层的区域进行照明。检测器被布置成检测从照明区域衍射的光并且根据衍射光确定该层所暴露的脉冲中的能量密度。
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公开(公告)号：CN117063299A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280015398.9
申请日：2022-01-07
申请人： 相干激光系统有限公司
发明人： J·布伦
IPC分类号： H01L33/00
摘要： 用于微电子器件(110)的衬底间转移的方法，包括：将聚合物涂层(120)施加到位于第一衬底(140)上的微电子器件(110)的顶表面(110T)，将紫外线透射粘合剂(130)沉积到第二衬底(142)上，使微电子器件(110)的聚合物涂覆的顶表面(110T)与粘合剂(130)接触以将微电子器件(110)与第二衬底(142)键合，将微电子器件(110)从第一衬底(140)分离，以及在微电子器件(110)的底表面面向第三衬底(144)时，利用紫外激光穿过第二衬底(142)和粘合剂(130)照射并烧蚀聚合物涂层(120)，以通过激光剥离将微电子器件(110)从第二衬底(142)转移到第三衬底(144)。该方法允许使用紫外线透射粘合剂，聚合物涂层(120)保护微电子器件(110)免受紫外光损坏，在没有聚合物涂层(120)的情况下，紫外光在激光剥离过程中会被粘合剂透射。
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公开(公告)号：CN116802547A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202180078820.0
申请日：2021-11-03
申请人： 相干激光系统有限公司
发明人： R·冯·埃尔姆
IPC分类号： G02B27/10
摘要： 用于校正激光束(180)的波前(182)的系统包括：分束器(120)，用于分离激光束(180)的部分以用作诊断光束(180D)；聚焦元件(140)，用于将诊断光束(180D)聚到焦点；测量子系统(150)，用于测量诊断光束(180D)在相对于焦点的标称位置的上游和/或下游位置的尺寸；以及至少一个自适应光学器件(110)，位于分束器(120)的上游，用于至少部分地基于诊断光束(180D)在上游和/或下游位置的测量尺寸来校正激光束(180)的波前(182)。上游位置(152(1))和下游位置(152(2))对应于由聚焦元件(140)成像的激光束(180)中的中场位置。该系统利用了激光束尺寸对束腰位置偏移的敏感性在距标称束腰位置一个瑞利长度处最大。
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